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武海霞
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2
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供职机构:
沈阳理工大学机械工程学院
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相关领域:
理学
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合作作者
孙建章
沈阳理工大学机械工程学院
吕玉山
沈阳理工大学机械工程学院
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2006
1篇
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电子陶瓷薄膜动压悬浮流延的动压场分析
2006年
基于硬磁盘存储系统中磁头相对磁盘的动压悬浮理论的电子陶瓷薄膜流延法是陶瓷薄膜流延领域的一种新技术之一.利用该技术可以在不提高流延系统几何运动精度的情况下流延出超精密和超薄的电子陶瓷薄膜.本文基于流体Reynolds方程建立了流延浆料的流体动压方程,用MATLAB计算并获得流延口的压强分布形态,并且总结出浆料的物理特性、流延浆料输入压强、流延口几何参量以及流延速度对流延动压场分布的影响规律.
武海霞
吕玉山
孙建章
关键词:
流延机
电子陶瓷薄膜动压悬浮流延成型技术的研究
电子陶瓷薄膜是制造片式电子元器件和IC封装的一种重要基材,它是通过电子陶瓷浆料在高精密流延机上流延成型获得的,其中流延成型方法和流延机的性能是决定流延陶瓷薄膜厚度和精度达到高质量的技术关键。目前国内各元器件厂家使用的高精...
武海霞
关键词:
流延机
陶瓷薄膜
电子陶瓷
电子元器件
封装
流延成型
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