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朱广平
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
章浩
清华大学信息科学技术学院电子工...
田立林
清华大学信息科学技术学院微电子...
张大伟
清华大学信息科学技术学院微电子...
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清华大学信息科学技术学院微电子...
余志平
清华大学信息科学技术学院微电子...
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2005
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亚100nm体硅MOSFET集约I-V模型
被引量:1
2005年
利用“局域化”的概念和二维泊松方程的解析解,建立了沟道方向上二维量子效应对阈电压的修正模型.基于密度梯度理论,建立了多晶硅栅内量子效应对阈电压的修正模型.在此基础上,结合弹道理论,开发了一个适用于亚100nm MOSFET的集约I V模型.通过与 TSMC提供的沟长为 45nm实际器件测试结果[1],以及与三组亚100nm MOSFET的数值模拟结果的比较,证明了该模型具有良好的精度(平均误差小于8%)和可延伸性.
张大伟
章浩
朱广平
张雪莲
田立林
余志平
关键词:
量子力学效应
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