范晓明
- 作品数：2 被引量：1H指数：1
- 供职机构：中国科学技术大学工程科学学院精密机械与精密仪器系更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程更多>>
- 剪切力模式近场扫描光学显微镜的恒幅反馈控制方法研究被引量：1
- 2008年
- 剪切力模式近场扫描光学显微镜(Near-field Scanning Optical Microscopy,NSOM)的音叉探针间距控制系统中,用相位反馈控制和检测剪切力,同时采用比例+积分(PI)技术实现对音叉探针振幅的反馈控制,使探针振幅在扫描过程中保持为恒定值.用相位信号作为探针与样品间距控制信号,分别在无振幅反馈和有振幅反馈两种情况下,以不同速率扫描得到标准CD_RW光盘光栅的两组图像,并进行了比较分析.实验表明,恒振幅反馈电路的引入有助于提高探针系统的响应速度和灵敏度,改善所得图像的质量及分辨率.
- 范晓明王克逸
- 关键词：近场扫描光学显微镜PI控制器
- 高速近场扫描光学显微镜系统研究
- 近场扫描光学显微镜(Near-field Scanning Optical Microscopy,NSOM)的分辨率突破了传统光学显微镜分辨率的衍射极限，自80年代中期以来获得了很大的发展。到目前为止国外报道的NSOM的...
- 范晓明
- 关键词：光学显微镜扫描探针分辨率衍射极限
- 文献传递
