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叶燚玺

作品数：13 被引量：17H指数：2
供职机构：华中科技大学更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：一般工业技术理学机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 10篇专利
  • 2篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 3篇一般工业技术
  • 2篇理学
  • 1篇机械工程

主题

  • 6篇轴承
  • 4篇气体轴承
  • 4篇超精
  • 4篇超精密
  • 3篇电机
  • 3篇直线电机
  • 2篇单腔
  • 2篇弹簧
  • 2篇电机驱动
  • 2篇压缩弹簧
  • 2篇永磁
  • 2篇永磁同步
  • 2篇永磁同步直线...
  • 2篇预紧
  • 2篇直线电机驱动
  • 2篇智能功率模块
  • 2篇三自由度
  • 2篇矢量控制
  • 2篇矢量控制算法
  • 2篇随动

机构

  • 13篇华中科技大学

作者

  • 13篇叶燚玺
  • 12篇陈学东
  • 10篇曾理湛
  • 9篇罗欣
  • 6篇李小平
  • 6篇姜伟
  • 6篇鲍秀兰
  • 5篇贾文川
  • 2篇李小清
  • 2篇雷金
  • 2篇冯二彬
  • 2篇伞晓刚
  • 2篇农先鹏
  • 2篇房晓文
  • 2篇马波琪
  • 1篇胡元太
  • 1篇严天宏
  • 1篇余显忠
  • 1篇徐甲强

传媒

  • 2篇中国机械工程

年份

  • 1篇2012
  • 6篇2010
  • 3篇2009
  • 3篇2008
共 13 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种主动控制气体轴承姿态的装置
本发明公开了一种主动控制气体轴承姿态的装置，该装置包括随动气体轴承和主动气体轴承，二者上下相对安装，两个气体轴承通过压缩弹簧隔开并预紧，压缩弹簧的两端分别通过球形关节与两个气体轴承连接；两个气体轴承的四个角上均装有上、下...
陈学东叶燚玺马波琪罗欣李小平曾理湛鲍秀兰房晓文冯二彬
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一种单腔多孔式节流结构的气体轴承
本发明公开了一种单腔多孔式节流结构的气体轴承，其特征在于：在气体轴承上开有中心孔，该中心孔内镶嵌有圆柱体，该圆柱体的直径为5～10mm，长度为0.1～2mm，该圆柱体上开有微型孔阵列，微型孔的孔径为1～100μm，微型孔...
陈学东罗欣叶燚玺曾理湛
一种单腔多孔式节流结构的气体轴承
本发明公开了一种单腔多孔式节流结构的气体轴承，其特征在于：在气体轴承上开有中心孔，该中心孔内镶嵌有圆柱体，该圆柱体的直径为5～10mm，长度为0.1～2mm，该圆柱体上开有微型孔阵列，微型孔的孔径为1～100μm，微型孔...
陈学东罗欣叶燚玺曾理湛胡元太严天宏徐甲强
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一种三自由度超精密微动工作台
本发明公开了一种三自由度超精密微动工作台，该工作台X、Y和θ方向的运动由四个垂直布置在微动台外框架和内框架的直线电机提供，直线电机的动子安装在外框架的内侧，直线电机定子安装在内框架外侧。外框架由安装在外框架底部四角的四个...
陈学东李小平罗欣曾理湛叶燚玺鲍秀兰姜伟贾文川
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一种大功率长行程永磁同步直线电机的伺服驱动装置
本发明提供一种大功率长行程永磁同步直线电机伺服驱动装置，主要包括增量式旋转光电编码器、位置传感器、数字信号处理器、现场可编程门阵列和智能功率模块。增量式旋转光电编码器和位置传感器与数字信号处理器相接，用于提供包含导滚轮转...
陈学东曾理湛李小清农先鹏伞晓刚贾文川姜伟叶燚玺
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超精密运动平台中气浮支承振动特性的研究
超精密运动平台有别于传统的精密运动机构，后者多由接触式运动副和刚性结构所组成，摩擦、发热及振动传递等因素制约了这类机构结构的动力学特性，目前这类机构的运动精度只能达到微米级，无法满足诸如IC 制造装备等运动精度达纳米级的...
叶燚玺
关键词：气旋微振动
一种超精密双层宏微运动平台的同步控制系统
本发明公开了一种超精密双层宏微运动平台的同步控制系统，该系统包括设置在计算机内的主控制模块、两个宏微运动平台控制模块和同步控制模块；两个宏微运动平台控制模块均包括微动平台控制模块，跟随控制模块，宏动平台控制模块，激光测量...
陈学东鲍秀兰罗欣叶燚玺曾理湛李小平姜伟雷金
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精密双层气浮直线电机动力学响应分析被引量：7
2008年
高分辨率步进扫描投影光刻机中的精密双层气浮直线电机采用气浮轴承支撑,实现亚微米级定位的高速高精运动。考虑其气固耦合特性以及对运动精度产生的影响,通过有限元的方法建立了精密双层气浮直线电机的有限元模型。在该模型的基础上,应用模态叠加法分析了该系统在各种条件下的动力学响应,得到了在X、Y、Z三个方向的加速度响应曲线;同时,借助实验模态方法,验证了该系统动态响应,从而得到了该系统的谐振频率。仿真计算结果和模态实验结果的偏差小于10%,证明了该模型是正确有效的,为下一步的动态优化和控制设计打下基础。
余显忠陈学东叶燚玺贾文川
关键词：精密直线电机有限元分析模态试验
一种大功率长行程永磁同步直线电机的伺服驱动装置
本发明提供一种大功率长行程永磁同步直线电机伺服驱动装置，主要包括增量式旋转光电编码器、位置传感器、数字信号处理器、现场可编程门阵列和智能功率模块。增量式旋转光电编码器和位置传感器与数字信号处理器相接，用于提供包含导滚轮转...
陈学东曾理湛李小清农先鹏伞晓刚贾文川姜伟叶燚玺
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一种超精密双层宏微运动平台的同步控制系统
本发明公开了一种超精密双层宏微运动平台的同步控制系统，该系统包括设置在计算机内的主控制模块、两个宏微运动平台控制模块和同步控制模块；两个宏微运动平台控制模块均包括微动平台控制模块，跟随控制模块，宏动平台控制模块，激光测量...
陈学东鲍秀兰罗欣叶燚玺曾理湛李小平姜伟雷金
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