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傅强
作品数:
5
被引量:42
H指数:3
供职机构:
华南师范大学物理与电信工程学院物理系
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发文基金:
广东省工业攻关项目
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相关领域:
机械工程
理学
语言文字
环境科学与工程
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合作作者
何振江
华南师范大学物理与电信工程学院...
黄佐华
华南师范大学物理与电信工程学院...
杨冠玲
华南师范大学物理与电信工程学院...
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测厚
1篇
测厚仪
机构
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华南师范大学
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作者
5篇
傅强
3篇
杨冠玲
3篇
黄佐华
3篇
何振江
传媒
1篇
光学技术
1篇
机电工程技术
1篇
华南师范大学...
年份
1篇
2004
1篇
2001
2篇
1999
1篇
1998
共
5
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自动椭圆偏振测厚仪中的软件设计
被引量:8
1998年
本文简要介绍了自动椭偏仪的系统结构和硬件电路设计,着重叙述仪器的软件设计。
傅强
黄佐华
宁惠军
杨冠玲
杨冠玲
关键词:
软件设计
测厚仪
厚度测量
消光式和光度式兼容的自动椭偏测量系统的研究
该文对消光式自动椭偏测量系统进行了深入研究,并在此基础上研制了消光式和光度式兼容的自动椭偏测量系统.该文研制的消光式和光度式自动椭偏测量系统既能用消光法进行精确测量,也能用光度法进行快速测量.该仪器能测量不同均匀材料和单...
傅强
关键词:
椭偏仪
激光应用
计算机应用
多功能椭偏测厚仪
被引量:32
2001年
研究成功一台变入射角反射式消光法多功能智能椭偏测厚仪。实验表明 :仪器的测厚准确度为± 0 1nm ;椭偏参数Ψ和Δ的测量重复性精度分别为± 0 1°和± 0 3° 。
黄佐华
何振江
杨冠玲
傅强
宁惠军
关键词:
椭偏仪
膜厚
消光和光度式兼容的自动椭偏测量系统的研究
傅强
关键词:
椭偏仪
椭圆偏振
光学仪器
激光应用
自动椭偏测厚仪测量精确度的实验研究
被引量:6
2004年
根据椭偏消光法和光度法原理,研制成功一台消光法和光度法兼容的自动椭偏测厚仪。本文介绍椭偏光度法的测量原理和仪器的测量过程及方法,并详细给出仪器测量精确度的实验研究结果。
黄佐华
何振江
杨冠玲
傅强
关键词:
椭偏仪
光度法
膜厚
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