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张振昭
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1
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供职机构:
广东工业大学
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
陈佩娴
华南师范大学
李光云
华南师范大学
曾广兴
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1篇
1993
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铜薄膜电阻温度传感器的研制
1993年
本文分析了铜膜电阻温度传感器的工作原理,介绍了光刻掩模板的图形设计和制造工艺,并对实验结果进行了讨论。
李光云
陈佩娴
杨年光
张振昭
曾广兴
关键词:
温度传感器
响应性能
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