邴龙健
- 作品数：7 被引量：57H指数：4
- 供职机构：西华大学机械工程与自动化学院特种加工技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金留学人员科技活动项目择优资助经费四川省教育厅重点项目更多>>
- 相关领域：金属学及工艺机械工程电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 微磨料水射流磨料精密输送系统研究
- 微磨料水射流加工技术是在传统磨料水射流加工技术的基础上发展起来的一种全新的微加工技术，是一种“软、冷”切割加工方式，具有无热影响区、切口质量好、无火花、无污染、能量集中等独特的优点，主要应用于硬脆性材料的加工及微刻蚀领域...
- 邴龙健
- 关键词：铣削工艺
- 文献传递
- 水射流导引激光在微细加工中的应用被引量：6
- 2008年
- 研究应用水射流导引激光技术切割加工半导体材料工艺,并与传统切割工艺进行了比较。用φ25μm的水射流和波长为1 064 nm的钇铝石榴石红外线激光源切割一个φ125μm的砷化镓晶片,典型的切割速度是40 mm/s,切口宽度23μm,切边无碎片和边角损坏。与锯片切割相比,其加工速度高达5倍。实验发现,水射流导引激光切割工件温度在160℃以下,晶圆加工表面基本无碎片、毛刺产生。通过对晶圆切片的3点弯曲进行试验发现,对于125μm厚的硅晶圆而言,在同等切痕宽度的情形下,微水射流导引激光切片断裂强度比锯片切片在正反两面都要高50%左右。结果表明,水射流导引激光切割技术可以大幅提高晶圆加工的效率、质量和可靠性。
- 蔡黎明雷玉勇邴龙健唐令波
- 关键词：微细加工半导体
- 基于模糊PID的工业锅炉汽包水位控制系统的仿真研究被引量：18
- 2009年
- 目前,汽包水位的控制大多采用常规PID控制方式,由于其控制参数是固定不变的,其控制效果往往难以满足要求,造成系统不稳定甚至失控。在对MATLAB软件及其工具箱进行介绍的基础上,通过SIMULINK对汽包水位的模糊PID控制系统进行仿真分析。研究表明,基于模糊控制策略锅炉汽包水位控制系统,过渡过程时间较短,超调量小,系统抗干扰能力强,能很好地克服蒸汽流量扰动对汽包水位的影响,从而改善了被控过程的动态、稳态性能,控制效果优于常规的PID控制。具有很好的应用前景。
- 唐令波雷玉勇邴龙健蔡黎明
- 关键词：工业锅炉汽包水位模糊控制PID控制SIMULINK
- 基于SIMULINK的聚能喷嘴动态特性仿真研究被引量：1
- 2009年
- 以脉冲水炮用聚能喷嘴为研究对象,建立其发射特性的数学模型;应用MATLAB中的动态仿真工具软件包SIMULINK,对射流的出口速度与喷嘴内的静压力进行仿真研究。结果表明,对于指数型聚能喷嘴而言,随着喷嘴出口截面变化率的增加,脉冲射流速度亦明显增大;当喷嘴出口截面变化率为定值时,随着喷嘴长度增加,脉冲射流的速度快速增大,而脉冲的长度会大大减小。另外,在喷嘴内水柱的压力沿喷嘴出口方向显著增大,且喷嘴断面收缩越快或喷嘴越短,喷嘴内的压力上升就越快。因此,从减小喷嘴内压力,提高喷嘴强度角度出发,采用收缩较缓慢的长喷嘴为最佳。
- 雷玉勇唐令波邴龙健蔡黎明
- 关键词：脉冲射流水炮仿真SIMULINK
- 基于PMAC控制器的开放式数控系统研究被引量：6
- 2009年
- 根据磨料水射流的切割特点和精密加工要求,开发了一种适用于磨料水射流机床的基于PMAC的开放式数控系统。通过分析磨料水射流数控系统的功能需求,研究分析了数控系统的软、硬件结构和基于PMAC控制器的数控系统实现机制。采用模块化的设计思想,设计开发数控系统软件,讨论了各软件模块的实现方法。实验室的调试运行表明,基于PMAC的开放式数控系统能较好地适应磨料水射流机床的特点,满足精密加工要求。
- 邴龙健雷玉勇蔡黎明唐令波
- 关键词：磨料水射流开放式数控系统
- 基于PMAC控制器的开放式数控系统研究被引量：3
- 2009年
- 根据磨料水射流的切割特点和精密加工要求,设计开发了一种适用于磨料水射流机床的基于PMAC的开放式数控系统。通过分析磨料水射流数控系统的功能需求,研究分析了数控系统的软、硬件结构和基于PMAC控制器的数控系统实现机制。采用模块化的设计思想,设计开发数控系统软件,讨论了各软件模块的实现方法。实验室的调试运行表明,基于PMAC的开放式数控系统能较好地适应磨料水射流机床的特点,满足精密加工要求。
- 邴龙健雷玉勇蔡黎明唐令波
- 关键词：PMAC磨料水射流开放式数控系统
- 微磨料水射流技术及其应用被引量：23
- 2009年
- 介绍了微磨料水射流技术及其在半导体制造工艺中的应用。在分析研究微磨料水射流技术国内外发展基础上，提出了微磨料水射流的产生方法及关键技术。对增压发生器的压力、喷嘴直径、微磨料粒子的精度、浆液磨料制备方法、浆液磨料的输送及质量流量的控制、工作平台的运动精度等关键技术进行了分析讨论。研究表明，为了产生射束直径100μm以下的微磨料水射流，必须采用湿式磨料，同时完全避免空气进入。采用300nm至8μm氧化铝浆液磨料和Ф40—50μm喷嘴，应用运载方法可以产生束径达Ф40-50μm级的微细加工磨料水射流。在同样水压力下，其切割的能量密度是普通磨料水射流的4～5倍。微磨料水射流在半导体材料加工、微型电子机械系统制造以及光学器件生产上具有广阔应用前景。
- 雷玉勇蔡黎明邴龙健唐令波
- 关键词：微细加工
