何子安
- 作品数:7 被引量:1H指数:1
- 供职机构:复旦大学更多>>
- 发文基金:科技部基础研究重大项目前期研究专项国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:化学工程理学电子电信更多>>
- 一种适用于离子交换的掺锂玻璃薄膜的制备工艺
- 本发明属于集成光学技术领域,具体公开了一种利用溶胶凝胶方法中的DC-RTA技术,制备适用于离子交换的掺锂玻璃薄膜的工艺。该工艺的主要内容是首先配制好含有适当锂离子的溶胶,然后将该溶胶均匀涂覆在基片上后高温灼烧,使基片表面...
- 李毅刚何子安李颖峰刘丽英徐雷
- 文献传递
- 溶胶-凝胶法制备低含水量石英玻璃体材料被引量:1
- 2004年
- 使用溶胶凝胶技术及四氯化碳气氛的化学干燥方法,成功制备出光学质量良好的纯石英玻璃样品.整套工艺流程耗时2周,制备过程所需最高温度为1 200℃,远低于传统工艺制备石英玻璃所需要的高温.由红外吸收谱可估算出样品中OH含量约为2.8×10-4.
- 李毅刚何子安汤恒晟刘丽英徐雷王文澄
- 关键词:溶胶-凝胶石英玻璃红外透射率
- 溶胶-凝胶法制备高透紫外二氧化硅玻璃体材料的研究
- 半导体工业在40多年时间里奇迹般的始终遵循着摩尔定律,芯片集成度每18个月翻一番,器件尺寸每三年缩小0.7倍。目前采用193 nm光源的光刻技术已经商品化,157 nm光刻技术将是下一代的技术。针对157 nm光刻要求的...
- 李毅刚何子安汤恒晟刘丽英徐雷王文澄
- 关键词:溶胶-凝胶石英玻璃紫外透射率
- 文献传递
- 溶胶-凝胶法制备低含水量石英玻璃体材料
- 使用溶胶凝胶技术及四氯化碳气氛的化学干燥方法,成功制备出光学质量良好的纯石英玻璃样品.整套工艺流程耗时2周,制备过程所需要最高温度为1200℃,远低于传统工艺制备石英玻璃所需要的高温.由红外吸收谱可估算出样品中OH含量约...
- 李毅刚何子安汤恒晟刘丽英徐雷王文澄
- 关键词:石英玻璃溶胶凝胶法透射率
- 文献传递
- 玻璃基质光波导及其掺铒波导光放大器的离子交换法制备
- 为适应城域网、区域网、甚至能够最终实现光纤到户(FTTH)的住宅网的发展需要,低成本、小型化、功能模块化的各种集成光波导功能器件成为现代光通信领域的研究热点。离子交换技术是制备玻璃基质平面波导集成光学器件的一种重要技术,...
- 何子安
- 关键词:离子交换技术集成光学
- 文献传递
- 一种适用于离子交换的掺锂玻璃薄膜的制备工艺
- 本发明属于集成光学技术领域,具体公开了一种利用溶胶凝胶方法中的DC-RTA技术,制备适用于离子交换的掺锂玻璃薄膜的工艺。该工艺的主要内容是首先配制好含有适当锂离子的溶胶,然后将该溶胶均匀涂覆在基片上后高温灼烧,使基片表面...
- 李毅刚何子安李颖峰刘丽英徐雷
- 文献传递
- 溶胶-凝胶法制备低含水量石英玻璃体材料的研究
- 半导体工业在40多年时间里奇迹般地始终遵循着摩尔定律,芯片集成度每18个月翻一番,器件尺寸每三年缩小0.7倍。目前采用193 nm光源的光刻技术已经商品化,157 nm光刻技术将是下一代的技术。针对157 nm光刻要求的...
- 李毅刚何子安汤恒晟刘丽英徐雷王文澄
- 关键词:溶胶-凝胶石英玻璃紫外透射率
- 文献传递