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匡翠方

作品数：10 被引量：0H指数：0
供职机构：北京理工大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 10篇中文专利

主题

  • 8篇平面反射镜
  • 8篇反射镜
  • 6篇透射
  • 6篇透射光
  • 6篇分光
  • 6篇波片
  • 4篇反射光
  • 3篇偏振
  • 2篇电子水平仪
  • 2篇调焦
  • 2篇视场
  • 2篇水平仪
  • 2篇探测器
  • 2篇投影光刻
  • 2篇投影光刻系统
  • 2篇透镜
  • 2篇透镜阵列
  • 2篇平仪
  • 2篇准直仪
  • 2篇微光机电系统

机构

  • 10篇北京理工大学

作者

  • 10篇匡翠方
  • 10篇刘丽辉
  • 10篇李艳秋

年份

  • 3篇2010
  • 3篇2009
  • 4篇2008
共 10 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种光线平行调整的装置与方法
本发明涉及一种光线平行调整的装置和方法，属于光电检测技术领域。本发明利用高稳定性的准直激光器(1)发射准直激光经过分光器偏振(2)分光，在偏振分光器(2)的反射光路和透射光路上分别放置一个λ/4波片，波片的快轴方向与激光...
匡翠方李艳秋刘丽辉
文献传递
一种调焦调平测量方法和装置
本发明公开了一种调焦调平测量方法与装置，涉及应用于投影光刻系统中晶片的调焦调平传感系统的新方法，属于光学测量领域。本发明包括三大部分：光源准直模块、调焦子系统和调平子系统。本发明的激光器发出激光经过单模光纤准直，再经过漂...
匡翠方李艳秋刘丽辉
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一种基于微透镜阵列调焦调平的装置与方法
本发明公开了一种基于微透镜阵列调焦调平的方法与装置，属于光电检测技术领域。本发明包括发射部分和接收部分。其中发射部分包括光源、聚焦透镜、针孔滤波器、扩束透镜、优化入瞳器件、微透镜阵列，转向反射镜；接收部分包括转向反射镜、...
匡翠方李艳秋刘丽辉
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大距离光线平行调整的装置与方法
本发明涉及一种大距离光线平行调整的装置和方法，利用高稳定性的准直激光器(1)发射准直激光经过偏振分光器(2)分光，在偏振分光器反射光路与透射光路上分别放置一个λ/4波片，波片的快轴方向与激光的偏振方向成45°，再入射到一...
匡翠方李艳秋刘丽辉
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大距离光线平行调整的装置
本实用新型涉及一种大距离光线平行调整的装置，属于光电检测技术领域。本实用新型的装置包括准直激光器(1)，偏振分光器(2)，放置在偏振分光器(2)反射光路上的平面反射镜(12)，放置在偏振分光器(2)与平面反射镜(12)中...
匡翠方李艳秋刘丽辉
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一种光线平行调整的装置
本实用新型涉及一种光线平行调整的装置，属于光电检测技术领域。本实用新型利用高稳定性的准直激光器(1)发射准直激光经过分光器偏振(2)分光，在偏振分光器(2)的反射光路和透射光路上分别放置一个λ/4波片，波片的快轴方向与激...
匡翠方李艳秋刘丽辉
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一种光线平行调整的装置与方法
本发明涉及一种光线平行调整的装置和方法，属于光电检测技术领域。本发明利用高稳定性的准直激光器(1)发射准直激光经过分光器偏振(2)分光，在偏振分光器(2)的反射光路和透射光路上分别放置一个λ/4波片，波片的快轴方向与激光...
匡翠方李艳秋刘丽辉
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一种调焦调平测量方法与装置
本发明公开了一种调焦调平测量方法与装置，涉及应用于投影光刻系统中晶片的调焦调平传感系统的新方法，属于光学测量领域。本发明包括三大部分：光源准直模块、调焦子系统和调平子系统。本发明的激光器发出激光经过单模光纤准直，再经过漂...
匡翠方李艳秋刘丽辉
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大距离光线平行调整的装置与方法
本发明涉及一种大距离光线平行调整的装置和方法，利用高稳定性的准直激光器(1)发射准直激光经过偏振分光器(2)分光，在偏振分光器反射光路与透射光路上分别放置一个λ/4波片，波片的快轴方向与激光的偏振方向成45°，再入射到一...
匡翠方李艳秋刘丽辉
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一种基于微透镜阵列调焦调平的装置与方法
本发明公开了一种基于微透镜阵列调焦调平的方法与装置，属于光电检测技术领域。本发明包括发射部分和接收部分。其中发射部分包括光源、聚焦透镜、针孔滤波器、扩束透镜、优化入瞳器件、微透镜阵列，转向反射镜；接收部分包括转向反射镜、...
匡翠方李艳秋刘丽辉
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