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骆金龙
作品数:
5
被引量:4
H指数:1
供职机构:
复旦大学
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发文基金:
上海市科学技术发展基金
国家自然科学基金
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理学
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一般工业技术
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合作作者
应萱同
复旦大学信息科学与工程学院光科...
陈良尧
复旦大学
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骆金龙
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3篇
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金刚石软X光滤波器
化学气相沉积(CVD)金刚石薄膜具有一系列优良的物理化学性质,在X 光领域有重要的应用潜力。本文报道采用热灯丝化学气相沉积法(HFCVD)制备金刚石软X 光滤波器的实验。其软X 光透射率明显优于传统的X 光窗口材料铍,在...
应萱同
骆金龙
关键词:
CVD金刚石
透射率
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金刚石软X光荣了滤波器
化学气相沉积(CVD)金刚石薄膜具有一系列优良的物理化学性质,在X光领域有重要的应用潜力.本文报道采用热灯丝化学气相沉积法(HFCVD)制备金刚石软X光滤波器的实验.其软X光透射率明显优于传统的X光窗口材料铍,在新一代同...
应萱同
骆金龙
关键词:
CVD金刚石
透射率
滤波器
文献传递
原位反射率测量在制备金刚石X光窗口上的应用
2004年
通过反射率的原位测量和曲线拟合,研究了薄膜的生长过程并实时确定了它的光学性质。研究的结果与扫描电子显微镜(SEM)照片、X射线衍射(XRD)和α-step表面轮廓等非原位测试的结果符合良好。应用该研究成果,成功地制备了一种通光直径为4—8mm的无依托超薄金刚石X光高透射率窗口。样品测试完毕后均完好无损,显示了其低吸收和抗高辐射的良好特性。
骆金龙
应萱同
陈良尧
关键词:
CVD金刚石
原位
反射率
透射率
CVD金刚石薄膜的制备及其特性和器件化研究
本论文介绍了金刚石薄膜的热灯丝化学气相合成(HFCVD)及其性质和器件化应用研究。CVD金刚石薄膜是上世纪八十年代兴起的材料研究热点之一。它具有一系列优异的性质:极高的硬度和杨氏模量、良好的热导率、宽广的禁带宽度、较高的...
骆金龙
关键词:
金刚石
纳米晶
微晶
文献传递
化学气相沉积金刚石薄膜生长的原位反射率测量(英文)
被引量:1
2001年
报道了化学气相沉积金刚石薄膜生长的原位反射率测量,提出了监控金刚石薄膜生长的激 光反射多光束干涉的数学模型。通过原位反射率的测量, 精确监控了金刚石薄膜的生长厚度 , 成功地制备了红外增透膜。这种方法的测量装置简单、紧凑而且可靠。
骆金龙
应萱同
关键词:
CVD
金刚石薄膜
反射率
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