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马波

作品数：14 被引量：1H指数：1
供职机构：清华大学更多>>
相关领域：交通运输工程一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 12篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇交通运输工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 6篇金属
  • 6篇碱金属
  • 4篇电器
  • 4篇原子
  • 4篇膜结构
  • 4篇金属原子
  • 4篇继电器
  • 4篇碱金属原子
  • 4篇封装
  • 3篇MEMS
  • 2篇单质
  • 2篇动触点
  • 2篇悬臂
  • 2篇悬臂结构
  • 2篇阳极键合
  • 2篇石蜡
  • 2篇微机电系统
  • 2篇牺牲层
  • 2篇消融
  • 2篇阶层

机构

  • 14篇清华大学

作者

  • 14篇马波
  • 12篇尤政
  • 12篇阮勇
  • 4篇陈硕
  • 4篇张高飞
  • 2篇韩润奇
  • 2篇刘倚瑞
  • 1篇施顺国
  • 1篇梅顺良

传媒

  • 1篇微计算机信息

年份

  • 1篇2017
  • 1篇2016
  • 3篇2015
  • 3篇2014
  • 2篇2013
  • 2篇2011
  • 1篇2008
  • 1篇2006
共 14 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
具有原子蒸气腔室的MEMS器件及其形成方法
本发明公开了一种具有原子蒸气腔室的MEMS器件及其形成方法。其中该MEMS器件包括：硅衬底，硅衬底中具有至少一个窗口；相同的第一玻璃基片和第二玻璃基片，第一玻璃基片位于硅衬底之上，第二玻璃基片位于硅衬底之下，其中，窗口与...
阮勇韩润奇尤政马波
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一种碱金属单质封装方法
一种碱金属单质微封装方法，应用于碱金属原子蒸汽反应腔室技术领域，其特征在于含有制作蜡封成型模具，在底模上涂覆石蜡层，在石蜡层上用阳模或是激光加工出微盲孔阵列，用微量进样装置把液态碱金属单质注入到石蜡层上的微盲孔阵列中，在...
阮勇陈硕马波尤政
一种微机电系统桥膜结构残余应力的测试方法
本发明公开了一种微机电系统桥膜结构残余应力的测试方法，包括：S1、形成微机电系统桥膜结构载荷位移曲线，通过所述载荷位移曲线得出实测弹性系数；形成无残余应力载荷位移曲线，通过所述无残余应力的载荷位移曲线得出无残余应力模拟弹...
阮勇刘倚瑞马波尤政
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MEMS硅桥膜结构继电器的制备方法
MEMS桥膜结构静电驱动继电器的制备方法属于MEMS器件的设计制造领域，其特征在于：（1）该继电器工艺采用绝缘体上硅SOI（Silicon？On？Insulator）与玻璃片（或硅片）键合的方式；（2）通过键合形成硅—玻...
阮勇张高飞常双凯马波尤政
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MEMS硅桥膜结构继电器及其制备方法
MEMS桥膜结构静电驱动继电器的制备方法属于MEMS器件的设计制造领域，其特征在于：（1）该继电器工艺采用绝缘体上硅SOI（Silicon On Insulator）与玻璃片（或硅片）键合的方式；（2）通过键合形成硅—玻...
阮勇张高飞常双凯马波尤政
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MEMS继电器、悬臂梁开关及其形成方法
本发明公开了一种MEMS继电器，包括：至少一个悬臂梁开关对，其包括两个呈轴对称分布且自由端位置邻近的悬臂梁开关，每个悬臂梁开关包括：悬臂结构；与悬臂结构的固定端相连的驱动上电极；位于悬臂结构下方的驱动下电极；位于悬臂结构...
阮勇马波常双凯张高飞尤政
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高温堆闭式布雷顿循环的基础研究
马波
关键词：高温气冷堆布雷顿循环
具有原子蒸气腔室的MEMS器件及其形成方法
本发明公开了一种具有原子蒸气腔室的MEMS器件及其形成方法。其中该MEMS器件包括：硅衬底，硅衬底中具有至少一个窗口；相同的第一玻璃基片和第二玻璃基片，第一玻璃基片位于硅衬底之上，第二玻璃基片位于硅衬底之下，其中，窗口与...
阮勇韩润奇尤政马波
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一种MEMS原子蒸气腔室的制备方法及原子蒸气腔室
一种MEMS原子蒸气腔室的制备方法及原子蒸气腔室。腔室采用阳极键合技术，由Pyrex玻璃片-硅片-Pyrex玻璃片键合构成。Pyrex玻璃片作为腔室的窗口，硅片刻蚀或腐蚀出腔室空间。腔室中放入石蜡封装的碱金属铷或铯，同时...
阮勇马波陈硕尤政
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一种MEMS原子蒸气腔室的制备方法及原子蒸气腔室
一种MEMS原子蒸气腔室的制备方法及原子蒸气腔室。腔室采用阳极键合技术，由Pyrex玻璃片-硅片-Pyrex玻璃片键合构成。Pyrex玻璃片作为腔室的窗口，硅片刻蚀或腐蚀出腔室空间。腔室中放入石蜡封装的碱金属铷或铯，同时...
阮勇马波陈硕尤政
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