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吴汉俊

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：南京电子器件研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇国内会议论文

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇微波开关
  • 1篇微电子
  • 1篇微电子机械
  • 1篇微电子机械系...
  • 1篇开关
  • 1篇宽带
  • 1篇宽带微波
  • 1篇MEMS开关

机构

  • 1篇南京电子器件...

作者

  • 1篇林金庭
  • 1篇吴汉俊
  • 1篇陈新宇
  • 1篇林立强
  • 1篇朱健

年份

  • 1篇2000
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
宽带微波MEMS开关
本文论述了微波MEMS开关的设计和制造工艺。开关为一薄金属膜桥组成的桥式结构,形成一个SPST并联设置的金属-绝缘体-金属接触。开关通过上下电极之间的静电力进行控制,其插入损耗及隔离性能取决于开态和关态的电容。微波MEM...
朱健林立强林金庭吴汉俊陈新宇
关键词：微电子机械系统微波开关
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