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徐德辉

作品数：98 被引量：22H指数：3
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信文化科学自动化与计算机技术电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 81篇专利
  • 13篇期刊文章
  • 3篇会议论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 22篇电子电信
  • 6篇文化科学
  • 3篇自动化与计算...
  • 2篇机械工程
  • 2篇电气工程
  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 31篇感器
  • 31篇传感
  • 31篇传感器
  • 27篇微机械
  • 25篇键合
  • 16篇磁场传感
  • 16篇磁场传感器
  • 15篇热电
  • 14篇热电堆
  • 13篇圆片
  • 13篇刻蚀
  • 13篇红外
  • 11篇封装
  • 11篇干法刻蚀
  • 10篇电动势
  • 10篇发电
  • 10篇感应电
  • 10篇感应电动势
  • 9篇电磁感应
  • 9篇谐振器

机构

  • 98篇中国科学院
  • 4篇中国科学院研...
  • 4篇中国科学院大...
  • 1篇上海科技大学
  • 1篇上海芯敏微系...

作者

  • 98篇徐德辉
  • 97篇熊斌
  • 66篇王跃林
  • 24篇吴国强
  • 24篇马颖蕾
  • 11篇刘松
  • 10篇姚邵康
  • 7篇徐铭
  • 5篇孙晓
  • 5篇冯端
  • 5篇刘米丰
  • 4篇王文杰
  • 3篇胡斌
  • 3篇徐华英
  • 2篇李宝清
  • 2篇杨恒昭
  • 1篇王东平
  • 1篇刘华巍
  • 1篇李铁
  • 1篇张德阳

传媒

  • 4篇传感器与微系...
  • 2篇半导体技术
  • 2篇传感技术学报
  • 1篇光学学报
  • 1篇人工晶体学报
  • 1篇固体电子学研...
  • 1篇浙江大学学报...
  • 1篇纳米技术与精...
  • 1篇第十六届全国...

年份

  • 1篇2023
  • 1篇2020
  • 9篇2019
  • 5篇2018
  • 13篇2017
  • 10篇2016
  • 11篇2015
  • 8篇2014
  • 16篇2013
  • 13篇2012
  • 2篇2011
  • 6篇2010
  • 3篇2009
共 98 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种热电能量采集器及其制作方法
本发明提供一种热电能量采集器及其制作方法，该方法包括以下步骤：S1：制作第一器件片；S2：制作第二器件片；S3：将所述第一器件片与第二器件片键合，使各个第一、第二热电偶臂通过第一电连接块与第二电连接块相互交替依次相连，其...
徐德辉吴利青熊斌王文杰
文献传递
扭转式微机械磁场传感器及其制备方法
本发明提供一种扭转式微机械磁场传感器及其制备方法，所述扭转式微机械磁场传感器包括：谐振结构组件；所述谐振结构组件包括：谐振结构、第一绝缘层、感应线圈及驱动电极；所述第一绝缘层位于所述谐振结构表面；所述感应线圈位于所述第一...
熊斌刘松梁亨茂徐德辉
双成像系统
本发明提供一种双成像系统，包括：镜头组件、半反半透镜、可见光图像传感器及红外图像传感器；其中，镜头组件用于采集待成像物的入射光线；半反半透镜位于镜头组件远离入射方向的一端，用于将镜头组件采集的入射光线进行反射和透射，以将...
熊斌郑忱煜李宝清徐德辉
文献传递
基于MEMS技术的双凸台微型热电能量采集器的仿真和制备被引量：1
2016年
基于KOH腐蚀工艺设计并制作了具有双凸台结构的微型热电能量采集器,运用有限元法仿真器件在一定温差下的温度分布;并对器件建立了数学模型,分析凸台结构的几何参数等对器件输出性能的影响。仿真结果表明:随着顶部凸台高度的增加,温差的有效利用率逐渐升高;随着顶部凸台边长的增加,有效温差利用率逐渐降低;随着热冷端热阻的减小,器件的有效利用温差、开路电压、回路电流、输出功率都逐渐升高。从工艺上证明,基于MEMS技术的双凸台结构的微型热电能量采集器是可以加工和制备的。
吴利青徐德辉熊斌
关键词：MEMS温差发电有限元分析数学建模
一种三维真空传感器及其制备方法
本发明提供一种三维真空传感器及其制备方法，该方法制备的热电堆和加热器位于不同的平面上，热电堆位于加热器的下面，可以进一步实现热电型真空传感器的微型化；采用干法腐蚀释放结构，可以避免湿法腐蚀释放过程中存在的结构层与衬底黏连...
熊斌孙晓徐德辉王跃林
文献传递
共面键合结构及其制备方法
本发明提供一种共面键合结构及其制备方法，所述制备方法包括步骤：a)提供一待键合的器件结构，所述器件结构包括至少两个定义的功能区，其中，各所述功能区均具有待引出面，且至少两个所述待引出面位于不同高度的平面；b)将各所述待引...
熊斌梁亨茂刘松徐德辉
微机械谐振器
本发明提供一种微机械谐振器，所述微机械谐振器至少包括：构成惠斯通电桥结构的谐振振子对，其中，所述谐振振子对包括两个具有轴对称结构的谐振振子结构、主支撑梁、第一耦合梁、第一锚点、第二锚点、驱动电极。与传统的电容驱动-压阻检...
熊斌吴国强徐德辉王跃林
文献传递
微机械磁场传感器及其应用
本发明提供一种微机械磁场传感器及其应用，所述微机械磁场传感器至少包括：谐振振子和依次形成于所述谐振振子表面上的绝缘层及至少一层金属线圈。本发明采用S型折叠梁实现弹性梁和锚点的连接，保证了谐振振子谐振时是沿垂直于谐振振子的...
熊斌徐华英徐德辉马颖蕾王跃林
文献传递
一种具有亚微米间隙微机械谐振器及制作方法
本发明涉及一种具有亚微米间隙的微机械谐振器及制作方法，其特征在于谐振器是由盖板硅片、结构硅片和衬底硅片三层硅片键合组成的“三明治”结构。结构硅片用来制作谐振器的振子，盖板硅片和衬底硅片分别用来制作驱动和检测的固定电极。谐...
熊斌吴国强徐德辉王跃林
一种差分电容微加速度传感器及其制作方法
本发明提出一种差分电容微加速度传感器及其制作方法，该方法利用体硅工艺完成可动质量块和弹性梁的制作，通过干法刻蚀完成结构制作的同时也完成器件结构的释放；可动电极与可动质量块具有相同的形状和大小，避免重复光刻，工艺大大简化；...
熊斌徐铭徐德辉姚邵康马颖蕾王跃林
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