韩彬
- 作品数：14 被引量：19H指数：3
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- 相关领域：理学电子电信一般工业技术更多>>
- 磁控溅射低温沉积ITO薄膜及其光电特性研究被引量：2
- 2009年
- 采用直流反应磁控溅射法低温沉积ITO薄膜，用XRD、SEM和UV—Vis分别表征ITO薄膜的晶体结构、表面形貌及其紫外-可见光吸收谱，研究了氧分压、溅射功率及薄膜厚度等工艺参数对薄膜光电性能的影响，结果表明，氧分压过大时，ITO薄膜中有大量的位错和缺陷，使薄膜的电阻率变大，导电性变差；氧分压过小时，薄膜中将有大量氧空位产生，导致晶格变形，使电阻率增加。随着溅射功率增大，在相同时间内薄膜厚度增加，方块电阻减小，薄膜电阻率降低。随着薄膜厚度增加，制备的薄膜晶体结构相对完整，载流子浓度和迁移率逐渐增大，薄膜电阻率变小，进而对样品的光电性能产生明显影响。
- 江伟武光明王怡邢光建韩彬
- 关键词：直流磁控溅射ITO薄膜光响应
- 直流磁控溅射制备TiO_2薄膜及其光响应研究
- 2008年
- 研究了制备工艺与热处理对TiO2薄膜光响应的影响。用直流反应磁控溅射法在玻璃基片上制备TiO2薄膜,并分别在400℃与600℃下进行热处理,应用XRD、SEM、UV-Vis等分析方法对其进行表征。实验结果表明较高的温度与适当的氧分压可以提高薄膜的结晶度,随着温度的升高,薄膜晶粒粒径增大,其可见光透过率有所降低,而使薄膜的吸收阈值向长波方向移动。
- 江伟王怡武光明邢光建韩彬
- 关键词：TIO2薄膜直流磁控溅射光响应
- Ni掺杂TiO2薄膜的甩胶喷雾热分解法制备和自清洁性能的研究被引量：2
- 2009年
- 以钛酸丁脂（Ti（C4H9O）4）为先驱体,硝酸镍（NiNO3）为掺杂物,采用甩胶喷雾热分解方法在玻璃衬底上制备出了镍掺杂TiO2自清洁薄膜,通过扫描电镜（SEM）、X射线衍射（XRD）、紫外-可见透射光谱（UV-Vis）、光催化和亲水性能测定等手段对样品进行分析,结果表明,500r/min为理想衬底转速,350℃是理想的衬底沉积温度,500℃是理想的样品退火温度。随着镍掺杂量的不断增加,TiO2薄膜的亲水性能也越好,当镍掺杂量达2%-3%时,TiO2薄膜的亲水性能达到最好。
- 朱江武光明卢凯韩彬邢光建江伟
- 关键词：掺杂TIO2薄膜自清洁
- 用甩胶喷雾热分解方法制备羧酸铕配合物光致发光薄膜的研究
- 2008年
- 配置羧酸铕配合物溶于二甲基亚砜中形成溶液,经TG确定甩胶喷雾热分解成膜温度为120℃,制备薄膜设备为自制,通过实验摸索各实验参数,成功制备了羧酸铕配合物光致发光薄膜。用320nm的紫外光照射,测量633nm激发红光强度发现速随膜厚增加激发光强接近粉体。SEM显示形成的薄膜并不理想,但不影响发光。650℃对样品退火,没有红色激发光谱。
- 武光明王怡靳力韩彬邢光建江伟
- 关键词：光致发光
- ZnO：In薄膜的制备及其光电性能研究
- 本文首先采用自行设计的超声喷雾热分解设备在普通玻璃衬底上沉积了ZnO薄膜，优化工艺条件后，又分别在玻璃和高阻n-Si（100）衬底上沉积了ZnO：In薄膜，最后采用磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了ZnO：In薄膜。借助X射...
- 韩彬
- 关键词：ZNO薄膜磁控溅射光电性能
- 文献传递
- 液位沉降法制备薄膜的装置
- 本发明公开一种液位沉降法制备薄膜的装置，该装置包括：容器、加热板、储液器和管路，其中，所述容器为方形扁平结构，容器上设有输液口，所述容器通过输液口经管路与储液器连通；所述容器上设有加热板，所述加热板与容器内放置制膜的基板...
- 武光明王怡朱江唐文张菲菲韩彬江伟
- 文献传递
- ZnO薄膜的p型掺杂研究进展被引量：6
- 2009年
- ZnO作为重要的第三代半导体材料在光电领域具有广泛的应用前景因而引起越来越多的关注,ZnO薄膜的p型掺杂是实现ZnO基光电器件的关键,也是ZnO材料的主要研究课题。本文论述了ZnO薄膜p型转变的难点及其解决方法,概述了ZnO薄膜p型掺杂的研究现状,提出了有待进一步研究的问题。
- 邢光建李钰梅江伟韩彬王怡武光明
- 关键词：ZNO薄膜共掺
- 超声喷雾热分解制备ZnO薄膜及其光学性能的研究被引量：5
- 2009年
- 以醋酸锌水溶液为前驱体,采用超声喷雾热分解方法在普通玻璃衬底上沉积了ZnO薄膜,以X射线衍射(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)和紫外-可见光分光光度计(UV-Vis)等手段对所得ZnO薄膜的晶体结构、微观形貌和光学性能进行了分析,着重考察了衬底温度、衬底与喷嘴之间的距离、生长时间对ZnO薄膜晶体结构和光学性能的影响。结果表明,衬底温度大于450℃,载气流量为4 L/min,衬底与喷嘴之间的距离为6 cm,生长时间为30 min下所得的ZnO薄膜较好,衍射峰较强,表面均匀致密,在可见光区域透过率为80%以上。
- 韩彬武光明邢光建王怡江伟
- 关键词：ZNO薄膜透过率
- 玻璃衬底上氮-铟共掺ZnO的制备及表征
- 以醋酸锌水溶液为前驱体,分别以醋酸铵和硝酸铟为氮(N)源和铟(In)源,采用超声喷雾热分解方法在普通玻璃衬底上沉积了氮-铟(N-In)共掺杂ZnO薄膜.并采用X射线衍射,场发射扫描电镜、霍尔效应、透射光谱等分析方法,研究...
- 韩彬武光明邢光建王怡江伟李东临
- 关键词：ZNO薄膜玻璃衬底
- 文献传递
- 液位沉降法制备薄膜的装置
- 本发明公开一种液位沉降法制备薄膜的装置，该装置包括：容器、加热板、储液器和管路，其中，所述容器为方形扁平结构，容器上设有输液口，所述容器通过输液口经管路与储液器连通；所述容器上设有加热板，所述加热板与容器内放置制膜的基板...
- 武光明王怡朱江唐文张菲菲韩彬江伟
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