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谷丹丹

作品数：9 被引量：16H指数：3
供职机构：厦门大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”福建省科技计划重点项目更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术理学动力工程及工程热物理更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇期刊文章
  • 2篇专利
  • 1篇学位论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 3篇电子电信
  • 2篇一般工业技术
  • 1篇化学工程
  • 1篇动力工程及工...
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇理学

主题

  • 3篇微通道
  • 2篇压力传感器
  • 2篇液相
  • 2篇散热
  • 2篇散热效能
  • 2篇微机电系统
  • 2篇力传感器
  • 2篇机电系统
  • 2篇键合
  • 2篇硅基
  • 2篇分离式
  • 2篇感器
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 2篇电系统
  • 1篇电纺
  • 1篇电纺丝
  • 1篇电流
  • 1篇形貌
  • 1篇形貌控制

机构

  • 9篇厦门大学
  • 1篇西安交通大学

作者

  • 9篇谷丹丹
  • 4篇张春权
  • 3篇王凌云
  • 3篇罗仲梓
  • 3篇张玉龙
  • 2篇孙道恒
  • 2篇李燕飞
  • 2篇张艳
  • 2篇张保平
  • 2篇蒋书森
  • 1篇何熙
  • 1篇伞海生
  • 1篇陈松岩
  • 1篇石鹏
  • 1篇方辉
  • 1篇曾毅波
  • 1篇傅万里
  • 1篇董涛
  • 1篇杨朝初
  • 1篇席文明

传媒

  • 1篇光学精密工程
  • 1篇化工学报
  • 1篇厦门大学学报...
  • 1篇仪表技术与传...
  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2017
  • 2篇2012
  • 1篇2011
  • 2篇2010
  • 1篇2009
  • 1篇2008
  • 1篇2007
共 9 条 记 录，以下是 1-9
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排序方式：
电纺中电流行为及其在形貌控制中的应用
2011年
根据质量守恒和电荷守恒定律,在分析溶液中电荷形成及电流传导的理论基础上推导了电纺电流与纺丝电压以及溶液流量之间所存在的幂指数数学关系,并通过实验验证了该结果的正确性。利用I-V转换电路所记录的实时纺丝电流和纺丝结果的形貌对比,得出了四种电流波动状况下的不同电纺形貌特征,并对其产生机制进行了定性分析。基于电纺电流与纺丝结果和电纺工艺参数之间的内在关系,提出了一种基于电纺电流的静电纺丝反馈控制装置,试图通过对电纺电压和溶液流量的反馈控制,实现对静电纺丝电流即纺丝形貌的一致控制,进一步达到稳定电纺质量的目的。
谷丹丹王凌云孙道恒席文明
关键词：静电纺丝形貌反馈控制
超声技术在硅湿法腐蚀中的应用被引量：9
2009年
为了获得平滑的硅湿法腐蚀表面，在硅湿法腐蚀中引入超声技术。对超声湿法腐蚀系统进行了改进，以确保腐蚀溶液的顶部和底部温差在0．5℃之内。采用60℃，10％质量分数的KOH溶液，在超声频率为59kHz，超声功率为60～180w（间隔10W）条件下对（100）硅片进行湿法腐蚀。最后，运用激光共聚焦扫描显微镜（LSCM）对腐蚀后硅片表面粗糙度进行测量，并探讨超声参数的选择对腐蚀表面质量的影响。实验结果表明：超声功率在120W时，可以获得平滑的腐蚀表面，表面粗糙度Rq值为0．020um。在湿法腐蚀系统中采用超声技术，可以明显改善腐蚀表面质量，在较低温度和较低浓度的KOH溶液中，选择合适的超声参数可获得高品质的腐蚀表面。
曾毅波王凌云谷丹丹孙道恒
关键词：湿法腐蚀超声技术表面粗糙度激光共聚焦扫描显微镜微机电系统
红外微腔探测器中金属支撑柱的制备工艺研究
2008年
基于一般正胶光刻工艺的剥离工艺，所需胶膜的厚度要大大超过剥离薄膜的厚度.这样在剥离线宽小、厚度大的微腔结构探测器的金属互连柱图形时就会存在光刻分辨率低、剥离难的问题.本文重点研究了基于AZ5214E光刻胶图像反转性能的剥离工艺，对图像反转光刻所特有的反转烘、掩模曝光、泛曝光工艺条件进行了详细的对比实验.结果表明：当反转烘温度为96-98℃，第一次掩模曝光时间和泛曝光时间分别为8.1 s、8.4 s时，可以得到较好的光刻图形.通过电子束蒸发Ti，成功剥离出高2.40μm、面积3.0μm×3.0μm的Ti微互连柱.此工艺的优点在于分辨率高，胶膜与剥离薄膜的厚度比接近1时，也能剥离出所要图形，可以用于制备MEMS微腔器件中的微互连柱.
何熙陈松岩方辉罗仲梓谷丹丹
硅基汽液相分离式散热芯片及其制备方法
硅基汽液相分离式散热芯片及其制备方法，涉及一种电子元器件的散热芯片。提供一种能够克服以上硅基散热器的缺点，提高硅基散热器散热效能的硅基汽液相分离式散热芯片及其制备方法。散热芯片为上下两层结构，分别为上硅片和下硅片，在上硅...
张玉龙张保平罗仲梓蒋书森张艳谷丹丹张春权李燕飞
文献传递
一种高灵敏度无线压力传感器的研究被引量：3
2017年
为解决压力传感器在密闭空间、高旋、生物体内等不适用引线的问题,设计了一种无线压力传感器。对传感器进行原理分析及结构设计,采用MEMS工艺对硅片及BF33进行加工,并搭建了谐振频率-压力测试平台,对传感器性能进行测试。压力测试范围为5~105 k Pa,在常温时的灵敏度为161.5 Hz/Pa,传感器具有较高的灵敏度,有利于提高压力检测精度。
杨龙王凌云谷丹丹王丽英
关键词：无线测试LC谐振MEMS压力传感器
汽车工业用MEMS传感器的研发和产业化及微纳制造产业化平台的建设
陈旭远伞海生石鹏傅万里谷丹丹张玉龙张春权蒋树森
汽车工业用MEMS(微电子机械系统)传感器是厦门大学萨本栋微纳米技术研究中心应国内、国外市场发展的要求而自主研发的传感器,包括硅基MEMS红外光源和硅基MEMS压力传感器。项目依托厦门大学4英寸的MEMS生产线，项目实现...
关键词：
关键词：微电子机械系统压力传感器汽车工业
细胞批量注射系统中细胞固定芯片的研制
随着现代生物技术的迅速发展，细胞注射作为基本的生物微操作技术之一，在转基因、克隆、人工受精、医药研究等方面发挥着重要作用。当前，细胞注射主要以手动或者半自动化的注射方式来完成，但是细胞注射的高度技巧性、复杂性和不稳定性使...
谷丹丹
关键词：微加工技术结构参数工艺参数力学性能
微机电系统中的矩形通道内微气泡控制生长被引量：4
2007年
采用微机电系统(MEMS)硅加工工艺,设计、加工出了6种不同规格的实验用微气泡控制生长MEMS器件;构建了MEMS器件中微气泡控制生长实验系统并完成了实验,讨论了热负荷、微加热元宽度、微通道截面参数、工质流速及物性参数等对微气泡生长的影响。结果表明:同等实验条件下,加热电压幅值越高,微气泡生长速率越快;加热脉冲宽度仅对微气泡形成后的进一步生长有影响;加热条件相同的前提下,微加热元宽度越大,气泡成核所需的时间越短、微气泡生长速率越快;微通道宽度一定且高宽比大于1的条件下,高宽比越小,后期微气泡生长速率越慢;微流体的流速越高,微气泡生长始点越晚、生长速率也越低。相同实验条件下,R113、FC-72、去离子水三者中,R113中微气泡生长始点最靠前、生长速率最快,去离子水中微气泡生长最靠后、生长速率最慢。
董涛杨朝初毕勤成张玉龙谷丹丹张春权
关键词：微机电系统矩形微通道
硅基汽液相分离式散热芯片及其制备方法
硅基汽液相分离式散热芯片及其制备方法，涉及一种电子元器件的散热芯片。提供一种能够克服以上硅基散热器的缺点，提高硅基散热器散热效能的硅基汽液相分离式散热芯片及其制备方法。散热芯片为上下两层结构，分别为上硅片和下硅片，在上硅...
张玉龙张保平罗仲梓蒋书森张艳谷丹丹张春权李燕飞
文献传递
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