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周光明

作品数：1 被引量：5H指数：1
供职机构：江苏大学机械工程学院更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇信号
  • 1篇信号处理
  • 1篇微位移
  • 1篇微位移测量
  • 1篇光杠杆
  • 1篇PSD
  • 1篇测量系统

机构

  • 1篇江苏大学

作者

  • 1篇高永锋
  • 1篇周光明
  • 1篇鲍丙豪
  • 1篇吴禹

传媒

  • 1篇信息技术

年份

  • 1篇2015
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于光杠杆原理的微位移测量系统设计被引量：5
2015年
基于原子力显微镜的工作原理,设计了一种端点带反光镜的悬臂梁,实现光点位移放大,并利用位置敏感器件（PSD）将光点位置信息转换成光电流,从而设计出一种微位移测量系统。该系统结构简单、灵敏度高,适用于微小位移量的测量。文中给出了该测量系统检测原理,设计了信号处理电路,利用压电元件对悬臂梁端点微位移进行了检测。该系统可检测的线性位移量程为0～50μm,线性度为1.79%FS,分辨力可达50nm。
周光明吴禹鲍丙豪高永锋
关键词：光杠杆微位移测量系统PSD信号处理
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