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曹权

作品数：7 被引量：8H指数：1
供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
发文基金：中国科学院知识创新工程国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇专利
  • 2篇会议论文
  • 1篇期刊文章

领域

  • 3篇电子电信

主题

  • 3篇键合
  • 3篇非晶硅
  • 2篇电池
  • 2篇载流子
  • 2篇太阳能
  • 2篇太阳能电池
  • 2篇探测器
  • 2篇外延片
  • 2篇微波传输线
  • 2篇刻蚀
  • 2篇基片
  • 2篇光电
  • 2篇传输线
  • 1篇导电薄膜
  • 1篇电导
  • 1篇电特性
  • 1篇载流
  • 1篇石英
  • 1篇透明导电
  • 1篇透明导电薄膜

机构

  • 7篇中国科学院

作者

  • 7篇曹权
  • 7篇左玉华
  • 6篇王启明
  • 4篇张岭梓
  • 3篇周天微
  • 2篇成步文
  • 2篇薛春来
  • 1篇张万昌
  • 1篇曹学蕾
  • 1篇王启明

传媒

  • 1篇物理学报

年份

  • 2篇2013
  • 3篇2012
  • 2篇2011
共 7 条 记 录，以下是 1-7
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排序方式：
掺Ti非晶硅薄膜结构与光电特性的研究
采用磁控共溅射技术制备a-Si:Ti 薄膜并对其结构和光电特性进行了研究.结果表明,磁控溅射的a-Si:Ti 薄膜为非晶态,在本文实验条件下,掺杂浓度可达到2×1020cm-3.掺钛薄膜能有效提高对低能光子的吸...
周天微曹权左玉华王启明
关键词：非晶硅磁控溅射
一种基于键合技术制作微波传输线的方法
本发明公开了一种基于键合技术制作微波传输线的方法，该方法包括：采用键合技术将外延片的外延材料层与键合基片键合在一起；去除外延片的衬底，露出外延片的外延材料层；对外延片的外延材料层进行刻蚀，制作外延器件，将微波传输线制作区...
张岭梓曹权左玉华王启明
一种基于键合技术制作微波传输线的方法
本发明公开了一种基于键合技术制作微波传输线的方法，该方法包括：采用键合技术将外延片的外延材料层与键合基片键合在一起；去除外延片的衬底，露出外延片的外延材料层；对外延片的外延材料层进行刻蚀，制作外延器件，将微波传输线制作区...
张岭梓曹权左玉华王启明
文献传递
单载流子光电探测器的高速及高饱和功率的研究被引量：8
2012年
利用载流子漂移-扩散模型,模拟并分析了InGaAs/InP单载流子光电探测器(Uni-traveling-carrier/UTC-PD)在不同条件下的物理特性及其带宽和饱和特性,结合器件实验结果分析了影响器件高速和高饱和性能的物理机理.结论表明在吸收区采用浓度渐变掺杂和增加InP崖层(cliff layer),可以显著提升器件饱和特性,高入射功率下吸收区电场崩塌是器件饱和的直接因素,直径大于20μm的UTC探测器中RC常数仍是影响带宽的主要因素.论文指出了优化器件结构、提升器件性能的有效方法.
张岭梓左玉华曹权薛春来成步文张万昌曹学蕾王启明
关键词：空间电荷效应高频
Si基腔外键合型共振腔增强InGaAs探测器
论文介绍了利用溶胶凝胶(sol-gel)键合技术制作的Si基集成共振腔增强型(RCE)光电探测器。键合界面在RCE结构的下DBR和Si衬底之间，键合温度为300℃。器件峰值响应波长在1552.7nm，峰值半高宽(FHWM...
张岭梓左玉华曹权薛春来成步文王启明
关键词：RCE探测器键合SOL-GEL
非晶硅中间带太阳能电池及其制备方法
本发明提供了一种非晶硅中间带太阳能电池及其制备方法，该非晶硅中间带电池包括：导电衬底；n型纳米线，形成于导电衬底上；非晶硅中间带层，形成于n型纳米线上；p型非晶硅层，形成于非晶硅中间带层上；透明导电薄膜层，形成于p型非晶...
周天微曹权左玉华王启明
文献传递
非晶硅薄膜中间带材料及其制备方法
本发明公开了一种用于太阳能电池的非晶硅薄膜中间带材料的制备方法及该方法制备的非晶硅薄膜中间带材料，所述包括以下步骤：选择衬底的材料并对衬底进行预处理；在预处理过的衬底表面生长高浓度掺杂的非晶硅薄膜；对生长完成的非晶硅薄膜...
曹权周天微左玉华王启明
文献传递
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