田兴志
- 作品数：30 被引量：104H指数：6
- 供职机构：长春理工大学机电工程学院更多>>
- 发文基金：吉林省自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程电气工程更多>>
- 某车载雷达天线座支座焊接结构的工程分析与研究
- 2013年
- 根据某车载雷达天线座制动支座和驱动支座的使用情况,分析和比较焊接、铸造的两种结构的特点,决定采用焊接结构,同时采用特殊的焊接结构形式,通过有限元分析软件分析支座的变形和应力,得出支座的最大变形为0.464 mm,都在设计要求的刚度和变形范围之内,满足系统对支座的刚度需求。
- 刘薇娜常丰吉李玉军钱雨松吴玉彬田兴志
- 关键词：支座有限元分析刚度
- 激光调阻中首脉冲能量抑制的控制系统和控制方法
- 激光调阻中首脉冲能量抑制的控制系统和控制方法，属于半导体器件的激光精细加工领域。该控制系统包括激光器、光电转换器、幅度检测电路模块、光刻控制器、脉宽可调信号发生器、扫描振镜、聚焦透镜、被调电阻。采用脉宽可调控制技术，对系...
- 孙继凤刘立峰郭晓光汤建华田兴志
- 文献传递
- 反射镜三维调整机构
- 本发明涉及一种光学系统中调整反射镜法线方向的反射镜三维调整机构，其采用的技术方案是：调节座固定安装在基座上，其中央开有一螺纹孔，平调螺钉从该螺纹孔旋入至顶端与镜座相接触；镜座和调节座通过二维调整螺钉活动联接，并且其中一对...
- 宋云夺田兴志
- 文献传递
- 六维磁悬浮纳米级精密工件台的研究被引量：12
- 2003年
- 设计了"H"型六维x y工件台,利用磁悬浮技术将工件台悬浮在x、y导轨上,消除了导轨的摩擦和磨损;直线电机无接触驱动实现了工件台的粗定位;控制不同磁悬浮电磁铁的电流大小,可以实现工件台的微定位以及逐场调平调焦。计算了工件台由于重力弯曲、热膨胀等原因引起结构变形而带来的精度误差,理论上分析证明工件台在x、y方向能满足0.02μm的定位精度要求以及达到0.1μm调焦精度和3.0μrad调平精度的要求。将应用于特征尺寸0.18μm线宽激光光刻机上。
- 宋文荣于国飞王延风何惠阳田兴志
- 关键词：光刻磁悬浮
- 直角刀口法测量激光光束质量被引量：3
- 2008年
- 针对当前几种主要的激光光束质量检测方法的优点和不足,本文提出了一种改进的测量激光能量分布的方法。并根据该方法的特点设计了一种先对模拟信号差分后再进行A/D转换的测量电路方案。使用MATLAB对该方法和方案进行仿真分析,证明了该方法能准确还原复杂的能量分布图形和该测量电路能有效提高测量精度。
- 雷明明田兴志
- 关键词：激光光束质量光斑
- 基于高精度密珠轴承的车载雷达转台方位轴系被引量：2
- 2010年
- 雷达转台方位传动系统是雷达转台的重要组成部分,其作用是驱动雷达天线做高精度的方位旋转。文中主要论述一种应用高精度密珠轴承的方位轴系的结构设计和力学分析,此方位轴系具有径向尺寸小,轴向尺寸大,大型高精度的特点,而且能够实现倒伏和竖立两种状态。文中首先介绍了方位传动系统的整体结构,重点分析了方位轴系所受载荷的情况,对密珠轴承进行了结构分析和强度校核计算,最后对整个方位轴系进行了有限元静态和动态分析,证明此方位轴系力学性能满足设计指标。
- 田学光吴玉彬张德龙邴玉霞常丰吉田兴志
- 关键词：密珠轴承转台
- 三阶非线性Volterra模型的自适应快速辨识
- 2009年
- 在RFID倒扣封装设备研制中,高速倒扣机械手具有很强的非线性和时变特性,线性控制方法难以满足要求,因此本文提出了一种快速辨识算法,采用三阶非线性Volterra模型对机械手进行在线实时辨识。首先,利用不同阶输入向量的结构关系,由低阶输入向量直接构建高阶输入向量。接着,根据不同阶核的相关性从低阶核加速估计高阶核。最后,把线性变步长LMS方法引入到非线性自适应算法中,并用Lyapunov全局稳定理论进行证明。对实际系统的辨识实验表明:与常规方法比较,辨识时间从100 ms缩短为30 ms,辨识速度提高了3.3倍,辨识失调降低了93.3%,同时还具有更高的辨识精度,满足了对非线性系统辨识的精度要求和实时性要求。
- 刘立峰汤建华田兴志
- 关键词：自适应辨识
- 磁悬浮纳米级步进扫描工作台CAD/CAE设计研究被引量：8
- 2004年
- 采用CAD/CAE技术手段设计了一种新型磁悬浮超精密工作台 ,它是针对微电子行业IC芯片制造设备如光刻机而研制的快速步进、精密定位机构。利用磁悬浮技术将工作台悬浮在X、Y导轨上 ,消除了导轨的摩擦和磨损 ;直线电机无接触驱动实现了工件台的精密定位。用UG软件 ,构造了磁悬浮工作台的三维实体模型 ,并进行了机构运动分析仿真 ;用ANSYS软件进行了磁悬浮系统的电磁场分析 ,可得到磁通量密度 ,磁场强度 ,磁力 ,以及能量损耗和漏磁量 ;对磁悬浮工作台进行了有限元力学分析和结论优化 ,并结合实验测试 ,可使工作台在X、Y方向能量满足 0 .0 2 μm的定位精度要求以及达到 0 .1μm调焦精度和 3.0 μrad调平精度的要求。
- 王延风卢志山宋文荣田兴志何惠阳
- 关键词：CAE磁悬浮光刻电磁场分析模态分析
- 基于ANSYS的COG邦定机压头热应变分析
- 2007年
- 邦定机压头是拾取芯片进入CCD物方视场进行图像识别采样并最终完成热压接的重要部件。利用ANSYS软件成熟的热应力分析功能分析并获得了压头热变形理论值,结合实际测量验证了有限元分析结果,以理论分析结果进行压头调节获得了较理想的IC标识CCD图像识别效果。
- 龙海强郭文谦徐健田兴志
- 关键词：ANSYS热应变有限元
- 厚、薄膜电阻激光快速微调技术被引量：6
- 2000年
- 详细介绍了激光微调厚薄膜电阻的基理、激光调阻系统的构成、激光器选择、光束定位扫描系统及实时检测原理,并给出了调阻过程中各种相关参数.
- 张景旭田兴志
- 关键词：集成电路激光微调激光调阻薄膜电阻厚膜电阻
