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徐学珍
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
供职机构:
北京科技大学冶金学院物理化学系
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相关领域:
冶金工程
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合作作者
张长鑫
北京科技大学冶金学院物理化学系
许效红
北京科技大学冶金学院物理化学系
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徐学珍
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张长鑫
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1篇
有色金属(冶...
年份
1篇
1995
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化学气相沉积钽的动力学模型
被引量:3
1995年
描述了化学气相沉积钽的动力学,推导出低温与高温下两种模型,实验值与理论值吻合较好。
徐学珍
许效红
张长鑫
杜玮
关键词:
化学气相沉积
动力学模型
钽
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