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郭和忠
作品数:
3
被引量:15
H指数:1
供职机构:
中国科学院电子学研究所
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相关领域:
一般工业技术
电子电信
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合作作者
袁广江
中国科学院电子学研究所
阎旭
中国科学院电子学研究所
吴尔生
中国科学院电子学研究所
卢玉华
中国科学院电子学研究所
罗积润
中国科学院电子学研究所
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袁广江
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1篇
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白宝石的多弧离子镀金属化
本发明涉及电真空器件技术,特别是涉及利用多弧离子镀金属化白宝石,进而实现无氧铜—白宝石高可靠气密非匹配外套封的—种新工艺。本发明利用多弧离子镀将纯钛蒸镀到白宝石封接区实现金属化,用于无氧铜—白宝石的高可靠气密外套封,其气...
袁广江
卢玉华
罗积润
阎旭
吴尔生
郭和忠
文献传递
白宝石的多弧离子镀金属化的方法
本发明涉及电真空器件技术,特别是涉及利用多弧离子镀金属化白宝石,进而实现无氧铜-白宝石高可靠气密非匹配外套封的一种新工艺。本发明利用多弧离子镀将纯钛蒸镀到白宝石封接区实现金属化,用于无氧铜-白宝石的高可靠气密外套封,其气...
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卢玉华
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吴尔生
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文献传递
蓝宝石输出窗的成功封接
被引量:15
2004年
基于多弧离子镀技术 ,结合特殊的封接结构和工艺技术 ,成功地实现了蓝宝石输出窗的真空气密封接。通过试验 ,证明封接的蓝宝石输出窗具有良好的真空气密性能、抗热烘烤冲击能力、较好的抗拉强度。这一成功为我国发展高功率和高频率真空微波、毫米波器件奠定了基础。
袁广江
卢玉华
罗积润
阎旭
吴尔生
郭和忠
关键词:
蓝宝石
高功率
毫米波
多弧离子镀
冲击能
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