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刘德义

作品数：6 被引量：12H指数：2
供职机构：中国科学院金属研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国防科技技术预先研究基金更多>>
相关领域：电子电信金属学及工艺化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇专利

领域

  • 2篇金属学及工艺
  • 2篇电子电信
  • 1篇化学工程

主题

  • 3篇金刚石
  • 3篇刚石
  • 2篇气相生长
  • 2篇热丝
  • 2篇温度场
  • 2篇流场
  • 2篇反应器
  • 2篇反应器设计
  • 2篇尺寸效应
  • 1篇电磁
  • 1篇电磁特性
  • 1篇多层膜
  • 1篇有效媒质理论
  • 1篇阵列
  • 1篇塔式结构
  • 1篇筒式结构
  • 1篇平面阵
  • 1篇平面阵列
  • 1篇热丝化学气相...
  • 1篇媒质

机构

  • 6篇中国科学院金...

作者

  • 6篇刘德义
  • 5篇黄荣芳
  • 5篇闻立时
  • 3篇陈岩
  • 3篇师昌绪
  • 3篇于杰
  • 3篇程新红
  • 2篇苏革
  • 2篇张军旗
  • 2篇宋贵宏
  • 2篇曹晓明
  • 2篇陈广超
  • 1篇赵韦人

传媒

  • 2篇真空
  • 1篇金属学报
  • 1篇材料研究学报

年份

  • 1篇1999
  • 3篇1998
  • 1篇1997
  • 1篇1996
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
无界金属圆柱介电函数的经典尺寸效应被引量：2
1998年
用非平衡统计计算了无界金属圆柱的介电函数结果表明，电子非弹性散射的柱体表面会影响金属的内禀介电函数当往体半径减小到可与电子的平均自由程相比拟时，介电函数逐渐偏离块体值而依赖于局城位置．除了半径远小于电子平均自由程的区域，介电函数的位置依赖关系十分复杂，尺寸效应可能使介电函数实部和虚部的绝对值都增大；尺寸效应显著地增加介电常数虚部与实部的相对值大小．在高频区域。
赵韦人刘德义黄荣芳闻立时
关键词：介电函数尺寸效应BOLTZMANN方程
热丝化学气相生长金刚石温度场流场模拟计算和反应器设计原理研究被引量：1
1999年
在对于现有金刚石气相生长工艺特点综合分析的基础上，通过对于热丝化学气相生长金刚石工艺过程状态参数的空间场模拟及相应的实验研究，揭示了热阻塞、热绕流等背离反应基本条件的现象，以及状态参数高度不均匀性的场分布，导致偏离金刚石生长所需合理条件。这些正是当前热丝化学气相生长金刚石速率低、成本高、质量不稳定的重要原因。空间模拟及生长实验结果证明，通过选择合理的反应器结构和反应条件，可以控制反应状态参数空间场，使其符合气相生长金刚石要求，达到在保证质量稳定南时，实现大面积高速生长。这些结果为大面积高速度高质量气相生长金刚石明确了新的发展前景和具体实现途径。
陈岩于杰陈广超程新红曹晓明张军旗宋贵宏刘德义苏革黄荣芳闻立时师昌绪
关键词：金刚石流场反应器热丝
一种热丝化学气相沉积金刚石的设备
一种热丝化学气相沉积金刚石的设备,由反应气体入口,热丝加热器,样品座等部分构成,其特征在于:反应气体入口下方安装有气体分配器,气体分配器上部为塔式结构,内装1—10层多孔节流隔板,分配器的下端为筒式结构,正对下方的热丝加...
闻立时黄荣芳陈岩刘德义程新红
文献传递
金属/绝缘媒质多层复合体电磁特性的理论研究
该文对金属粒子-绝缘媒质复合体系和金属/电介质多层膜的电磁特性进行广泛细致的理论研究.主要内容有:金属微粒子的尺寸、表面层和形状对金属微粒子复合体系的等效介电函数、共振吸收和渗流临界转变的影响;多层膜的结构参数和介电参数...
刘德义
关键词：有效媒质理论多层膜电磁特性
热丝化学气相生长金刚石温度场流场模拟计算和反应器设计原理研究被引量：6
1998年
在对于现有金刚石气相生长工艺特点综合分析的基础上，通过对于热丝化学气相生长金刚石工艺过程状态参数的空间场模拟及相应的实验研究，揭示了热阻塞、热绕流等背离反应基本条件的现象，以及状态参数高度不均匀性的场分布，导致偏离金刚石生长所需合理条件。这些正是当前热丝化学气相生长金刚石速率低、成本高、质量不稳定的重要原因。空间模拟及生长实验结果证明，通过选择合理的反应器结构和反应条件，可以控制反应状态参数空间场，使其符合气相生长金刚石要求，达到在保证质量稳定南时，实现大面积高速生长。这些结果为大面积高速度高质量气相生长金刚石明确了新的发展前景和具体实现途径。
陈岩于杰陈广超程新红曹晓明张军旗宋贵宏刘德义苏革黄荣芳闻立时师昌绪
关键词：金刚石温度场流场反应器
热丝法化学气相沉积大面积金刚石膜中辐射场和温度场的尺寸效应被引量：5
1996年
对热丝法化学气相沉积金刚石膜中的辐射场和温度场进行了计算结果表明，在样品平面沿Ｘ，Ｙ方向均匀辐照度（温度）区的线性尺寸比高温度梯度区的尺寸快速增大沿Ｚ方向均匀辐照度（温度）区的深度随样品到加热丝距离的增加而增大辐照度（温度）的大小可通过改变加热丝间距得到控制．
刘德义黄荣芳于杰闻立时师昌绪
关键词：金刚石膜HFCVD薄膜生长
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