徐群
- 作品数：2 被引量：3H指数：1
- 供职机构：山东工业大学更多>>
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- 亚微米电子束曝光机数控电流源系统被引量：3
- 1992年
- 本文介绍了亚微米电子束曝光机电流源系统。该系统在国内首次使用计算机实现了自动化调节,系统内关键部位使用了大量先进器件,多达20路独立可调的电流输出,稳定度均达到2×10^(-5)/1小时。其中对稳定度要求最高的物镜电源,由于首次将电压/频率转换器(VFC)用于连续可调的电源系统,形成了一个闭环反馈控制电路,使它达到5×10^(-6)/4小时的稳定度。该系统还具有很强的抗干扰能力,纹波<1×10^(-5)V_(P-P)。这些指标保证了0.1μm束斑的精度要求,它的研制成功为电子束曝光机的自动化调机奠定了基础。
- 徐群张玉林裘培勇
- 关键词：曝光机计算机控制电子束光刻
- 高稳定度数控电流源系统
- 1992年
- 本文介绍了亚微米电子束曝光机数控电流原系统。该系统在结构上抛弃了传统的开环控制的方式,首次将电压/频率转换器(VFC)用于连续可调的电源,实现了闭环控制。该系统集高稳定度、高精度、高抗干扰性、大电流、低噪声、多路输出、计算机控制于一体,它的研制成功为亚微米电子束曝光机的自动化调机奠定了基础,并可推广用于其它需要高稳定度数控电源的领域。
- 徐群张玉林裘培勇
- 关键词：电流源电子束曝光机计算机
