郭宁平
- 作品数：6 被引量：14H指数：3
- 供职机构：中南大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程电气工程理学电子电信更多>>
- 一种新型磁悬浮直线运动平台的热分析被引量：8
- 2011年
- 为实现定位平台的大运动行程和高运动精度,建立了一种新型磁悬浮直线运动平台,该平台由磁悬浮运动装置和电磁直线驱动装置组成,具有无摩擦、高刚度等优点。针对磁悬浮直线运动平台长时间运行过程中电磁铁的发热问题,运用有限元软件对电磁铁的发热机理、发热量以及热量的时空分布进行了分析,并和实验数据进行了对比。结果表明,在常温常压下,电磁铁温度上升到一定程度后即达到平衡,不需要加装冷却装置。而在真空环境下,电磁铁温度会不断增加,必须加装冷却装置来降低温度。最后,通过仿真对真空环境下的冷却装置设计进行了简单地讨论。
- 段吉安郭宁平周海波
- 关键词：有限元热分析冷却装置
- 电磁力的精确建模及参数辨识被引量：3
- 2010年
- 传统磁悬浮平台电磁铁的电磁力模型一般是在理想情况下建立的,如果需要建立精确的模型,漏磁通、气隙边缘效应等影响不能理想化。在考虑漏磁通、气隙边缘效应等因素的情况下,对某一具体磁悬浮平台进行精确建模。基于此模型,对平台进行悬浮实验,并采集到输入、输出数据,进行参数辨识,修正理论模型。
- 丁征宇周海波郭宁平
- 关键词：漏磁通卡尔曼滤波参数辨识
- 一种采用磁悬浮技术的光刻机掩模台
- 本发明提出一种采用磁悬浮技术的光刻机掩模台，主要由精密导轨、基座、悬浮体等组成。悬浮体内安装有电磁铁，结合涡流位移传感器，实现悬浮体稳定悬浮在导轨上方；直线电机定子固定在基座上，直线电机动子固定在悬浮体上，导轨面上设有光...
- 段吉安周海波郭宁平
- 文献传递
- 磁悬浮掩模台的结构设计及其性能研究
- 磁悬浮支撑技术具有无摩擦、无磨损等优点而获得广泛关注。掩模台是光刻机的核心单元,对磁悬浮掩模台的设计制造与控制的研究是一个复杂而又具有重要科研价值和实用意义的课题。磁悬浮掩模台的结构及其参数的设计很大程度上决定了磁悬浮系...
- 郭宁平
- 关键词：光刻机有限元分析电磁场
- 磁悬浮直线运动平台的模态分析被引量：5
- 2011年
- 提出一种新型大行程磁悬浮直线精密运动平台,为了解其各种工况下的固有频率和振型,从而指导磁浮平台的结构设计及控制器设计,运用有限元软件建立其三维有限元模型,对磁浮平台各部件及整个平台处于不同工况、不同状态下的模态进行深入探讨,揭示磁浮平台在各种工况下模态的变化规律.结果表明,平台薄弱部分或可能影响运行精度的区域在电磁铁支撑上,平台处于悬浮时刚度最低,悬浮体的运动位置对平台整体模态基本无影响,电磁铁支撑刚度需要控制在合理范围内.分析结果为结构优化提供了重要参考.
- 郭宁平周海波王文祝郑蕾
- 关键词：有限元模态分析振型固有频率
- 一种采用磁悬浮技术的光刻机掩模台
- 本发明提出一种采用磁悬浮技术的光刻机掩模台，主要由精密导轨、基座、悬浮体等组成。悬浮体内安装有电磁铁，结合涡流位移传感器，实现悬浮体稳定悬浮在导轨上方；直线电机定子固定在基座上，直线电机动子固定在悬浮体上，导轨面上设有光...
- 段吉安周海波郭宁平
