田伟
- 作品数：50 被引量：85H指数：6
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信金属学及工艺更多>>
- Fizeau干涉仪主机的热稳定性设计与分析被引量：8
- 2011年
- 搭建了光-机-热耦合模型,用于分析Fizeau干涉仪光机系统的热稳定性,并研究了该系统的计算流程、环境温度和系统光学质量的随机性、系统光学质量与环境温度的关系等。首先,根据实验室温控条件,建立环境温度的随机分布模型,进行了光-机-热耦合分析并计算不同温度下光机结构的热分布和结构变形;然后,通过Zernike多项式拟合透镜表面面形和曲率半径,利用光学仿真软件分析变形后的光学系统;最后,对系统光学质量进行概率分析,评价了系统的热稳定性。分析结果表明,温度控制在(22±0.1)℃时,在2σ的置信水平下,Fizeau干涉仪的出射光波前的重复性可以达到0.016%λ,基本满足干涉仪主机光机系统的重复性要求。
- 王平王汝冬田伟王立朋隋永新杨怀江
- 单轴柔性换向机构刚度分析
- 2017年
- 针对某些场合由于空间有限需要换向的情况,设计了一种单轴柔性换向机构。基于线弹性及小变形理论,推导了圆弧形柔性铰链平面内柔度矩阵各参数的解析计算公式,得到了圆弧形柔性铰链的平面内柔度矩阵,计算出了柔性换向机构内柔性铰链的柔度矩阵,并通过有限元软件对该计算结果进行了验证。推导出了柔性换向机构的刚度以及传动比,并通过有限元软件和实验对该计算结果进行了验证。结果表明:在柔度矩阵各项参数的解析值与有限元仿真值之间的相对误差中,除c22项误差较大(-11.84%)以外,其他项误差均在4%以内;柔性换向机构刚度及传动比的解析值与仿真值之间的相对误差分别为-3.31%和5.27%;柔性换向机构刚度及传动比的解析值与实验值之间的相对误差分别在6%与11%以内。
- 毛石磊田伟郭抗杨洪波
- 关键词：柔性铰链柔度矩阵有限元刚度分析
- 光刻机投影物镜热像差主动补偿方法研究被引量：5
- 2014年
- 非均匀照明导致的热像差是光刻机投影物镜工作过程中成像性能劣化的主要因素,对其补偿是必要的。针对物镜热像差的补偿问题,提出了分区式加热补偿镜的方案,利用玻璃材料折射率随温度变化的特点,采用电薄膜加热器在镜片的周围加热,从而产生可控的波前变化以补偿物镜由照明引起的热像差。建立了补偿方案的理论模型,并以一片平板透镜为对象开展了实验验证,实验结果表明,补偿前后镜片的波前由12.52nm[均方根(RMS)]变化至2.95nm(RMS),表明该补偿方案是可行、有效的。
- 陈华苏东奇隋永新章明朝田伟杨怀江张巍
- 关键词：成像系统光刻机投影物镜
- 高精度光学元件面形检测工装夹具
- 高精度光学元件面形检测工装夹具，特别涉及于深紫外投影光刻物镜系统光学元件纳米级面形检测的工装夹具。本发明目的在于解决深紫外投影光刻物镜系统光学元件纳米级面形检测与光学加工中面形精修工艺迭代过程中的高精度重复装卡问题，本发...
- 田伟王汝冬王平王立朋隋永新
- 文献传递
- 用于导轨直线度调整的装置及调整方法
- 本发明提供了一种用于导轨直线度调整的装置，包括升降模块、伸缩模块、蜗杆模块、底板和直角立座；所述升降模块包括第一升降模和第二升降模块；所述底板与所述直角立座连接；所述第一升降模块和第二升降模块对称设置在所述底板前端的两侧...
- 缑旭田伟苗二龙隋永新杨怀江
- 文献传递
- 高光效LCOS投影机
- 本发明涉及一种高光效LCOS投影机，包括照明光源，沿着照明光源光线传输线路上依次设置有光强匀化装置、偏振极化装置、用于透射红色光的第一分光镜及第一反射镜，还包括X棱镜、投影镜头；还设置有第一光线反射模块、第二光线反射模块...
- 方斌田伟李佩玥张巍
- 文献传递
- Φ300mm平面标准镜高精度支撑关键技术被引量：3
- 2015年
- 为保证大口径平面面形的高精度检测,必须对大口径平面标准镜自身的精度进行严格控制。在考虑标准镜自身重力的作用下,通过有限元方法仿真分析了不同粘胶位置以及不同镜框支撑方式下参考面面形的变化。根据分析结果,设计了口径300 mm的平面标准镜支撑方式,镜片采用12点粘胶与镜框固定,镜框下表面采用旋转补偿的方式寻找最优支撑方案。对加工完成的Φ300 mm平面标准镜进行了集成装配,装配结果显示支撑引入的参考面面形变化约为1.294 nm[均方根(RMS)值],与仿真分析结果吻合,并且满足大口径平面检测的检测需求。
- 方斌田伟王汝冬朱岩张永凯王飞
- 关键词：光学设计光学检测有限元法
- 深紫外投影光刻物镜的纳米级光学元件面形检测支撑工装
- 本发明提供一种深紫外投影光刻物镜的纳米级光学元件面形检测支撑工装，包括：光学元件；18个20°均布的弹片支撑单元；用于固定弹片支撑单的镜框；3个120°均布用于镜片精密调整用径向数显微分头调节器；3个用于镜框精密重复定位...
- 田伟王平王汝冬隋永新
- 文献传递
- 一种光学元件重力变形补偿装置
- 本发明公开了一种光学元件重力变形补偿装置，包括光学元件、可变形镜框、一对环形电磁铁、电容传感器和上盖板；可变形镜框为镜框内环、镜框外环和支撑圆环组成的一体化结构，镜框内环通过侧壁上的注胶孔与光学元件固连，支撑圆环下部与外...
- 方斌田伟苗二龙
- 光学系统波前主动补偿装置
- 本发明公开了一种光学系统波前主动补偿装置，属于光学系统的像差补偿技术领域。解决了现有技术中波前主动补偿装置结构复杂、成本昂贵的问题。本发明的光学系统波前主动补偿装置包括玻璃镜片、电控系统和多个温度调节装置，多个温度调节装...
- 陈华苏东奇隋永新杨怀江张巍田伟
