孙海轶
- 作品数：53 被引量：54H指数：5
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划中国科学院战略性先导科技专项更多>>
- 相关领域：电子电信理学机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 极紫外光刻光源产生稳定液滴靶的调控系统和方法
- 一种极紫外(EUV)光刻光源产生稳定液滴靶的调控系统和方法，包括储液器、喷嘴、压电陶瓷、驱动器。本发明用于极紫外(EUV)光刻光源中周期性液滴靶的稳定产生，本发明具有调控方法易于操作，可调节范围大，适用于EUV光刻光源中...
- 孙海轶王关德彭凯伦邹家杰彭宇杰冷雨欣
- 飞秒激光作用下全向介质高反膜破坏的激发过程(英文)
- ＜正＞Outline 1、 Introduction 2、 Experiments 3、 Theory 4、 Conclusion Laser-induced damage in dielectrics has been...
- 贾天卿徐至展李晓溪孙海轶冯东海李成斌徐世珍王晓峰韦中超赵福利
- 文献传递
- 一种用于EUV光源中液滴靶的一体化锡原料罐装系统
- 本发明一种用于EUV光源中液滴靶的一体化锡原料罐装系统,基于极紫外(EUV)光源中液滴靶对锡材料的要求，主要由熔锡罐、晶纤维加热腔、真空泵、液位开关、热电偶、氮气瓶、储液罐、废液罐、高温球阀及管道组件、加热套、加热带、过...
- 孙海轶王成王关德邹家杰李学红刘科张宗昕齐荣冷雨欣
- 文献传递
- 飞秒激光人工影响天气的物理机理及研究进展被引量：6
- 2019年
- 综述了飞秒激光人工影响天气的相关研究结果。从飞秒激光成丝产生的光氧化副产物、热沉积效应、气溶胶形成和水凝结及沉降过程等4个方面展开,综述了飞秒激光在诱导水凝结及降水、人工引雷等领域的研究进展。提出了飞秒激光人工影响环境大气的初步物理图像,并综述了该技术未来应用于人工影响天气所面临的问题,探讨了可能的解决方案。
- 鞠晶晶刘建胜孙海轶孙海轶李儒新徐至展
- 关键词：非线性光学光化学反应气溶胶
- 飞秒激光对氟化镁烧蚀机理研究被引量：7
- 2006年
- 用扫描电镜(SEM)研究了氟化镁在800nm超短脉冲激光作用下的单枪表面烧蚀形貌.根据烧蚀斑面积与激光脉冲能量间的对数关系,测得烧蚀阈值与激光脉宽的关系曲线(55—750fs).计算了导带电子的双光子吸收,改进了多速率方程模型,很好地解释了实验结果.
- 李成斌贾天卿孙海轶李晓溪徐世珍冯东海王晓峰葛晓春徐至展
- 关键词：飞秒激光氟化镁烧蚀机理双光子吸收
- 气体中产生的低抖动高强度超连续谱光源及其检测系统
- 本发明公开了一种气体中产生的低抖动高强度超连续谱光源，包括：超快激光器、高压电源、与该高压电源相连接的金属电极，以及沿该超快激光器出射激光方向放置的聚焦透镜及其检测系统，基于外加电场对超快激光气体等离子体光丝通道内自由电...
- 王铁军刘尧香郭豪陈娜孙海轶冷雨欣李儒新
- 文献传递
- 一种多功能激光诱导水凝结模拟大自然降雨系统
- 一种多功能激光诱导水凝结模拟大自然降雨系统，包括：飞秒激光器、透镜、罐体、深冷及净化组件、温控系统、光束收集装置；所述的罐体是304不锈钢做成的双层腔体，罐体顶部和底部正中心分别设有深冷出风口和深冷进风口，罐体顶部的侧方...
- 刘永宏刘建胜孙海轶冷雨欣
- 文献传递
- 飞秒激光诱导雪的全自动收集冰晶装置
- 一种飞秒激光诱导雪的全自动收集冰晶装置，包括：T形支架、相同长度的第一钢丝和第二钢丝、防雨绸、称重传感器、滑动块和固定块；所述滑动块的两端分别和固定块的两端通过所述的第一钢丝和第二钢丝相连，在所述的第一钢丝和第二钢丝上穿...
- 刘永宏刘建胜孙海轶冷雨欣翟腾飞
- 飞秒激光成丝加载高压后诱导产生离子风的装置及方法
- 一种飞秒激光成丝加载高压后诱导产生离子风的装置，包括：飞秒激光器、聚焦透镜、高压电源、绝缘塑料杆、球形铜电极、风速仪。本发明利用飞秒光丝穿过球形电极中心，在电极加载高压后，可使在射出电极的飞秒光丝一端发生电晕放电现象。本...
- 王铁军杜盛喆鞠晶晶李儒新孙海轶刘尧香陈娜朱忠彬
- 文献传递
- 压电式高温液滴喷射元件研制被引量：1
- 2023年
- 极紫外(Extreme ultra-violet,EUV)光刻机光源主要采用激光产生等离子体技术,用高功率激光轰击锡液滴靶产生13.5 nm波长的EUV光。其中,基于逆压电效应的压电式高温锡液滴喷射元件是获取高重频高温锡液滴靶的关键部件。本项工作突破了耐250℃高温微细压电陶瓷管的组成设计和精细制备,以及高温锡液滴喷射元件的结构设计和封装等关键技术,成功研制了压电式高温液滴喷射元件。并通过自主搭建高温锡液滴靶光学检测平台,基于此高温液滴喷射元件实现了重复频率20 kHz,直径~100μm的高温锡液滴靶的稳定输出。
- 邹凯张文斌关胜孙海轶彭凯伦邹家杰李学红王成冷雨欣梁瑞虹周志勇
- 关键词：极紫外光刻高温压电陶瓷
