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许乔

作品数：8 被引量：59H指数：6
供职机构：浙江大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：机械工程理学电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 7篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 7篇机械工程
  • 2篇理学
  • 1篇电子电信

主题

  • 8篇光学
  • 4篇透镜
  • 4篇微光学
  • 4篇微透镜
  • 4篇光刻
  • 3篇透镜阵列
  • 3篇微透镜阵列
  • 3篇光刻胶
  • 3篇光学器件
  • 3篇光学元件
  • 3篇二元光学
  • 2篇衍射
  • 2篇衍射光学
  • 2篇衍射光学元件
  • 2篇二元光学器件
  • 1篇电铸
  • 1篇电子束曝光
  • 1篇电子束曝光机
  • 1篇调焦
  • 1篇调焦系统

机构

  • 8篇浙江大学

作者

  • 8篇许乔
  • 6篇侯西云
  • 5篇叶钧
  • 5篇杨国光
  • 2篇周光亚
  • 2篇包正康
  • 1篇杨李茗
  • 1篇虞淑环
  • 1篇舒晓武
  • 1篇余中如
  • 1篇陈祥献

传媒

  • 2篇仪器仪表学报
  • 2篇浙江大学学报...
  • 2篇光学学报
  • 1篇光子学报

年份

  • 1篇1999
  • 2篇1998
  • 1篇1997
  • 4篇1996
共 8 条 记 录，以下是 1-8
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排序方式：
极坐标激光直接写入系统研究被引量：3
1996年
本文对极坐标激光直接写入系统进行了初步的研究，介绍了它的原理及结构，该系统可用于二元光学掩模的制作，具有加工孔径大、线宽小的特点，特别适用于圆对称的图形。加工此类图形在制作时间、成本、元件质量等方面都优于电子束曝光机。
周光亚侯西云许乔叶钧
关键词：极坐标光刻物镜二元光学器件自动调焦系统电子束曝光机
微透镜阵列的加工技术研究被引量：9
1998年
我们运用紫外光刻及热熔成形的方法，制作了２０ｍｍ×２０ｍｍ的折射型微透镜阵列，单元微透镜相对口径为Ｆ／２，单元透镜直径９０μｍ，中心间隔１００μｍ．在此基础上进行了电铸和注模复制技术的研究．本文详细讨论了光刻热熔、电铸制模。
陈祥献杨国光陈洪谬侯西云许乔
关键词：微透镜阵列微光学光刻胶电铸
阵列光学及微透镜阵列技术研究
该文对折射型微透镜阵列(MLA)的光学特性、制作技术进行了详细的研究.分析了微透镜阵列在现代光学系统中表现出来的阵列光学特性:非成像特性和阵列成像特性.在此基础上,提出了用光刻热熔法和反应离子束蚀刻法来制作折射型的微透镜...
许乔
关键词：微光学微透镜阵列
二元光学元件衍射效率的逐层分析法研究被引量：16
1996年
提出了一种有效的分析二元光学元件衍射效率的新方法逐层分析法，并对四台阶二元器件，就蚀刻深度误差和横向对准误差对器件衍射效率的影响进行了详细的分析和讨论。
叶钧许乔侯西云杨国光
关键词：衍射光学元件二元光学衍射效率光学器件
折射型微透镜列阵的光刻热熔法研究被引量：18
1996年
研究了制作折射型微透镜列阵的一种新方法光刻胶热熔成形法，获得了２０×２０的折射型微透镜列阵，单元微透镜相对口径为Ｆ／２，单元透镜直径为９０μｍ，中心间隔１００μｍ，透镜的波像差小于１．３波长。本文详细阐述了光刻热熔法的基本原理及微透镜设计方法，并讨论了工艺参数对微透镜列阵质量的影响。
许乔叶钧周光亚侯西云杨国光包正康余中如
关键词：微透镜列阵微光学光刻胶光学元件
热熔微透镜阵列的综合性能测试被引量：6
1996年
我们运用光刻胶热熔成形的方法，制作了２０×２０的折射型微透镜阵列，单元透镜直径为９０μｍ，中心间隔１００μｍ。此微透镜阵列具有极好的均匀性。本文详细讨论了对此阵列的焦距、透镜的形状及面形质量、波像差及点扩散函数等参数的测试方法及实验结果。实验结果表明，该微透镜阵列在０．３数值孔径下达到了衍射极限的光学性能。
许乔叶钧包正康侯西云
关键词：微透镜阵列微光学光刻胶
衍射光学元件的反应离子束蚀刻研究被引量：6
1998年
本文提出了一种制作衍射光学元件的新方法———反应离子束蚀刻法对此技术研究的结果表明：反应离子束蚀刻法具有高蚀刻速率、蚀刻过程各向异性好、蚀刻参数控制灵活等特点，对于衍射光学元件和微光学元件的精细结构制作十分有利本文详细总结了反应离子束蚀刻过程中各工艺参数对蚀刻速率的影响。
杨李茗虞淑环许乔舒晓武杨国光
关键词：衍射光学元件蚀刻工艺
八台阶二元光学器件套刻误差的逐层分析法研究被引量：8
1999年
用逐层分析法就八台阶二元器件套刻误差对器件衍射效率的影响进行了详细的分析和讨论，给出了简便。
叶钧许乔侯西云杨国光
关键词：光学器件二元光学器件
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