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吴胜利
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139
被引量:55
H指数:4
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西安交通大学电子与信息工程学院...
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西安交通大学电子与信息工程学院...
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西安交通大学
刘纯亮
西安交通大学电子与信息工程学院...
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西安交通大学
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绝缘层材料及结构对薄膜晶体管性能的影响
被引量:5
2017年
基于半导体仿真软件Silvaco TCAD对薄膜晶体管(TFT)进行器件仿真,并结合实验验证,重点分析不同绝缘层材料及结构对TFT器件性能的影响。仿真及实验所用薄膜晶体管为底栅电极结构,沟道层采用非晶IGZO材料,绝缘层采用SiN_x和HfO_2多种不同组合的叠层结构。仿真及实验结果表明:含有高k材料的栅绝缘层叠层结构较单一SiN_x绝缘层结构的TFT性能更优;对SiN_x/HfO_2/SiN_x栅绝缘层叠层结构TFT,HfO_2取40nm较为合适;对含有高k材料的3层和5层绝缘层叠层结构TFT,各叠层厚度相同的对称结构TFT性能最优。本文通过仿真获得了TFT性能较优的器件结构参数,对实际制备TFT器件具有指导作用。
李欣予
王若铮
吴胜利
李尊朝
关键词:
薄膜晶体管
绝缘层
氮化硅
叠层结构
一种基于硅表面微结构的介质薄膜固态发光器件
本发明公开了一种基于硅表面微结构的介质薄膜固态发光器件,包括自上到下依次分布的信号电极、ITO电极、绝缘介质层、硅衬底及背电极,其中,硅衬底的上表面设置有硅表面微结构,该放光器件的工作电压较低,并且导电路径数量多,导电路...
吴胜利
杨灿
刘逸为
张劲涛
基于多孔材料的场致发射型电子源及显示器件
本发明公开了一种基于多孔材料的场致发射型电子源及显示器件,其中电子源包括后基板,该后基板上依次设置有底电极、绝缘膜、顶电极的MIM型多层膜结构,其特征在于,所述绝缘膜由阻挡层和多孔层构成,该阻挡层靠近底电极的一侧,其厚度...
刘震
李姝敏
裴承全
韦海成
刘纯亮
吴胜利
文献传递
利用多层薄膜型电子源的平面气体激发光源
本发明公开了一种利用多层薄膜型电子源的平面气体激发光源。所述平面气体激发光源包括由玻璃材料制成的前基板(1)和后基板(2);所述前基板(1)或后基板(2)上设置有能产生表面电子发射的电子源;所述前基板(1)和后基板(2)...
胡文波
郑宇
吴胜利
刘纯亮
高燕龙
文献传递
一种二次电子发射薄膜的缓冲层及其制备方法
本发明公开了一种二次电子发射薄膜的缓冲层及其制备方法。制备掺入金属材料的氧化镁复合薄膜二次电子发射源时,先在金属基底上采用溅射镍靶或溅射氧化镍靶方式沉积一层氧化镍缓冲层,然后再在氧化镍缓冲层之上沉积掺入金属材料的氧化镁复...
胡文波
李洁
吴胜利
魏强
华星
郝玲
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一种表面传导电子发射源结构及其制作方法
本发明公开了一种表面传导电子发射源结构及其制作方法,属于平板显示器制造技术领域。表面传导电子发射源结构包括沉积在基板上的一对对称的器件电极,在器件电极上沉积有电子发射薄膜,电子发射薄膜上开设有纳米裂缝;在对称的器件电极之...
吴胜利
王晓
张劲涛
沈志华
胡文波
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表面传导场发射电子源导电膜的结构
本发明公开了一种表面传导场发射电子源导电膜的结构,即电子源的导电膜由氧化钯(PdO)膜与非晶碳膜形成的多层复合膜构成,利用氧化钯膜具有的良好的电子发射稳定性及非晶碳膜具有的较低的有效功函数、大的载流子迁移率、高的击穿电压...
胡文波
吴胜利
刘纯亮
张劲涛
王文江
孙永亮
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一种氮化镓/金刚石的直接键合方法
本发明公开了一种氮化镓/金刚石的直接键合方法,由以下方法制备:在金刚石衬底上生长一层金刚石外延层;对该金刚石外延层表面进行氮等离子体处理,在其表面形成一层氮终端;利用等离子体轰击氮化镓衬底无器件表面,形成氮空位表面;进行...
王宏兴
刘璋成
吴胜利
胡文波
赵丹
王艳丰
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一种交叉电极结构的SED阴极基板的丝网印刷方法
本发明公开了一种交叉电极结构的SED阴极基板的丝网印刷方法,先在基板上溅射形成电极阵列,然后在其上印刷扫描电极,再在扫描电极上印刷介质层,接着在介质层上印刷寻址电极,最后溅射表面传导电子发射薄膜,即得到交叉电极结构的SE...
吴胜利
王晓
周子云
张劲涛
王文江
刘震
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一种用于抑制二次电子发射的碳基薄膜及其制备方法
本发明公开了一种用于抑制二次电子发射的碳基薄膜及其制备方法,该薄膜由金属缓冲层和非晶碳层组成,金属缓冲层厚度为5‑50nm,非晶碳层厚度为30‑200nm,非晶碳膜层中碳颗粒尺寸为20‑100nm,金属缓冲层中的金属材料...
胡文波
易兴康
李洁
高步宇
李永东
吴胜利
林舒
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