张炳烨
- 作品数：3 被引量：4H指数：1
- 供职机构：大连理工大学物理与光电工程学院更多>>
- 发文基金：中央高校基本科研业务费专项资金辽宁省博士科研启动基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学自动化与计算机技术更多>>
- 热处理对立方相结构Mg_(0.57)Zn_(0.43)O合金薄膜表面和组成的影响(英文)
- 2011年
- MgZnO合金具有可覆盖日盲紫外波段的禁带宽度和晶格匹配的单晶衬底,是理想的日盲紫外探测材料。由于MgO和ZnO分属立方相和六角相,分相问题使高质量单一相MgZnO难以获得。热处理是提高薄膜结晶质量的有效手段。利用MOCVD方法制备了单一立方相Mg0.57Zn0.43O合金薄膜,研究了薄膜的退火行为对薄膜结构和光学性能的影响。研究发现,450℃的原生样品经过550,650,750,850℃氧气氛退火后,薄膜的结晶特性和表面形貌得到明显的改善。随着退火温度的增加,薄膜吸收截止边逐渐蓝移,带隙展宽。X光电子能谱分析发现,随着退火温度增加,Zn含量逐渐减小,这种现象被归结为组分蒸汽压的差异。在退火温度达到950℃时,样品发生了分相,出现了低Mg含量的六角相MgZnO。
- 曹建明秦杰明张振中王立昆郑剑韩舜赵延民张炳烨张吉英申德振
- 关键词：热退火表面形貌晶粒尺寸
- Li-N共掺ZnO薄膜中受主掺杂状态的研究
- 利用等离子辅助分子束外延(P-MBE),在c面蓝宝石上外延生长了Li-N共掺杂的p型氧化锌薄膜.在实验中,采用高纯金属锌和金属锂作为Zn源和Li源、NO作为O源和N源,通过射频等离子体激活进行生长.获得了高重复性、稳定的...
- 张炳烨申德振姚斌李永峰刘卫卫李炳辉张振中单崇新张吉英赵东旭
- 原子层沉积AlO_x薄膜对单晶硅太阳能电池钝化机制的影响被引量：4
- 2016年
- 采用原子层沉积设备在p型单晶制绒硅上制备了不同厚度的AlO_x薄膜。通过研究AlO_x薄膜厚度对样品的反射率、少数载流子寿命以及电容-电压特性的影响,发现沉积32 nm的AlO_x薄膜样品具有最好的钝化效果。另外,通过计算Si/AlO_x界面处的固定电荷密度和缺陷态密度,发现32 nm厚的AlO_x薄膜样品具有最低的缺陷态密度。系统研究了单晶硅材料的表面钝化机制,给出了影响样品载流子寿命的根本来源。
- 张炳烨谢洪丽方铉刘爱民
- 关键词：氧化铝原子层沉积钝化
