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管玉兰

作品数：10 被引量：0H指数：0
供职机构：上海大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 9篇专利
  • 1篇学位论文

主题

  • 10篇金刚石薄膜
  • 6篇溅射
  • 3篇等离子体化学...
  • 3篇钽丝
  • 3篇微波等离子体
  • 3篇微波等离子体...
  • 3篇纳米金刚石薄...
  • 3篇化学气相
  • 3篇化学气相沉积
  • 3篇溅射靶材
  • 3篇靶材
  • 3篇衬底
  • 3篇衬底温度
  • 2篇氮化
  • 2篇氮化硼
  • 2篇氮化硼薄膜
  • 2篇等离子体刻蚀
  • 2篇调节流量
  • 2篇掩模
  • 2篇探测器

机构

  • 10篇上海大学

作者

  • 10篇管玉兰
  • 9篇黄健
  • 8篇赖建明
  • 8篇唐可
  • 7篇夏义本
  • 7篇王林军
  • 2篇徐闰
  • 2篇冯健
  • 1篇戴文琦

年份

  • 1篇2011
  • 1篇2010
  • 2篇2009
  • 6篇2008
共 10 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种纳米晶金刚石薄膜场效应晶体管的制备方法
本发明涉及一种纳米晶金刚石薄膜场效应晶体管的制备方法，该方法主要步骤：硅衬底预处理后放入微波等离子体化学气相沉积装置的反应室内作为沉积衬底；在甲烷与氢气的混合反应气体中进行金刚石薄膜生长，然后用进行氢等离子体刻蚀，即得p...
王林军黄健赖建明唐可管玉兰夏义本
文献传递
ZnO/纳米金刚石共面栅紫外光探测器的制备方法
本发明涉及一种ZnO/纳米金刚石薄膜紫外光探测器制备方法，属纳米无机化合物能源材料制造工艺技术领域。该方法是将ZnO薄膜以磁控溅射法沉积在纳米金刚石薄膜上，以高纯ZnO陶瓷靶为溅射靶材，通入氩气，调节流量为40标准毫升/...
王林军赖建明黄健唐可管玉兰夏义本
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一种高质量立方氮化硼薄膜的制备方法
本发明涉及一种高质量立方氮化硼薄膜的制备方法，该方法主要步骤：钽丝预处理，硅衬底预处理，硅片预处理后放入热丝化学气相沉积装置的反应室内作为沉积衬底；抽真空后在氢气和丙酮气氛中进行金刚石薄膜成核和生长；将沉积好的薄膜在HF...
徐闰冯健黄健唐可赖建明管玉兰
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一种利用缓冲层制备高质量ZnO薄膜的方法
本发明涉及一种利用缓冲层制备高质量ZnO薄膜的方法，该方法主要步骤：硅衬底预处理后放入热丝化学气相沉积装置的反应室内作为沉积衬底；在氢气和丙酮的混合反应气体中进行金刚石薄膜成核、生长，然后用HNO<Sub>3</Sub>...
王林军唐可黄健赖建明管玉兰夏义本
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一种纳米晶金刚石薄膜场效应晶体管的制备方法
本发明涉及一种纳米晶金刚石薄膜场效应晶体管的制备方法，该方法主要步骤：硅衬底预处理后放入微波等离子体化学气相沉积装置的反应室内作为沉积衬底；在甲烷与氢气的混合反应气体中进行金刚石薄膜生长，然后用进行氢等离子体刻蚀，即得p...
王林军黄健赖建明唐可管玉兰夏义本
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一种半导体基片热沉复合材料的制备方法
本发明涉及一种半导体基片热沉复合材料的制备方法，该方法主要步骤：钽丝预处理，硅衬底预处理，硅片预处理后放入热丝化学气相沉积装置的反应室内作为沉积衬底；抽真空后通入反应物氢气和丙酮，进行微米晶金刚石薄膜成核；调节丙酮和氢气...
王林军管玉兰黄健戴文琦夏义本
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ZnO/纳米金刚石共面栅紫外光探测器的制备方法
本发明涉及一种ZnO/纳米金刚石薄膜紫外光探测器制备方法，属纳米无机化合物能源材料制造工艺技术领域。该方法是将ZnO薄膜以磁控溅射法沉积在纳米金刚石薄膜上，以高纯ZnO陶瓷靶为溅射靶材，通入氩气，调节流量为40标准毫升/...
王林军赖建明黄健唐可管玉兰夏义本
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纳米金刚石薄膜的制备及其热学性能研究
管玉兰
关键词：纳米金刚石薄膜表面粗糙度
一种高质量立方氮化硼薄膜的制备方法
本发明涉及一种高质量立方氮化硼薄膜的制备方法，该方法主要步骤：钽丝预处理，硅衬底预处理，硅片预处理后放入热丝化学气相沉积装置的反应室内作为沉积衬底；抽真空后在氢气和丙酮气氛中进行金刚石薄膜成核和生长；将沉积好的薄膜在HF...
徐闰冯健黄健唐可赖建明管玉兰
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一种n－ZnO/p－自支撑金刚石薄膜异质结的制备方法
本发明涉及一种n－ZnO/p－自支撑金刚石薄膜异质结的制备方法，该方法主要步骤：硅衬底预处理后放入微波等离子体化学气相沉积装置的反应室内作为沉积衬底；在甲烷与氢气的混合反应气体中进行金刚石薄膜成核、生长，然后用HNO<S...
王林军黄健唐可赖建明管玉兰夏义本
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