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傅强

作品数:5 被引量:42H指数:3
供职机构:华南师范大学物理与电信工程学院物理系更多>>
发文基金:广东省工业攻关项目更多>>
相关领域:机械工程理学语言文字环境科学与工程更多>>

文献类型

  • 3篇期刊文章
  • 2篇学位论文

领域

  • 4篇机械工程
  • 3篇理学
  • 1篇交通运输工程
  • 1篇环境科学与工...
  • 1篇语言文字

主题

  • 4篇椭偏仪
  • 2篇圆偏振
  • 2篇偏振
  • 2篇椭偏测量
  • 2篇椭圆偏振
  • 2篇消光
  • 2篇膜厚
  • 2篇激光
  • 2篇激光应用
  • 2篇光度
  • 1篇仪器
  • 1篇软件设计
  • 1篇计算机
  • 1篇计算机应用
  • 1篇光度法
  • 1篇光学仪器
  • 1篇厚度测量
  • 1篇测厚
  • 1篇测厚仪

机构

  • 5篇华南师范大学
  • 2篇广东省公安厅

作者

  • 5篇傅强
  • 3篇杨冠玲
  • 3篇黄佐华
  • 3篇何振江

传媒

  • 1篇光学技术
  • 1篇机电工程技术
  • 1篇华南师范大学...

年份

  • 1篇2004
  • 1篇2001
  • 2篇1999
  • 1篇1998
5 条 记 录,以下是 1-5
排序方式:
自动椭圆偏振测厚仪中的软件设计被引量:8
1998年
本文简要介绍了自动椭偏仪的系统结构和硬件电路设计,着重叙述仪器的软件设计。
傅强黄佐华宁惠军杨冠玲杨冠玲
关键词:软件设计测厚仪厚度测量
消光式和光度式兼容的自动椭偏测量系统的研究
该文对消光式自动椭偏测量系统进行了深入研究,并在此基础上研制了消光式和光度式兼容的自动椭偏测量系统.该文研制的消光式和光度式自动椭偏测量系统既能用消光法进行精确测量,也能用光度法进行快速测量.该仪器能测量不同均匀材料和单...
傅强
关键词:椭偏仪激光应用计算机应用
多功能椭偏测厚仪被引量:32
2001年
研究成功一台变入射角反射式消光法多功能智能椭偏测厚仪。实验表明 :仪器的测厚准确度为± 0 1nm ;椭偏参数Ψ和Δ的测量重复性精度分别为± 0 1°和± 0 3° 。
黄佐华何振江杨冠玲傅强宁惠军
关键词:椭偏仪膜厚
消光和光度式兼容的自动椭偏测量系统的研究
傅强
关键词:椭偏仪椭圆偏振光学仪器激光应用
自动椭偏测厚仪测量精确度的实验研究被引量:6
2004年
根据椭偏消光法和光度法原理,研制成功一台消光法和光度法兼容的自动椭偏测厚仪。本文介绍椭偏光度法的测量原理和仪器的测量过程及方法,并详细给出仪器测量精确度的实验研究结果。
黄佐华何振江杨冠玲傅强
关键词:椭偏仪光度法膜厚
共1页<1>
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