杨盟
- 作品数：10 被引量：64H指数：5
- 供职机构：北京航空航天大学理学院更多>>
- 发文基金：中国工程物理研究院双百人才基金国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：一般工业技术理学金属学及工艺电子电信更多>>
- 低红外发射率TiO_2/Ag/TiO_2纳米多层膜研究被引量：6
- 2005年
- 利用磁控溅射在玻璃衬底上制备了具有良好的光谱选择性透过率的TiO2/Ag/TiO2纳米多层膜。通过用X射线衍射、扫描电子显微镜、UV-VIS-NIR分光光度计、傅里叶红外光谱仪对样品进行表征,优化了薄膜的制备工艺,研究了多层膜的光学特性。结果表明,当Ag膜的厚度为12nm时,多层膜具有高的可见光透过率和优良的导电性能。样品在555nm波长处的透过率最高达93.5%,红外波段平均反射率为90%左右,8μm-14μm波段红外发射率∈<0.2。Ag层厚度的增加使可见光高透过率波段变窄,透过率下降。内层及外层TiO2厚度的变化引起薄膜可见光透过峰的位置及强度发生变化,外层的影响高于内层。
- 刘海鹰刁训刚杨盟王天民武哲
- 关键词：磁控溅射
- 磁控溅射制备低红外发射率TiO2/Ag/TiO2纳米多层膜研究
- 利用磁控溅射在玻璃衬底上制备了具有良好光谱选择性透过的TiO2/Ag/TiO2纳米多层膜。利用X射线衍射、UV-VIS-NIR分光光度计、红外发射率测量仪等对样品进行表征,优化了制备薄膜的工艺条件。同时考察了薄膜的光催化...
- 刘海鹰刁训刚杨盟王天民
- 关键词：红外发射率磁控溅射
- 射频磁控溅射制备TiO_(2-x)N_x薄膜及其光催化特性研究被引量：21
- 2005年
- 利用射频磁控溅射在玻璃衬底上制备了透明TiO2 和 TiO2-x Nx 薄膜样品,通过 X 射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)及 UV Vis分光光度计等测试手段表征了样品的结构、形貌和光催化性能。结果表明制备的薄膜为锐钛矿相结构。随着 N2/Ar气流比的增大薄膜样品出现新的物相,吸收光谱向可见光方向展宽,在N2/Ar流量比为 3∶100 时,制备的薄膜在可见光区具有很好的光催化性能。
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- 关键词：光催化磁控溅射
- 低红外发射率TiO_2/Ag_xCu_(1-x)/Ti/TiO_2纳米多层膜被引量：2
- 2007年
- 利用磁控溅射制备了银含量在100%至80%之间的单层银铜合金薄膜和TiO2/AgxCu1-x/Ti/TiO2纳米四层膜。利用X射线衍射、扫描电子显微镜、扫描俄歇微探针,分光光度计、红外发射率测量仪对样品进行表征,研究了单层金属膜和多层膜的光学、电学性质随着银含量的变化以及热处理前后薄膜性能的变化。结果表明:相同厚度的合金膜,随着Ag含量的降低,导电性能下降,Ag含量低于80%的合金已不适合作为多层膜的金属层;150℃大气下热处理30min,纯银薄膜性质发生明显变化,明视透过率下降10%,方块电阻由2.5W/□增加至18W/□,红外发射率由0.17增加到0.69。AgCu合金薄膜性质未发生明显变化。方块电阻相近的TiO2/AgxCu1-x/Ti/TiO2纳米多层膜,经250℃大气下热处理40min后,TiO2/Ag/Ti/TiO2和TiO2/Ag80Cu20/Ti/TiO2纳米多层膜的性质变化较小,热稳定性较好,其余的多层膜性质发生较大变化,红外发射率显著增加。
- 刘海鹰刁训刚王丽玲杨盟武哲舒远杰
- 磁控溅射制备低红外发射率TiO2/Ag/TiO2纳米多层膜研究
- 利用磁控溅射在玻璃衬底上制备了具有良好光谱选择性透过的TiO2/Ag/TiO2纳米多层膜。利用X射线衍射、UV-VIS-NIR分光光度计、红外发射率测量仪等对样品进行表征,优化了制备薄膜的工艺条件。同时考察了薄膜的光催化...
- 刘海鹰刁训刚杨盟王天民
- 关键词：红外发射率磁控溅射
- 文献传递
- 氮化处理对ITO薄膜光电特性影响被引量：2
- 2006年
- 利用射频磁控溅射在玻璃衬底上制备了氧化铟锡(ITO)薄膜,分别采用两种方法对薄膜进行氮化处理,即:(1)利用氩气溅射在室温下制备薄膜,随后在氮气和氨气气氛下对薄膜进行热处理;(2)利用氩气/氮气共溅射成膜。利用X射线衍射、霍尔效应、UV-vis-NIR分光光度计等测试手段对薄膜样品进行表征,对比研究了两种氮化处理方法对ITO薄膜光电特性的影响。结果发现对于低温生长的薄膜,两种方法均能明显提高其在可见光区的透过率。氩气/氮气共溅射的方法会降低薄膜的结晶程度,降低载流子浓度,但使得其紫外/可见/近红外光谱发生明显红移;而热处理方法则能增加薄膜的结晶程度,提高其导电能力。
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- 关键词：射频磁控溅射ITO薄膜
- 低热损太阳能集热管
- 低热损太阳集热管，由内管、镀在内管上的集热管吸收层、外管和位于集热管吸收层和外管之间的支撑弹簧组成，其特点在于：在外管上镀一层具有光谱选择性透过能力的透明导电薄膜或包覆一层镀有透明导电膜层的塑料薄膜。本发明利用集热管外管...
- 刁训刚杨盟刘海鹰
- 文献传递
- 氨气和氮气气氛下热处理对ITO薄膜光电性能的影响被引量：9
- 2005年
- 利用射频磁控溅射在室温玻璃衬底上制备了氧化铟锡(ITO)薄膜,并分别在氨气、氮气和空气气氛下对薄膜进行了热处理。利用X射线衍射、霍尔效应、UV-VIS-NIR分光光度计等测试手段对薄膜样品进行表征,研究了不同热处理气氛及温度对ITO薄膜光电特性的影响。结果发现在不同气氛下热处理均能明显提高ITO薄膜在可见光区的透过率,氨气气氛下更有利于薄膜导电特性的改善。
- 杨盟刁训刚刘海鹰王天民
- 关键词：射频磁控溅射ITO薄膜
- 柔性衬底ITO透明导电薄膜的光电性能研究被引量：16
- 2007年
- 利用直流磁控溅射方法在柔性聚酯薄膜衬底上制备了氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜,采用X射线衍射、紫外-可见分光光度计、四探针电阻测量仪等测试手段对薄膜样品进行表征,研究了氧含量、薄膜厚度、衬底负偏压对ITO薄膜的晶体结构和光电性能的影响,优化了柔性衬底ITO薄膜的制备工艺条件。制得样品的最佳可见光平均透过率为85.6%,方块电阻为6Ω/□。
- 孙裔刁训刚杨盟武哲舒远杰
- 关键词：直流磁控溅射柔性衬底
- 氧化铟锡(ITO)薄膜的透明吸波特性研究被引量：8
- 2006年
- 利用直流磁控溅射技术室温下在柔性聚酯薄膜衬底上制备了ITO薄膜，将ITO薄膜与有机玻璃和空白聚酯薄膜等介质材料组合成复合结构，最终得到吸波能力较强的透明吸波体。该吸波体在Ku带（12～18GHz）范围波段衰减低于-10dB，峰值超过-20dB，且在可见光区透光率达到68％。
- 杨盟刁训刚孙裔刘海鹰武哲舒远杰
- 关键词：直流磁控溅射ITO薄膜
