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郝靖

作品数:1 被引量:2H指数:1
供职机构:中国电子科技集团更多>>
发文基金:国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇运动控制
  • 1篇运动控制技术
  • 1篇运动控制系统
  • 1篇晶片
  • 1篇控制技术
  • 1篇控制系统
  • 1篇PID

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇任绍彬
  • 1篇郝靖
  • 1篇徐品烈

传媒

  • 1篇电子工业专用...

年份

  • 1篇2010
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
装片机晶片台运动控制系统的分析被引量:2
2010年
论述了装片机晶片台伺服电机选型计算和运动控制技术,采用伺服电机构成了半闭环反馈控制系统,实现了晶片台的高速、高精度定位控制。
徐品烈任绍彬郝靖
关键词:运动控制技术PID
共1页<1>
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