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徐敏

作品数：10 被引量：38H指数：4
供职机构：浙江大学光电信息工程学系现代光学仪器国家重点实验室更多>>
相关领域：机械工程电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 10篇中文期刊文章

领域

  • 9篇机械工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 4篇双焦干涉
  • 3篇轮廓仪
  • 2篇信号
  • 2篇信号处理
  • 2篇型宽
  • 2篇频带
  • 2篇球面
  • 2篇相位
  • 2篇干涉仪
  • 1篇原子力显微镜
  • 1篇振动测量
  • 1篇扫描隧道显微...
  • 1篇数据处理
  • 1篇数据处理系统
  • 1篇面粗糙度
  • 1篇宽频
  • 1篇宽频带
  • 1篇激光
  • 1篇激光扫描
  • 1篇加速度

机构

  • 10篇浙江大学

作者

  • 10篇徐敏
  • 9篇卓永模
  • 7篇杨甬英
  • 3篇游艺锋
  • 1篇牟旭东
  • 1篇曹斌

传媒

  • 3篇仪器仪表学报
  • 3篇光学仪器
  • 1篇现代科学仪器
  • 1篇计量学报
  • 1篇浙江大学学报...
  • 1篇光子学报

年份

  • 2篇1999
  • 2篇1998
  • 2篇1996
  • 2篇1995
  • 1篇1994
  • 1篇1993
共 10 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
相位型宽频带激光测振系统被引量：3
1999年
详细描述了一种新型的激光偏振移相干涉测振系统。通过计算机对两路正交振动光电干涉信号的接收和正弦逼近与频比计数相结合的数字处理，在宽频带内实现加速度传感器复合灵敏度的绝对校准。
徐敏游艺锋卓永模牟旭东
关键词：信号处理加速度计振动测量
双焦干涉球面微观轮廓仪被引量：10
1995年
本文论述一种高分辨率的球面微观轮廓仪。仪器由三部分组成：双焦透镜偏振共路干涉系统；五维球面扫描工作台及其驱动系统；共模抑制电子处理系统。可用于各种球形表面（如光学透镜，球面反射镜及滚珠等）的无损精密检测。实测结果表明该仪器的纵向分辨率可达０．１ｎｍ，横向分辨率小于２ｕｍ。
卓永模杨甬英徐敏王元庆
关键词：干涉仪
双焦干涉球面轮廓仪机构分析
1996年
介绍了双焦干涉球面微观轮廓仪的总体设计，对议器结构的核心部分：扫描工作台和调焦系统的设计作了详细的分析并通过不同R的球面进行了实测示例。
徐敏卓永模杨甬英
关键词：双焦干涉轮廓仪
激光双焦干涉球面微观轮廓仪被引量：2
1995年
激光双焦干涉球面微观轮廓仅是一种高灵敏度的表面粗糙度测量仪器。本文描述了利用激光双焦透镜偏振共路干涉系统及计算机自动控制系统对各种球面进行实时扫描、采样及数据处理的新技术、新仪器。实测表明该仪器的纵向分辨率小于1nm，横向分辨率小于2μm。
杨甬英卓永模徐敏
关键词：轮廓仪
相位型宽频带激光测振仪的研究
1998年
在理论上详细描述了一种新型的激光偏振移相干涉测振系统．通过计算机对两路正交干涉光电信号的接收和正弦逼近法数字处理，在１Ｈｚ～１０ＫＨｚ宽频带内测量振动台的振幅和初相位，从而实现加速度传感器复合灵敏度的绝对校准．运用琼斯矩阵证明干涉系统中通过偏振片调整可保证两信号的正交性．
徐敏游艺锋卓永模牟旭东
关键词：信号处理宽频带测振仪
激光扫描力显微轮廓术的研究被引量：4
1996年
本文论述了一种用于超高分辨率精密检测技术的激光扫描力显微镜（ＳＦＭ）。它是以一钨丝微探针作为力传感器，用双焦干涉仪作为光探针来检测样品扫描时微探针受力产生的偏摆。微探针以谐频振动，当样品与探针距离变化引起力梯度改变，谐频变化则振幅也随之变化。该振幅变化可由干涉光探针接收。光探针是一准共路干涉系统，可有效地抑制光程差的波动。而微探针采用谐振增强方式工作，来非接触地测试振幅变化进而得出样品表面微观轮廓。与接触模式工作的原子力显微镜相比扩大了测量范围。电子处理共模抑制系统可有效地抑制光强波动和降低系统电子噪声。对全息光栅及液晶等样品的实测结果表明仪器的横向分辨率为５ｕｍ，纵向分辨率为０．１ｎｍ。
杨甬英卓永模徐敏曹斌
关键词：激光扫描原子力显微镜干涉仪扫描隧道显微镜
通过散射板干涉仪的改型实现非球面的零测试被引量：2
1998年
通过对散射板干涉位的适当改型，利用散射板上高轮点产生的附加程基来补偿球面和非球面之间的光程基，无需任何零光学元件，就可产生一种新型的二次非球面零测试法。本文对这一方法进行了描述、分析和实验。
徐敏游艺锋卓永模
关键词：非球面光学元件
实时扫描非接触测量表面微观轮廓仪被引量：4
1999年
介绍了一种利用非接触式方法实时扫描测量精密元件表面轮廓的技术，同时研制了计算机自动控制的多功能表面轮廓仪．该仪器可对各种超光滑球面及平面进行平移和旋转的实时扫描采样；利用干涉共模抑制技术，有效抑制了各种噪声，测量数据可靠；实时显示表面轮廓参数及轮廓图，仪器横向分辨率为１μｍ，纵向分辨率为０．１ｎｍ．
杨甬英徐敏卓永模
关键词：干涉术非接触测量表面粗糙度
双焦干涉表面微观轮廓检测被引量：13
1993年
本文论述一种高灵敏度的新型表面轮廓检测系统。该系统由双焦透镜偏振共路干涉系统及共模抑制电子处理系统两部分组成。可用于各种材料表面的无损检测。该系统的纵向灵敏度小于20A,横向灵敏度小于2μm。与Talysurf-6触针式表面轮廓仪对同一样品表面测试结果进行了比对,获得了满意的结果。
卓永模杨甬英徐敏张为权
激光双焦干涉球面轮廓仪实时扫描及数据处理系统被引量：3
1994年
介绍了一种双焦干涉球面扫描轮廓仪，该仪器利用计算机及自动控制系统对曲率半径从±5mm～±30mm的球面进行扫描驱动及采样，并将球面轮廊信号通过A/D转换及数据处理后显示打印表面轮廓参数。整个系统功能齐全。
杨甬英卓永模徐敏
关键词：双焦干涉轮廓仪数据处理表面粗糙率
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