余卫华
- 作品数：3 被引量：16H指数：2
- 供职机构：武汉工业大学更多>>
- 发文基金：湖北省自然科学基金塑性成形模拟及模具技术国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺电子电信化学工程更多>>
- 微波等离子体化学气相沉积工艺对透明金刚石膜质量的影响被引量：9
- 2000年
- 在自制的 2 4 50MHz/5kW不锈钢谐振腔型微波等离子体化学气相沉积装置中研究了基片预处理和工艺参数对微波等离子体化学气相沉积金刚石膜质量的影响 ,研究了提高成核密度和沉积速率的方法 ,用SEM ,XRD ,FTIR ,Raman和AFM分析了金刚石膜的质量 .结果表明 :用纳米金刚石粉研磨单晶硅基片 ,在沉积气压 6.0kPa,CH4 /H2 的体积流量比为 0 .75%时 ,可沉积出红外透光率达 68% ,表面粗糙度为 1 1 4 .1 0nm的透明金刚石膜 ,其透光率接近Ⅱa 天然金刚石 .
- 周健余卫华汪建华袁润章
- 关键词：微波等离子体化学气相沉积
- Si_3N_4刀具基底预处理对MPCVD金刚石涂层质量的影响被引量：2
- 2000年
- 采用自制 2 4 50MHz ,5kW不锈钢谐振腔型微波等离子体设备 ,研究了超声处理、细砂纸研磨、1 μm和 0 .5μm金刚石粉研磨等Si3N4基底预处理方法对MPCVD金刚石涂层质量的影响 ,用SEM和Raman光谱仪检测和分析了金刚石成核和生长质量 ,分析了金刚石的应力情况 ,用对比切削实验检测了金刚石涂层的附着情况。结果表明 ,经 0 .5μm金刚石粉研磨后 ,在 7.0kPa压力、1 .5%的CH4/H2 气体流量比、1 .5kW微波功率下 ,沉积4h可得到高质量的金刚石涂层 ,在切削 1 8.0 %Si Al合金时 ,金刚石涂层Si3N4刀具比未涂层Si3N4刀具的加工光洁度提高一级 ,使用寿命提高 1 0倍以上。
- 周健袁润章汪建华余卫华刘桂珍
- 关键词：金刚石涂层
- WC-8.0%Co基底上微波等离子化学气相沉积金刚石膜被引量：5
- 2001年
- 研究了基片预处理和工艺参数对微波等离子化学气相沉积金刚石涂层WC 8.0 %Co刀具质量的影响 ,研究了提高成核密度和沉积速率的方法 ,用SEM ,XRD ,激光Raman光谱分析了金刚石涂层质量 ,用切削试验检测金刚石涂层与刀具基底的附着情况。结果表明 ,在 1∶3的稀盐酸中酸洗 15min后用氨水浸泡 10min的基片处理方法能有效地抑制金属钴的溢出 ,从而提高金刚石涂层的质量 ,并且使刀具使用寿命提高 10倍以上。
- 刘泉周健余卫华刘桂珍
- 关键词：金刚石膜
