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原洛渭

作品数：2 被引量：2H指数：1
供职机构：西安理工大学更多>>
相关领域：一般工业技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 2篇单晶
  • 2篇单晶炉
  • 1篇段式
  • 1篇锗单晶
  • 1篇直拉法
  • 1篇提拉法
  • 1篇抽真空

机构

  • 2篇西安理工大学

作者

  • 2篇原洛渭
  • 2篇高利强

传媒

  • 1篇真空
  • 1篇电子工业专用...

年份

  • 1篇2008
  • 1篇2007
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
提拉法单晶炉室与抽真空充气系统被引量：1
2007年
炉室是单晶炉的中心环节,内置坩埚、晶体材料、加热系统和保温罩等。直拉法是在半导体领域中应用最广,产量最大的单晶制备方法。本文以提拉法单晶炉为例先介绍不同于其它设备的各种炉室结构、形状及原因,指出有关的附属结构。然后根据压力的不同对炉室进行了分类。最后详细论述了抽真空充气系统的综合方法及工作原理。
高利强原洛渭
关键词：单晶炉直拉法
双段式加热锗单晶生长设备的结构设计被引量：1
2008年
锗单晶和锗单晶片是重要的半导体材料,锗单晶的生长广泛采用的是CZ(直拉)法,其主要结构包括底座及立柱装置、下传动装置、主炉室、插板阀、副炉室、籽晶提升旋转机构、液压驱动装置、真空系统、充气系统及水冷系统等。
原洛渭高利强
关键词：锗单晶单晶炉
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共1页<1>
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