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谭鑫

作品数：78 被引量：113H指数：7
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金吉林省科技发展计划基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：理学机械工程电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 53篇专利
  • 21篇期刊文章
  • 3篇科技成果
  • 1篇学位论文

领域

  • 20篇机械工程
  • 20篇理学
  • 13篇电子电信
  • 8篇自动化与计算...
  • 2篇农业科学
  • 1篇建筑科学
  • 1篇交通运输工程
  • 1篇核科学技术
  • 1篇医药卫生
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 32篇光栅
  • 21篇刻蚀
  • 17篇衍射
  • 12篇全息
  • 10篇光谱
  • 9篇全息光栅
  • 9篇离子束
  • 8篇湿法刻蚀
  • 7篇图像
  • 7篇离子束刻蚀
  • 7篇光谱图像
  • 7篇高光谱图像
  • 7篇波长
  • 6篇衍射效率
  • 6篇闪耀光栅
  • 6篇透射
  • 6篇透射光
  • 6篇透射光栅
  • 6篇光刻
  • 6篇光刻胶

机构

  • 73篇中国科学院长...
  • 10篇中国科学院大...
  • 7篇中国科学技术...
  • 2篇中国科学院
  • 2篇中国科学院研...
  • 1篇长春中医药大...
  • 1篇中国工程物理...
  • 1篇中国科学院上...

作者

  • 78篇谭鑫
  • 29篇巴音贺希格
  • 26篇李文昊
  • 16篇许亮
  • 15篇齐向东
  • 12篇吴娜
  • 9篇杨名宇
  • 8篇李耀彬
  • 6篇唐玉国
  • 6篇张伟
  • 5篇孔鹏
  • 5篇付绍军
  • 4篇徐向东
  • 4篇刘颖
  • 4篇洪义麟
  • 4篇姜珊
  • 4篇宋莹
  • 3篇张方程
  • 3篇王玮
  • 3篇杨硕

传媒

  • 8篇光学精密工程
  • 3篇光学学报
  • 3篇光谱学与光谱...
  • 2篇中国光学
  • 1篇药物分析杂志
  • 1篇强激光与粒子...
  • 1篇功能材料与器...
  • 1篇纳米技术与精...
  • 1篇科技成果管理...

年份

  • 8篇2024
  • 8篇2023
  • 11篇2022
  • 4篇2021
  • 8篇2020
  • 8篇2019
  • 5篇2018
  • 1篇2017
  • 4篇2015
  • 2篇2014
  • 8篇2013
  • 2篇2012
  • 2篇2011
  • 2篇2010
  • 2篇2009
  • 3篇2008
共 78 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种二次相位离轴菲涅尔波带片设计方法
本发明提供了一种二次相位离轴菲涅尔波带片设计方法，包括以下步骤：S1、确定层析显微光路系统中待校正的像差；S2、根据待校正的像差的分布，利用第一曝光点和第二曝光点的坐标确定二次相位离轴菲涅尔波带片的栅线分布。本发明提供的...
谭鑫杨琳焦庆斌马振予
衍射光学元件的复制方法
本发明提供一种衍射光学元件的复制方法，包括如下步骤：S1、在母版衍射光学元件的图形表面涂覆一层润滑油；S2、在涂覆润滑油的图形表面涂覆一层紫外固化胶；S3、将基底置于涂覆紫外固化胶的图形表面，并采用紫外光照射，使紫外固化...
谭鑫焦庆斌马振予刘思琪
分裂椭圆型超表面折射率传感器及其制备方法
本发明涉及光学技术领域，尤其涉及一种分裂椭圆型超表面折射率传感器及其制备方法，传感器包括：基底和全介质超表面结构阵列；全介质超表面结构阵列包括多个全介质超表面单元结构，多个全介质超表面单元结构周期性的排列在基底上，全介质...
谭鑫王天钰焦庆斌刘思琪姜思佳马顶申文浩王泽彪张明乐谢红钰
基于近红外光谱技术的可溶性膳食纤维快速检测方法
本发明提供一种基于近红外光谱技术的可溶性膳食纤维快速检测方法，包括以下步骤：S1、对标准样品和待测样品分別进行光谱采集；S2、对采集的光谱数据进行预处理；S3、根据标准样品的光谱数据建立标准光谱库和定量分析模型；S4、将...
谭鑫张薇冯长有马振予焦庆斌刘思琪裴健李宇航李徽杨琳邹宇博张嘉航
文献传递
反向驱动可调谐F-P滤波器
本发明提供一种反向驱动可调谐F‑P滤波器及其制备方法，滤波器包括静镜、动镜、支撑桥墩、微桥、电极支撑结构和顶部电极；其中，支撑桥墩制备在静镜上，支撑桥墩与静镜之间形成空腔；动镜位于空腔内，动镜与静镜之间形成F‑P谐振腔，...
谭鑫刘思琪焦庆斌马振予
基于光场波前相位调制的AR衍射光波导装置
本发明提供一种基于光场波前相位调制的AR衍射光波导装置，包括：光源、耦合出射光栅、第一衍射光学元件、第二衍射光学元件和波导；光源发出具有初始波前的入射光束对第一衍射光学元件进行照射，经过调制后形成平面波前并垂直入射至第二...
谭鑫张嘉航焦庆斌马振予
确定单晶硅湿法刻蚀制作中阶梯光栅中刻蚀截止点的方法
确定单晶硅湿法刻蚀制作中阶梯光栅中刻蚀截止点的方法，属于光谱技术领域，解决了现有技术确定单晶硅湿法刻蚀刻蚀截止点重复性差、精度低的问题。本发明的方法包括以下步骤：(1)构建一套包括单晶硅湿法刻蚀反应以及检测痕量氢气的装置...
焦庆斌谭鑫巴音贺希格齐向东
一种偏振器
本发明提供的偏振器包括激发层、双曲色散材料层、平坦化层、出射层及基底层，宽波段的光波经所述激发层激发产生高空间波矢衍射光，所述高空间波矢衍射光进入所述双曲色散材料层，所述双曲色散材料层对入射的高空间波矢衍射光中宽波段TM...
张伟李文昊谭鑫吴娜焦庆斌杨硕姜岩秀
文献传递
电铸金属光栅中金属沉积过程的在线监测
2019年
在使用电铸方法制作金属光栅时,采用传统的计时电铸方法常常不能保证金属栅条具有精确的沉积厚度。为了能够实时监测光栅栅条的沉积厚度,以实现电铸截止时刻的精确判断,建立了基于衍射效率判断金属沉积厚度的在线监测系统。采用严格耦合波理论计算了Au在光刻胶沟槽中进行沉积时,衍射效率随Au沉积厚度的变化规律,并讨论了光刻胶占宽比、电铸电流密度对衍射效率的影响;计算了电铸池、镀液对监测激光能量造成的损耗。实验得到的效率曲线与仿真结果相一致;电铸池、镀液对光能的损耗达94.88%。实验结果表明,采用在线监测方法实时判断金属沉积厚度是合理有效的;光刻胶占宽比对在线监测影响不大;电铸电流密度对在线监测有影响,且电流密度越高越有利于截止点的判断。
朱春霖胡昊焦庆斌谭鑫巴音贺希格
关键词：金属光栅在线监测严格耦合波理论电流密度能量损耗
调整闪耀光栅离子束刻蚀装置中栅线与束流垂直度的方法
调整闪耀光栅离子束刻蚀装置中栅线与束流垂直度的方法，涉及光谱技术领域，解决现有调整离子束与光栅刻线方向垂直度的方法存在垂直度精度较低且存在误差的问题，建立离子束刻蚀装置；制备刻有两条正交直线及开有中心圆孔的平板；在离子束...
谭鑫吴娜巴音贺希格齐向东
文献传递
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