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方锋
作品数:
6
被引量:25
H指数:3
供职机构:
北京有色金属研究总院
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电子电信
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合作作者
张果虎
北京有色金属研究总院
常青
北京有色金属研究总院
吴志强
北京有色金属研究总院
周旗钢
北京有色金属研究总院
秦福
北京有色金属研究总院
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300mm硅单晶的生长技术
被引量:18
2001年
讨论了 30 0 mm硅单晶的工艺控制 ,分析了拉晶工艺、热屏及磁场对晶体质量的影响。合理的工艺参数是拉制无位错单晶的前提 。
张果虎
吴志强
方锋
秦福
常青
周旗钢
屠海令
关键词:
硅单晶
热屏
磁体
Φ125mm硅单晶的控氧技术
被引量:1
1997年
Φ125mm硅单晶的控氧技术张果虎常青方锋吴志强郝玉清秦福(北京有色金属研究总院,北京100088)关键词:硅单晶氧含量控氧技术坩埚结构1引言为满足不同的器件对硅片氧含量的不同要求,需要更精确地控制直拉硅单晶中的氧含量及氧梯度。单晶中的氧有两方面的作...
张果虎
常青
方锋
吴志强
郝玉清
秦福
关键词:
坩埚
单晶硅
单晶炉
Φ200mm硅单晶的生长工艺特点
被引量:6
1998年
在全自动拉晶条件下,讨论了拉制Φ200mm硅单晶遇到的新问题。热场配置、工艺参数的选择、石英坩埚的选用等有了更严格的要求。合理的轴向温度梯度和径向温度梯度、低拉速、低晶转及规范的拉晶工艺是拉制大直径单晶的关键。
张果虎
常青
方锋
吴志强
周旗钢
关键词:
硅单晶
半导体
Φ125mm直拉硅单晶氧径向均匀性研究
1998年
为控制氧径向均匀性,选择Φ350mm热场。增加晶转速度可以改善氧径向均匀性,但石英坩埚转速对氧径向均匀性没有明显影响。
郝玉清
张果虎
常青
方锋
吴志强
万关良
秦福
关键词:
硅单晶
300mm硅单晶的缩颈生长及应力分析
被引量:6
2001年
对不同直径颈部晶体进行了拉伸实验及断口形貌观察 ,颈部晶体的断裂属于脆性断裂 ,增大晶体颈部直径可以增大其承受拉力 ,从而可以制得更大重量的单晶。缩颈生长工艺条件会对颈部晶体的抗拉强度产生影响。
程景柏
屠海令
周旗钢
王敬
常青
张果虎
方锋
关键词:
硅单晶
缩颈
脆性断裂
抗拉强度
晶体生长
应力分析
一种鉴别和测量半导体材料中掺杂元素的方法
一种鉴别和测量半导体材料中掺杂元素的方法,该方法包括:(1)通过一套X-射线衍射装置,向硅晶样品表面发射X-射线,含有掺杂剂的硅晶样品表面在X-射线的轰击下包含掺杂剂元素在内的金属元素发生衍射光谱;(2)通过检测器接收衍...
方锋
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