张瑞婷
- 作品数：9 被引量：12H指数：2
- 供职机构：电子科技大学更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术电气工程更多>>
- 晶化温度对钛酸锶钡薄膜电学性能的影响
- 采用射频磁控溅射，以铝酸镧（LaAlO3）为基片制备钛酸锶钡（BST）薄膜，研究了不同晶化温度对BST薄膜显微结构、介电特性的影响。研究表明：BST 薄膜在800℃晶化温度下已形成钙钛矿结构，且随着晶化温度的升高，BST...
- 张瑞婷杨传仁陈宏伟张继华裴亚芳
- 关键词：晶化温度钛酸锶钡薄膜电学性能射频磁控溅射介电特性
- 文献传递
- 一种高温加热的真空蒸发镀膜装置
- 一种高温加热的真空蒸发镀膜装置，属于电子机械技术领域，本发明包括钟罩、基片夹和设置在基座上的蒸发室，所述蒸发室内设置有加热装置，所述基片夹、蒸发室和加热装置为至少两组；各基片夹安装在基片夹基座上；还包括驱动基片夹基座与基...
- 杨传仁张瑞婷张继华陈宏伟
- 文献传递
- 钛酸锶钡铁电薄膜的制备与性能优化研究被引量：2
- 2007年
- 综述了目前钛酸锶钡(BST)铁电薄膜最为常用的4种制备工艺:磁控溅射法(Magnetron Sputtering)、脉冲激光沉积法(PLD)、溶胶-凝胶法(Sol-gel)、金属有机物化学气相沉积法(MOCVD)。并介绍了在优化BST铁电薄膜性能方面所作的工作和取得的成果。
- 王波杨传仁陈宏伟张继华余桉张瑞婷
- 关键词：铁电薄膜
- 一种高温加热的真空蒸发镀膜装置
- 一种高温加热的真空蒸发镀膜装置，属于电子机械技术领域，本发明包括钟罩、基片夹和设置在基座上的蒸发室，所述蒸发室内设置有加热装置，所述基片夹、蒸发室和加热装置为至少两组；各基片夹安装在基片夹基座上；还包括驱动基片夹基座与基...
- 杨传仁张瑞婷张继华陈宏伟
- 文献传递
- LaAlO_3(110)基片上BST薄膜的制备及性能研究被引量：1
- 2009年
- 采用射频磁控溅射法在LaAlO3(110)单晶基片上制备了钛酸锶钡薄膜材料。薄膜在800℃退火30 min,结晶优良,薄膜与基片匹配良好,同时由于基片的诱导作用,薄膜在(110)方向有一定的择优取向。测得薄膜的剩余极化强度Pr=1.37μC/cm2,矫顽电场强度EC=31.7 kV/cm。对比不同频率下的偏压特性,100 kHz时薄膜具有最高的优值因子F,为23.4。对介电损耗在1 MHz时的增大,作出了初步的解释。
- 王波杨传仁陈宏伟张继华余桉张瑞婷
- 关键词：射频磁控溅射
- ITO/PLZT薄膜湿法刻蚀研究被引量：8
- 2008年
- 介绍了一种锆钛酸铅镧(PLZT)基铟锡氧化物(ITO)薄膜的湿法刻蚀法。用V(HCl)∶V(HNO3)∶V(H2O)=50∶3∶50的混合溶液对ITO进行不同温度的刻蚀试验。通过扫描电子显微镜(SEM)和X-射线能谱仪(EDS)分析表明,在35℃经30 nm/min刻蚀能得到图形边缘质量良好和表面无残留物的ITO图形;在同等条件下刻蚀的PLZT薄膜,刻蚀速率不及ITO的2%,表明该刻蚀方法具有良好的选择性。
- 闻伟杨传仁张继华陈宏伟梁鸿秋张瑞婷
- 关键词：湿法刻蚀图形化
- 铁电薄膜移相器研究进展被引量：1
- 2007年
- 铁电薄膜移相器响应速度快、成本低、功耗和体积小,是一种模拟移相器,非常适合应用于相控阵天线特别是共形阵天线。介绍了4种主要的铁电薄膜移相器的结构、原理、性能和特点,指出分布型和全通网络型铁电薄膜移相器具有良好的发展前景,并进一步总结了国内外研究现状和存在的问题,提出了今后的研究方向。
- 余桉杨传仁张继华陈宏伟王波张瑞婷
- 关键词：移相器铁电薄膜相控阵天线BST薄膜
- 用于刻蚀BST薄膜的腐蚀液及制备方法
- 用于刻蚀BST薄膜的腐蚀液及制备方法，涉及一种可刻蚀高温晶化处理的BST薄膜的腐蚀液，属于微电子技术领域，特别涉及电子薄膜制备技术中的图形化过程。本发明其组分中含有HNO<Sub>3</Sub>，以体积比计算，BHF∶H...
- 杨传仁张瑞婷张继华陈宏伟
- 文献传递
- 用于刻蚀BST薄膜的腐蚀液及制备方法
- 用于刻蚀BST薄膜的腐蚀液及制备方法，涉及一种可刻蚀高温晶化处理的BST薄膜的腐蚀液，属于微电子技术领域，特别涉及电子薄膜制备技术中的图形化过程。本发明其组分中含有HNO<Sub>3</Sub>，以体积比计算，BHF∶H...
- 杨传仁张瑞婷张继华陈宏伟
- 文献传递
