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王振斌

作品数：9 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 8篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇理学
  • 1篇机械工程

主题

  • 3篇等离子体
  • 2篇单色仪
  • 2篇挡板
  • 2篇电荷
  • 2篇电离真空计
  • 2篇照射
  • 2篇真空计
  • 2篇质谱
  • 2篇时间分辨能力
  • 2篇同时测量
  • 2篇谱线
  • 2篇粒子束
  • 2篇加载
  • 2篇工艺过程
  • 2篇光谱
  • 2篇光谱检测
  • 2篇光源
  • 2篇分子泵
  • 1篇电脉冲信号
  • 1篇质谱测量

机构

  • 9篇清华大学
  • 2篇沈阳拓荆科技...

作者

  • 9篇王振斌
  • 6篇蒲以康
  • 2篇胡大为
  • 2篇李江涛

年份

  • 2篇2017
  • 2篇2016
  • 1篇2015
  • 3篇2014
  • 1篇2013
共 9 条 记 录，以下是 1-9
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排序方式：
氩等离子体中亚稳态原子表面退激概率研究
氩气被广泛用作工业生产和科学研究中产生等离子体的原料气体。氩亚稳态原子在含氩等离子体中发挥着重要作用,是电子、离子和更高激发态粒子的重要来源,除此之外,氩亚稳态原子还可以分解含氧、含氟、含氯等分子产生活性粒子。因此,研究...
王振斌
关键词：氩等离子体
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研究等离子体与材料表面相互作用的XPS分析方法及系统
本发明提出一种研究等离子体与材料表面相互作用的XPS分析方法及系统，其中系统包括：加载互锁腔体、等离子体放电腔体和分析腔体。加载互锁腔体用于将样品传送至等离子体放电腔体或分析腔体；等离子体放电腔体与加载互锁腔体相连，用于...
李江涛王振斌蒲以康
研究等离子体与材料表面相互作用的XPS分析方法及系统
本发明提出一种研究等离子体与材料表面相互作用的XPS分析方法及系统，其中系统包括：加载互锁腔体、等离子体放电腔体和分析腔体。加载互锁腔体用于将样品传送至等离子体放电腔体或分析腔体；等离子体放电腔体与加载互锁腔体相连，用于...
李江涛王振斌蒲以康
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可同时测量多条谱线的时间分辨发射光谱测量系统
本发明提出一种可同时测量多条谱线的时间分辨发射光谱测量系统，包括：光传输装置，包括光输入端和多个光输出端；多个时间分辨发射光谱测量装置，该装置包括：依次相连的单色仪、光探测器、放大器和计数器，其中，每个单色仪的入口与光传...
王振斌蒲以康
高气压差分抽气粒子束质谱测量系统
本发明公开了一种高气压差分抽气粒子束质谱测量系统，包括:真空及取样模块、质谱仪模块和斩束锁相放大模块，其中真空及取样模块包括：真空腔、分子泵和电离真空计和取样器，取样器用于将待测样品导入真空腔，质谱仪模块包括：电离室、四...
王振斌胡大为蒲以康
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去除PECVD装置的电荷的系统及其控制方法
本发明提出一种去除PECVD装置的电荷的系统，包括：PECVD腔室，具有光源出入口；光源，用于照射PECVD腔室的内壁；驱动装置，驱动装置与光源相连，用于驱动光源从光源出入口进出PECVD腔室；挡板，位于PECVD腔室的...
王振斌蒲以康凌复华姜谦
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可同时测量多条谱线的时间分辨发射光谱测量系统
本发明提出一种可同时测量多条谱线的时间分辨发射光谱测量系统，包括：光传输装置，包括光输入端和多个光输出端；多个时间分辨发射光谱测量装置，该装置包括：依次相连的单色仪、光探测器、放大器和计数器，其中，每个单色仪的入口与光传...
王振斌蒲以康
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去除PECVD装置的电荷的系统及其控制方法
本发明提出一种去除PECVD装置的电荷的系统，包括：PECVD腔室，具有光源出入口；光源，用于照射PECVD腔室的内壁；驱动装置，驱动装置与光源相连，用于驱动光源从光源出入口进出PECVD腔室；挡板，位于PECVD腔室的...
王振斌蒲以康凌复华姜谦
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高气压差分抽气粒子束质谱测量系统
本发明公开了一种高气压差分抽气粒子束质谱测量系统，包括:真空及取样模块、质谱仪模块和斩束锁相放大模块，其中真空及取样模块包括：真空腔、分子泵和电离真空计和取样器，取样器用于将待测样品导入真空腔，质谱仪模块包括：电离室、四...
王振斌胡大为蒲以康
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