肖艳芬
- 作品数：24 被引量：63H指数：4
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国际科技合作与交流专项项目更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信更多>>
- 用于光刻机照明均匀化的微柱面镜阵列设计被引量：15
- 2013年
- 均匀照明是投影光刻机中实现光刻线条高度均一性的重要条件。采用微透镜阵列作为照明匀光器件,能够在实现矩形照明光斑的同时获得极高的远场分布均匀性。基于微透镜阵列现有的加工工艺,设计出二维方向分开的柱面微透镜阵列,并通过优化设计,克服了微透镜之间的接缝在远场光场处产生的中心亮线。仿真分析表明,所设计的微透镜阵列的远场分布不均匀性达到0.85%。
- 肖艳芬朱菁杨宝喜胡中华曾爱军黄惠杰
- 关键词：几何光学光学设计
- 光刻机照明系统的级联微透镜阵列的对准装置和对准方法
- 一种光刻机照明系统的级联微透镜阵列的对准装置和对准方法，该装置的构成包括平行光光源、光阑、对准台、聚光镜和图像采集单元，上述部件的位置关系如下：沿平行光光源发射的平行光束的前进方向依次是同光轴的光阑、对准台、聚光镜和图像...
- 张方朱菁杨宝喜黄惠杰黄立华曾爱军胡小邦刘蕾张佩肖艳芬陈明
- 文献传递
- 衍射型环形照明发生器及其制备方法
- 一种用于紫外光刻机离轴照明系统的衍射型环形照明发生器及其制备方法，特点在于其构成包括表面垂直于光轴的第一衍射元件和第二衍射元件，第一衍射元件将平行光束变换成与光轴成一个产生的发散光束与光轴成夹角θ的圆环形发散光束，第二衍...
- 朱菁杨宝喜曾爱军黄惠杰胡中华陈明肖艳芬
- 光刻机设备用离轴照明装置
- 一种光刻机设备用离轴照明装置，其特点在于该装置包括照明单元、衍射光学元件单元、变焦准直镜组、四分之一波片、负轴锥镜、45°旋光片和正轴锥镜；所述的照明单元由准分子激光器和扩束准直镜组组成。本发明对光刻机可实现双环照明，双...
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- 文献传递
- 光学镜头畸变的测量装置和校正方法
- 一种光学镜头畸变的测量装置和校正方法，该装置由单星星光模拟器、调整架、待测镜头、CCD相机、一维气浮转台、角编码器、计算机和光学平台组成。该方法是利用质心定位算法确定待测镜头不同视场下星点像的质心位置坐标，并针对整个视场...
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- 文献传递
- 光刻机设备用离轴照明装置
- 一种光刻机设备用离轴照明装置，其特点在于该装置包括照明单元、衍射光学元件单元、变焦准直镜组、四分之一波片、负轴锥镜、45°旋光片和正轴锥镜；所述的照明单元由准分子激光器和扩束准直镜组组成。本发明对光刻机可实现双环照明，双...
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- 衍射型环形照明发生器及其制备方法
- 一种用于紫外光刻机离轴照明系统的衍射型环形照明发生器及其制备方法，特点在于其构成包括表面垂直于光轴的第一衍射元件和第二衍射元件，第一衍射元件将平行光束变换成与光轴成一个产生的发散光束与光轴成夹角θ的圆环形发散光束，第二衍...
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- 文献传递
- 光刻机用微透镜阵列的检测装置和检测方法
- 一种光刻机用微透镜阵列的检测装置和检测方法，检测装置的过程包括准分子激光器，沿该准分子激光器的输出光束方向依次是同轴的扩束镜、能量衰减片、光阑、聚光镜和图像传感器，所述的微透镜阵列置于二维电动平台上，所述的微透镜阵列的后...
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- 文献传递
- 八分之一波片相位延迟量和快轴方位角的测量装置和方法
- 一种八分之一波片相位延迟量和快轴方位角的测量装置和方法，该装置由准直光源、圆起偏器、衍射光栅、聚焦透镜、衰减器、检偏器阵列、光电探测器阵列和信号处理系统组成，本发明能实时地测量八分之一波片的相位延迟量和快轴方位角，而且测...
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- 用于投影光刻机光瞳整形的衍射光学元件设计被引量：18
- 2013年
- 投影光刻机普遍采用衍射光学元件(DOE)来产生各种照明模式。针对投影光刻机中准分子激光器空间相干性差的特点,提出了一种混合分区设计方法,并利用该方法对产生传统照明模式、二极照明模式和四极照明模式的DOE进行了具体的设计。仿真分析了采用常规重复分区方法和混合分区方法的两类设计结果,并对它们的远场光强分布进行了详细的比较分析。在相同的局部优化算法条件下,相对于常规重复分区方法的设计结果而言,混合分区方法设计的DOE可使传统照明模式的非均匀性从26.45%下降到1.12%,二极照明模式的非均匀性从19.93%下降到5.45%,四极照明模式的非均匀性从17.73%下降到3.54%。混合分区设计方法无需改变局部优化算法,在保持高衍射效率的同时能大幅度提高光瞳均匀性。
- 胡中华杨宝喜朱菁肖艳芬曾爱军黄惠杰
- 关键词：光学设计衍射光学元件投影光刻
