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黄平
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供职机构:
电子工业部
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何林
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1997
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功率RMOS器件的优化设计
1997年
从RMOS器件的导通电阻模型出发,通过分析导通电阻与栅氧化层厚度和槽深间的定量关系,得出:减薄栅氧化层厚度或增加槽的深度,可以降低器件的导通电阻和器件的反向耐压;反之,器件的导通电阻和反向耐压增加。同时,浅槽结构比深槽结构更理想。文中还讨论了器件的版图布局。结果表明,条形结构优于元胞结构。
黄平
俞永康
何林
关键词:
功率器件
功率MOSFET
半导体器件
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