董茂进
- 作品数：85 被引量：66H指数：5
- 供职机构：兰州空间技术物理研究所更多>>
- 发文基金：表面工程技术重点实验室基金国家高技术研究发展计划表面工程技术国家级重点实验室基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程一般工业技术电子电信更多>>
- Au和Ni掺杂n型硅材料的制备及其热敏特性被引量：1
- 2009年
- 为了制备高B低阻的硅单晶热敏材料，采用开管涂源的方法，对n型单晶硅进行Au、Ni两种过渡族金属的双重高温掺杂，得到对温度敏感的补偿硅材料，并对其进行测试和分析。掺杂后得到的硅单晶热敏材料，其导电类型仍为n型，且电阻率较低，为欠补偿，测试结果表明其常温电阻率ρ25=64～416Ω·cm，温度敏感系数（B值）在5300K左右；根据半导体中深能级杂质理论推导计算得到的材料的B值，与实验值基本一致。
- 董茂进陈朝阳范艳伟丛秀云王军华陶明德
- 关键词：深能级杂质AUNI
- 一种超平滑有机膜层的制备方法
- 本发明公开了一种超平滑有机膜层的制备方法。镀膜是在氧化硅、氧化铝等无机膜层表面进行，工艺包括，有机物闪蒸、有机物流平、有机膜层聚合三个工艺过程；本发明的方法制备的有机膜层的作用，一方面能够使得无机膜层平坦化，粗糙度从20...
- 董茂进冯煜东王小军秦丽丽王冠冯尔鹏蔡宇宏韩仙虎王毅马凤英
- 真空度对TiO_2薄膜光学和结构特性的影响被引量：5
- 2010年
- 为制备高性能TiO2光学薄膜,采用离子束辅助,电子束蒸发沉积的方法,研究不同真空度对薄膜性能的影响。真空度随真空室内通氧量增大从1.3×10-3Pa变化到2.5×10-3Pa,得到不同光学和结构特性的TiO2薄膜。采用分光光度计测试其光谱,SEM测试其表面形貌。测试结果发现,TiO2薄膜的透过率峰值随真空度降低而增大,折射率和消光系数随真空度降低而减小,薄膜表面形貌随真空度降低从致密变粗糙。在真空度2.0×10-3Pa的工艺条件下,成膜质量最佳,此时最大透过率92%,折射率在2.45～2.20之间,消光系数在10-4以下。根据Cauchy公式拟合其色散规律,拟合曲线和采用包络法计算得到的曲线较好重合,折射率随波长的变化公式为n(λ)=2.12+5.69×104/λ2+8.07×107/λ4。
- 董茂进陈焘王济洲王多书王超
- 关键词：TIO2真空度光学特性结构特性
- 基于包-全法的红外滤光片光学参数测量方法被引量：2
- 2019年
- 为了研究准确性更高的复杂多层膜光学参数测量方法,测量实际镀制红外带通滤光片的光学参数,对红外滤光片研制过程的设计优化与工艺的改进具有重要的指导作用。首先,在研究传统薄膜光学参数光谱测量方法的基础上,提出了包-全法,并研究了该方法的基本思想、物理模型以及优化算法;其次,设计制备了2 000~8 000 nm谱段内膜料单层膜和高透射率、宽截止中波带通红外滤光片,通过对比测量单层膜光学参数反演计算光谱与实测光谱的差异,验证了包-全法测量膜料单层膜光学参数的准确度及有效性,依据测量结果确定了膜料色散关系,甄别了膜层工艺的优劣;最后,采用包-全法与全光谱拟合反演法对红外滤光片的光学参数作了对比测量验证。结果证明:该方法能够准确测量红外滤光片的光学参数,测量结果可用于指导修正设计与工艺之间的匹配性,进而研制了性能更好的红外滤光片。
- 李凯朋王济洲王多书王云飞董茂进
- 关键词：光学参数
- 一种射频磁控共溅射制备二次电子发射功能薄膜的方法
- 本发明涉及一种射频磁控共溅射制备二次电子发射功能薄膜的方法，属于功能薄膜制备领域。所述方法具体包括清洁真空室、清洗基片、装基片、真空室抽真空、等离子体清洗靶材和二次电子发射薄膜沉积六个步骤。采用所述方法制备的二次电子发射...
- 李晨张玲王多书熊玉卿王济洲董茂进吴伟王超高欢
- 文献传递
- 可见近红外谱段反射和红外多谱段透过分色片及制备方法
- 本发明涉及可见近红外谱段反射和红外多谱段透过分色片及制备方法，属于表面技术领域。该分色片包括硒化锌基底及基底一侧膜系；膜系结构为（0.3h0.6l0.3h）^10（0.38h0.76l0.38h）^10（0.5hl0.5...
- 王多书王济洲熊玉卿董茂进王超张玲李晨
- 文献传递
- 一种具有抗静电反红外诱导滤光片的设计与制备被引量：2
- 2015年
- 对一种具有抗静电反红外且在可见及近红外高透过的滤光片进行了研究。采用诱导滤光片的设计理论讨论了膜层厚度及薄膜常数对滤光片透射率及反射区的影响规律,采用离子束辅助沉积方式和磁控溅射的方式对设计膜系进行了制备工艺研究,重点讨论了不同工艺条件下金属层的薄膜常数的变化规律及其对滤光片性能的影响。最终设计的滤光片在750~850 nm谱段具有高达90%以上的透过率、2 500 nm以后谱段反射率高达90%,表面电阻小于300Ω,该滤光片具有很好的抗静电及反红外性能。
- 王济洲李宏熊玉卿董茂进张玲李晨
- 关键词：光学薄膜抗静电红外
- 一种8～8.4μm透过的长波红外滤光片及制备方法
- 本发明涉及一种8～8.4μm透过的长波红外滤光片及制备方法，属于光学薄膜技术领域。该滤光片包括锗基底、基底一侧长波通膜系和另一侧短波通膜系；长波通膜系结构为：（0.5lh0.5l）^10（0.57l1.14h0.57l）...
- 董茂进王多书熊玉卿张玲王济洲李晨王超高欢
- 文献传递
- 一种检测柔性硅氧烷薄膜厚度的方法
- 本发明提供一种检测柔性硅氧烷薄膜厚度的方法，涉及薄膜材料检测领域。所述柔性硅氧烷薄膜是在柔性基底表面用PECVD方法镀制的硅氧烷薄膜，所述方法包括以下步骤：取样：取柔性基底及其表面镀制的硅氧烷薄膜作为检测样品，所述检测样...
- 董茂进王小军冯煜东韩仙虎蔡宇宏秦丽丽王毅王冠马凤英
- 高性能长波红外窄带滤光片的设计与镀制
- 高性能的长波红外窄带滤光片是空间相机及扫描仪等有效载荷的关键部件。利用多半波结构加局部优化的方法设计中波红外窄带带通滤光片,同时基片反面镀制长波通膜层用以截止前面的光谱,设计光谱8.05-8.35um透射率大于90%,小...
- 董茂进熊玉卿王多书王济洲李晨
- 关键词：光学薄膜滤光片长波红外窄带
- 文献传递
