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郝靖
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
中国电子科技集团
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
徐品烈
中国电子科技集团
任绍彬
中国电子科技集团
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中国电子科技...
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任绍彬
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郝靖
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徐品烈
传媒
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电子工业专用...
年份
1篇
2010
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装片机晶片台运动控制系统的分析
被引量:2
2010年
论述了装片机晶片台伺服电机选型计算和运动控制技术,采用伺服电机构成了半闭环反馈控制系统,实现了晶片台的高速、高精度定位控制。
徐品烈
任绍彬
郝靖
关键词:
运动控制技术
PID
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