张连珠
- 作品数：33 被引量：59H指数：5
- 供职机构：河北师范大学物理科学与信息工程学院更多>>
- 发文基金：河北省自然科学基金河北省教育厅科研基金更多>>
- 相关领域：理学金属学及工艺电子电信更多>>
- 氢气甚高频与高频容性耦合放电等离子体特征的比较
- 2011年
- 开发了氢气甚高频(60MHz)容性耦合放电的PIC/MC模型。在模型中考虑了带电粒子(e,H+,H2+,H3+)与H2的21种碰撞反应过程,模拟了氢气甚高频放电射频电场和电势分布以及电子和氢离子(H+,H2+,H3+)粒子密度和平均能量分布,并与频率为13.56MHz的放电结果进行了比较。结果表明,相对于频率13.56MHz的放电,氢气甚高频放电等离子体电势增高,导致两电极附近的电场增强;另外,两鞘层厚度变窄并且电子和H3+离子平均能量减小,其总密度却增加。H3+离子为氢气甚高频放电空间的主要离子,H2+离子密度比H3+离子小约2～3个数量级。
- 姚福宝郝莹莹张连珠赵海涛
- 氮气辉光放电等离子体过程的PIC/MCC模拟被引量：3
- 2009年
- 采用粒子模拟与蒙特卡罗模型相结合(PIC/MCC)的方法,建立了氮分子气体辉光放电自洽的混合模型,其中带电粒子在电场中的运动及其产生的自洽场由PIC方法的静电模型描述,粒子间的碰撞过程由MC方法描述。模拟了放电过程及带电粒子(e、N2+、N+)在整个放电空间的行为及与之对应的自洽电场和电势的分布,通过计算带电粒子在负辉区的几率分布函数,讨论了带电粒子(e、N2+、N+)在负辉区的行为和分布特征。计算的分子离子密度与实验结果一致。
- 赵书霞张连珠
- 高频容性氢等离子体的特征
- <正>研究高频辉光放电等离子体特征的目的在于定量理解等离子体参量的时空分布和输运规律,从理论上深入研究气体放电中所发生的物理和化学机制。高频容性氢等离子体在材料处理广泛应用于等离子体材料处理的刻蚀、沉积和一些微电子设备的...
- 姚福保张连珠赵海涛杨巍
- 关键词：等离子体高频放电
- 文献传递
- N_2空心阴极放电向微空心阴极放电转变的PIC/MC模拟被引量：1
- 2010年
- 开发了氮空心阴极放电PIC/MC二维自洽模型。研究了N2传统空心阴极向微空心阴极放电转变过程中电势和电场的变化。结果表明,不同尺寸的空心阴极放电的电势及电场分布规律几乎类似,但空心阴极孔径减小且气压增加时,电场近似线性增加;典型微空心阴极电场比传统空心阴极放电电场约大3个量级;微空心阴极放电产生的电子,氮分子离子和氮原子离子的密度比传统空心阴极放电约大3个量级,且微空心阴极放电中,N2+密度比N+密度大8倍以上。
- 张连珠孟秀兰田中涛高书霞赵书霞
- N_2/H_2辉光放电等离子体电子碰撞电离的Monte Carlo模拟
- 2007年
- 采用N2/H2直流辉光放电等离子体综合的Monte Carlo模型,通过计算N2/H2混合气体直流辉光放电等离子体电子碰撞电离及离解电离率,电子密度及电子能量分布函数,研究了H2的浓度对氮辉光放电等离子体电子碰撞电离过程的影响.研究结果表明：随着H2浓度的升高,电子的电离及离解电离碰撞率减少;但在一定的放电条件下,加入少量的H2,可以提高电子碰撞电离及离解电离率,即选取合适的放电参数,加入少量的氢,可以提高放电空间的电子及离子的密度.模型考虑了12种和电子相关的反应,在氮气中加氢的比例为0-30%.这些影响能通过放电中发生的碰撞过程及鞘层厚度的改变得到解释.研究结果为认识N2/H2混合气体辉光放电等离子体过程机理提供参考依据.
- 张连珠王增波刘俊红
- 关键词：MONTECARLO模拟
- 等离子体金属表面氮化中放电温度对氮原子态粒子的影响被引量：1
- 2004年
- 采用快电子和重粒子(N+2,N+,Nf)混合的Monte Carlo模型,研究了氮直流辉光放电等离子体金属表面氮化过程中.e N2s及N+2 N2s两种碰撞离解过程产生的原子态粒子(N+,N)的产生率和氮化粒子(N+,Nf)轰击靶表面的能量、粒子数密度及入射角分布随气体温度的变化规律.结果表明,使阴极靶处活性粒子(N+,Nf)的能量高且粒子数密度大,存在一个最佳放电温度;粒子(N+,N)的产生率及在靶表面的密度数都随着放电气体温度的升高而减少;有大量中性快原子Nf在工件表面小角入射,且粒子(N+,Nf)角分布受温度的影响很小.
- 张连珠于富强孔令宜何琪
- 关键词：蒙特卡罗模拟
- 在超光速坐标变换中电磁场的变换规律
- 1996年
- 本文在快子运动学及电磁性质的基础上，导出了不同超光速惯性系中电磁为换的一般规律。
- 张连珠
- N_2-Ar混合射频放电的等离子体特性研究
- N_2-Ar射频放电等离子体广泛应用于微电子工业的刻蚀、气相沉积、氮化物薄膜的制备及金属表面氮化技术等领域。通常在氮气中掺入其它种类气体,可以改善氮气放电的特性,提高氮粒子的活性。本文开发了N_2-Ar混合气体容性耦合射...
- 孙倩张连珠
- 文献传递
- N_2射频放电带电粒子(e,N_2^+,N^+)的PIC-MC模拟被引量：1
- 2012年
- 采用PIC-MC自洽模型,模拟了氮气电容性耦合射频放电的微观等离子体过程及带电粒子(e,N2+,N+)的行为。结果表明,离子(N2+,N+)的运动状态滞后瞬时射频电场的变化;在两极附近,N2+具较高密度,但能量较低,N+具较低的密度但能量较高,两者的密度差6倍左右。两种离子轰击射频电极的能量分布变化规律类似,随放电参数变化,离子(N2+,N+)能量变化显著,其密度变化不明显。模拟的电子能量几率分布与测量结果一致。
- 杨莹付东儒张连珠
- 关键词：射频放电
- N_2-Ar射频放电表面氮化的等离子体特性模拟
- 2012年
- N2-Ar射频放电等离子体广泛应用于微电子工业的刻蚀、氮化物薄膜的制备及金属表面氮化等技术领域。开发了N2-Ar混合气体容性耦合射频放电PIC/MC自洽模型,模型主要描述了e-,N2+,N+,Ar+等主要带电粒子的行为分布。等离子体的碰撞过程分别考虑了带电粒子(e-,N2+,N+,Ar+)与基态中性N2分子和Ar原子的21种碰撞反应过程。模拟结果表明,在纯N2及N2-Ar混合气体容性耦合射频放电中,各种带电粒子的数密度都在等离子体区达到最大值,且氮分子离子为主要粒子;在N2容性耦合射频放电中,加入10%氩气时,N+平均能量有所增加,在射频电极处两种氮离子(N2+,N+)高能粒子所占比例增加。本研究对认识N2-Ar射频放电等离子体过程微观机理具重要意义。
- 孙倩杨莹赵海涛郝莹莹张连珠赵国明
