2024年12月4日
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供职机构:
中国科学院半导体研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
黄北举
中国科学院半导体研究所
陈弘达
中国科学院半导体研究所
张赞允
中国科学院半导体研究所
毛旭瑞
中国科学院半导体研究所
李鹏飞
中国科学院半导体研究所
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机构
15篇
中国科学院
作者
15篇
张赞
15篇
黄北举
14篇
张赞允
14篇
陈弘达
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毛旭瑞
2篇
甘胜
2篇
李鹏飞
1篇
陈宏达
年份
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2017
3篇
2016
1篇
2015
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2014
2篇
2013
2篇
2012
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一种带宽可调的带通型光学滤波器
本发明公开了一种带宽可调的带通型光学滤波器,包括:一个主环形谐振器(11);两个副环形谐振器分别位于主环形谐振器(11)两侧,作为输入环形谐振器(12)和输出环行谐振器(13);两个加热器(14),分别位于输入环形谐振器...
陈宏达
张赞
黄北举
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电可调谐光栅耦合器
一种电可调谐光栅耦合器,包括:一SOI衬底,包括硅衬底、埋氧层以及上方的顶层硅层;一斜入射光栅耦合器,位于SOI衬底之上的顶层硅层上;一P+掺杂区,位于斜入射光栅耦合器的一侧平板区域内;一N+掺杂区,位于斜入射光栅耦合器...
陈弘达
张赞允
黄北举
张赞
电可调谐光栅耦合器
一种电可调谐光栅耦合器,包括:一SOI衬底,包括硅衬底、埋氧层以及上方的顶层硅层;一斜入射光栅耦合器,位于SOI衬底之上的顶层硅层上;一P+掺杂区,位于斜入射光栅耦合器的一侧平板区域内;一N+掺杂区,位于斜入射光栅耦合器...
陈弘达
张赞允
黄北举
张赞
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一种芯片表面污物清洁处理的方法
本发明公开了一种全新的芯片表面污物清洁处理的方法,包括步骤:将待清理芯片在烘箱中烘烤第一预定时间;将待清理芯片在室温下冷却后置于热板上;在冷却后的待清理芯片上放置一限位框,所述限位框具有一中空部分,用于在所述待清理芯片表...
黄北举
程传同
张赞
张赞允
毛旭瑞
陈弘达
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无源光限幅器
一种无源光限幅器,包括:一基底,该基底上面开有一凹槽;一输入光路,其制作在基底上面的一侧,一端探入到凹槽上;一输出光路,其制作在基底上面的另一侧,一端探入到凹槽上,该输入光路和输出光路之间有一狭缝,形成镜面微腔;一光输入...
黄北举
程传同
张赞
张赞允
毛旭瑞
甘胜
李鹏飞
陈弘达
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基于对称垂直光栅耦合的SOI基电光调制器
一种基于对称垂直光栅耦合的SOI基电光调制器,包括:一个对称垂直耦合光栅,作为SOI基电光调制器与单模光纤的接口或耦合器和SOI基电光调制器输入端的3-dB光学分束器;两个模式转换器,作为对称垂直耦合光栅处宽波导与单模脊...
陈弘达
张赞允
黄北举
张赞
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一种基于一维光栅的表面入射石墨烯光电探测器
本发明公开了一种基于一维光栅的表面入射石墨烯光电探测器,包括:SOI衬底,由下至上依次包括硅、埋氧层和顶层硅;刻蚀该顶层硅形成的一维光栅,该一维光栅由多个二氧化硅条(6)和多个硅条(7)交替分布构成,用以调制与石墨烯层作...
黄北举
程传同
张赞
张赞允
陈弘达
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采用标准CMOS工艺制备脊型光波导的方法
一种采用标准CMOS工艺制备脊型光波导的方法,包括如下步骤:步骤1:取一衬底,作为脊型光波导的芯层;步骤2:在衬底上相隔预定距离制备两个局部氧化隔离层,形成脊型光波导的两侧包层;步骤3:在两个局部氧化隔离层之间及两个局部...
黄北举
张赞
张赞允
程传同
毛旭瑞
陈弘达
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基于对称垂直光栅耦合结构的SOI基光隔离器
一种基于对称垂直光栅耦合结构的SOI基光隔离器,包括:一个垂直耦合光栅;两个模式转换器,分别制作在垂直耦合光栅的两侧,实现近似无损耗的能量传输以及模式转换;两个单模脊型波导,其分别与两个模式转换器的一端连接;一个光学合束...
黄北举
张赞
张赞允
陈弘达
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采用后端CMOS工艺三维光电集成的方法
一种采用后端CMOS工艺三维光电集成的方法,包括如下步骤:步骤1:提供CMOS集成电路芯片;步骤2:在CMOS集成电路芯片上表面制备二氧化硅层;步骤3:对二氧化硅层进行平坦化处理;步骤4:在二氧化硅层上表面制备光电器件层...
黄北举
张赞
张赞允
陈弘达
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