杜华
- 作品数：74 被引量：98H指数：5
- 供职机构：中国计量科学研究院更多>>
- 发文基金：中央级公益性科研院所基本科研业务费专项国家自然科学基金国家科技攻关计划更多>>
- 相关领域：机械工程一般工业技术金属学及工艺电子电信更多>>
- 精密小角摆三维气浮工作台的研究
- 精密运动平台是一项通用关键技术。在长度计量中,对运动平台在直线运动中附加的旋转误差提出了较严格要求。为了研制出符合要求的运动平台,本文研究了气体静压轴承承载特性、直线导轨设计原则、三维运动台布局等问题,充分利用气浮导轨精...
- 卢明臻高思田施玉书杜华崔建军
- 关键词：计量学气体轴承
- 文献传递
- 高精度直径测量技术研究的新进展被引量：6
- 2008年
- 直径是几何量测量的重要参量之一,无论工业应用还是在计量研究领域,探索高精度圆柱直径的测量方法具有重要的科学价值和应用前景。本文介绍了国内外研究机构在高精度直径测量技术领域取得的新成果,及各种测量方法的关键技术及其仪器在结构设计、光学设计等方面的特点。并根据目前直径测量技术的发展状况讨论了未来高精度直径测量技术的发展和研究趋势。
- 王蔚晨崔京远黄杨杜华朱小平
- 关键词：计量学孔径测量
- X荧光光谱分析法在镀层厚度测量中的应用
- 基于X射线荧光光谱的基础理论,简要分析了能量色散X射线荧光光谱分析方法的工作原理及其在镀层厚度测量中的应用技术.通过对一组相同结构不同厚度标准片的实际测量,在薄膜厚度测量非线性数学模型条件下,通过评估测量中各种不确定度来...
- 朱小平杜华王蔚晨
- 关键词：能量色散不确定度
- 文献传递
- 基于反向共轴的大口径平面光学元件面形测量被引量：3
- 2021年
- 提出了一种基于反向共轴的大口径平面光学元件面形测量方法。将双位移传感器反向共轴线扫描测量模式和多角度旋转三面互检技术结合,借助直线长导轨有效扩大平面光学元件测量口径,同时测量过程中不需要使用标准平晶,避免引入标准平晶参考面不确定度分量,测量结果直接溯源到激光波长基准。利用该测量方法对3块∅400 mm口径光学平晶进行面形测量,验证了该测量方法的可行性。
- 赵彦龙李加福朱小平杜华陈爱军胡佳成
- 关键词：计量学面形测量光学元件
- 纳米膜层厚度标准的研制
- 为实现纳米薄膜厚度计量的量值溯源,研制了一套纳米薄膜厚度校准样片,其中纳米单层膜厚度标准片带有可供各类接触式测量仪器测量的膜厚图形,厚度值从5 nm至100 nm.该校准样板能够分别在X射线衍射仪、椭偏仪、原子力显微镜、...
- 崔建军高思田杜华叶孝佑严利平
- 关键词：仪器校准
- 文献传递
- 微孔光纤测头的研制及应用
- 基于微孔测量中测头不能做得足够小的技术难题,文中提出采用标准多模通信光纤,按特定的工艺技术方法烧熔光纤测球,再进行封装制成测头,应用在微孔测量中。重点介绍了这种测头的技术参数和成形方法、原理。并对研制的φ0.1mm光纤测...
- 朱小平杜华王蔚晨
- 文献传递
- X射线衍射仪角度校准的光学新方法被引量：2
- 2014年
- 目前X射线衍射仪(XRD)的角度检定和校准测试主要依据JJG 629—1989《多晶X射线衍射仪检定规程》和JB/T 9400—2010《X射线衍射仪技术条件》等技术文件,具体方法是采用光学经纬仪或多面棱体等进行测试,该测量方法实际应用中存在一定难度,其次测量间隔较大,不能很好反映真实的角度误差规律.为此,提出了利用θ角和2θ角同轴并可独立运动的特点,组合采用光电自准直仪和小角度激光干涉仪等仪器,设计了一种新的XRD的角度校准方法,它能够自动快速地连续测量角度,取k=2时,扩展不确定度约1.2″.使用该方法测试能够精确得到θ和2θ轴的误差数据,可用于修正XRD测角误差,提高XRD测试精度.该方法也适用于同步辐射等大型衍射系统等其他需要角度校准的情况.
- 崔建军高思田邵宏伟杜华王鹤岩
- 关键词：计量学X射线衍射
- 精密测量系统气浮工作台瞬态控制方法被引量：1
- 2008年
- 气浮工作台是精密仪器中常用的位移机构。为了消除气体微振动对精密测量的影响，提出了气浮工作台区分两种工作模式：运动模式和测量模式。在掌握气体止推轴承上气和排气的瞬态过程规律的基础上，提出了一种模式切换过程中气浮工作台的瞬态控制方法，实现其运动模式和测量模式的平稳过渡。气浮工作台在上气过程中的偏移不大于250nm，排气过程中的偏移不大于200nm，且经历时间在0．3s左右。该方法的提出提高了气浮工作台的性能，使之成为测量系统中优良的大范围位移系统。
- 卢明臻高思田施玉书杜华崔建军
- 关键词：计量学气体轴承微振动瞬态
- 彩色光谱共焦传感器误差溯源及其校准方法分析被引量：4
- 2021年
- 针对国内光谱共焦传感器校准方法不统一、计量特性难以比较等问题,提出3种基于精密标准器的光谱共焦传感器校准方法,并基于此开展校准和计量特性评定。分别采用精密位移台、高精度测长仪与激光干涉仪3种标准器对光谱共焦传感器的基本误差、线性度、重复性、回程误差等参数进行校准,3种方法所测某种光谱共焦传感器的最大误差分别为2.76,3.40,1.17μm,线性度分别为0.689%,0.850%,0.293%,重复性分别为1.463,1.324,0.787μm,回程(迟滞)误差为0.51μm。校准结果表明:所提出的3种计量特性校准方法是有效的,光谱共焦位移传感器计量特性满足使用要求,其中,激光干涉校准法精度最高且可靠。研究成果有助于提高彩色光谱共焦位移传感器校准效率和可靠性,并为大尺寸玻璃平面度的高精度测量提供坚实的技术支撑。
- 闫勇刚刘志浩朱小平杜华李加福王耿
- 关键词：计量学校准非接触测量误差分析
- X荧光光谱分析法在镀层厚度测量中的应用被引量：2
- 2008年
- 基于X射线荧光光谱的基础理论，简要分析了能量色散X射线荧光光谱分析方法的工作原理及其在镀层厚度测量中的应用技术。通过对一组相同结构不同厚度标准片的实际测量，在薄膜厚度测量非线性数学模型条件下，通过评估测量中各种不确定度来源和大小，总结出校准标准片在总不确定度中起的主导作用，为实际测量应用中提高精度提供理论基础。
- 朱小平杜华王蔚晨
- 关键词：计量学镀层厚度能量色散不确定度
