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陈涵

作品数：7 被引量：3H指数：1
供职机构：南京师范大学更多>>
发文基金：教育部重点实验室开放基金江苏省自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇专利
  • 2篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 3篇理学

主题

  • 7篇MEMS薄膜
  • 5篇杨氏模量
  • 4篇芯片
  • 4篇芯片面积
  • 2篇导电
  • 2篇导电材料
  • 2篇谐振频率
  • 2篇非接触
  • 2篇干涉仪
  • 2篇薄膜应力
  • 2篇泊松比
  • 1篇弹性模量

机构

  • 7篇南京师范大学

作者

  • 7篇陈涵
  • 6篇戎华
  • 6篇王鸣

传媒

  • 1篇传感技术学报
  • 1篇西安文理学院...

年份

  • 1篇2011
  • 1篇2010
  • 3篇2009
  • 2篇2008
共 7 条 记 录，以下是 1-7
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排序方式：
MEMS薄膜应力梯度及杨氏模量在线测量方法研究
结构层薄膜淀积和牺牲层释放是硅基MEMS器件加工过程中形成可动结构的重要工序。结构层薄膜的力学参数对MEMS器件制作成败及性能的好坏具有重要影响。薄膜厚度方向上的应力梯度和薄膜的杨氏模量就是两个十分重要的力学参数。结构层...
陈涵
关键词：MEMS薄膜杨氏模量
文献传递
MEMS薄膜平均应力梯度在线测量方法
2008年
结构层淀积是MEMS加工过程中的重要工艺步骤,淀积薄膜的应力梯度是影响MEMS器件性能的一个重要的力学参数.文中介绍了几种常见的平均应力梯度在线测量方法,阐明了其测试结构及测量原理,并对这些测量方法进行了比较.
陈涵戎华王鸣
基于谐振频率法在线测量MEMS薄膜杨氏模量的方法
本发明公开了一种基于谐振频率法在线测量MEMS薄膜杨氏模量的方法，其步骤是：制作一个半径为r<Sub>0</Sub>厚度为h的中心固定圆形MEMS薄膜，薄膜的锚区固定在平面衬底上；使用显微运动分析仪测出中心固定圆形MEM...
戎华陈涵王鸣
文献传递
MEMS薄膜弹性模量及残余应力提取的数值算法被引量：3
2008年
材料弹性模量、残余应力的在线提取,已成为MEMS领域中日益迫切的需要。文中首先简要介绍现有的一些主要的材料参数提取方法,然后提出了一种无需静电作用下两端固支梁吸合电压的显式解析表达式,而是利用决定静电作用固支梁弯曲挠度的微分方程直接计算吸合电压,再提取材料参数的算法。避免了在推导吸合电压的显式表达式过程中可能引入的误差,有利于保证材料参数测量的精度。模拟结果表明这种算法速度快、精度高,对实际应用有较好的参考价值。
戎华陈涵王鸣
一种在线测量MEMS薄膜应力梯度的方法
本发明公开了一种在线测量MEMS薄膜应力梯度的方法，其步骤为：在结构层薄膜上制作成一个中心固定的圆形薄膜。当圆膜被释放后，会在其内部的应力梯度作用下发生形变。用非接触相移型米劳干涉仪测量出圆膜边缘竖直方向的位移，进而算出...
戎华陈涵王鸣
文献传递
基于谐振频率法在线测量MEMS薄膜杨氏模量的方法
本发明公开了一种基于谐振频率法在线测量MEMS薄膜杨氏模量的方法，其步骤是：制作一个半径为r<Sub>0</Sub>厚度为h的中心固定圆形MEMS薄膜，薄膜的锚区固定在平面衬底上；使用显微运动分析仪测出中心固定圆形MEM...
戎华陈涵王鸣
文献传递
一种在线测量MEMS薄膜应力梯度的方法
本发明公开了一种在线测量MEMS薄膜应力梯度的方法，其步骤为：在结构层薄膜上制作成一个中心固定的圆形薄膜。当圆膜被释放后，会在其内部的应力梯度作用下发生形变。用非接触相移型米劳干涉仪测量出圆膜边缘竖直方向的位移，进而算出...
戎华陈涵王鸣
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