您的位置: 专家智库 > >

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇专利

领域

  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇修饰
  • 2篇硅基
  • 2篇SOI
  • 2篇表面修饰
  • 2篇波导
  • 1篇导光
  • 1篇生化特性
  • 1篇生物传感
  • 1篇生物传感器
  • 1篇损耗测试
  • 1篇平面波导
  • 1篇弯曲损耗
  • 1篇芯片
  • 1篇集成芯片
  • 1篇光波
  • 1篇光波导芯片
  • 1篇光纤
  • 1篇光栅
  • 1篇硅基材料
  • 1篇封装

机构

  • 4篇中北大学

作者

  • 4篇王景雪
  • 3篇韦丽萍
  • 3篇臧俊斌
  • 3篇薛晨阳
  • 3篇王永华
  • 2篇崔丹凤
  • 2篇仝晓刚
  • 1篇闫树斌
  • 1篇焦新泉
  • 1篇刘超
  • 1篇田学东
  • 1篇张文栋
  • 1篇苏淑靖
  • 1篇晋玉剑

传媒

  • 2篇传感技术学报

年份

  • 2篇2013
  • 2篇2012
4 条 记 录,以下是 1-4
排序方式:
SOI纳米波导的优化制备与弯曲损耗测试被引量:1
2012年
主要针对目前SOI(Silicon-on-insulator)纳米光波导结构弯曲损耗严重的问题,系统地进行了理论仿真分析,设计出最佳的纳米波导结构,并采用MEMS工艺对其进行加工制备与优化处理。后利用了SEM(扫描电子显微镜)、AFM(原子力显微镜)、透射谱功率法等研究手段精确测试了在高纯氮退火和BOE腐蚀后处理不变的情况下,不同温度热氧化退火处理下的波导侧壁粗糙度和对应的弯曲损耗,结果表明:波导的侧壁粗糙度随退火温度的变化近似呈二次抛物线变化趋势,在900℃附近达到最低值2.1 nm,对应的半径15μm的环形波导的弯曲损耗为(0.0109±0.001)dB/turn,其损耗值与理论分析结果一致。利用这一结论就可以通过选择不同的优化处理条件来减小环形波导的弯曲损耗,从而实现光能量的高效传输。
臧俊斌薛晨阳韦丽萍王景雪崔丹凤王永华仝晓刚
关键词:SOIMEMS粗糙度弯曲损耗
光纤与光波导芯片高效垂直耦合互连的封装方法
本发明公开了一种光纤与光波导芯片高效垂直耦合互连的封装方法,其包括以下步骤:制备出硅基纳米波导光栅,并应用扫描电镜对硅基纳米波导光栅进行扫描;准备好低折射率固化封装材料;制备单模光纤;在硅基纳米波导光栅的表面涂覆光学增透...
苏淑靖焦新泉薛晨阳臧俊斌闫树斌张文栋仝晓刚晋玉剑王景雪崔丹凤韦丽萍王永华田学东
文献传递
平面波导硅基结构表面的APTES修饰研究被引量:1
2013年
3-氨丙基三乙氧基硅烷(APTES)是一种常用的表面修饰剂,通过化学键合的方式覆盖在硅结构表面形成APTES膜层,用以链接功能性生物分子。本文基于平面波导生物传感器器件的研究,通过对结构表面膜层的物理化学特性进行分析,对实验方案进行优化,降低表面微粗糙度,提升生物分子膜层的活性。文中在相同的实验环境下,将APTES分别溶于PBS、乙醇、甲苯溶液,进行APTES分子膜的生成。通过原子力扫描显微镜(AFM)、接触角测试仪、X-射线光谱仪(XPS)对不同样品表面微粗糙度(RMS)、接触角、成分等物理化学特性进行分析,确定应用于光学生物传感器器件APTES表面修饰的最佳配剂,为提高平面波导生物传感器的灵敏度提供了理论支持。
王景雪薛晨阳刘超王永华臧俊斌韦丽萍
关键词:APTES表面修饰
基于硅基微纳结构表面修饰的生化传感特性的基础研究
光学生物生物传感器在近十几年中发展迅速,以其抗电磁干扰能力强、灵敏度高、可探测微量元素的存在等诸多优点而在各领域得到广泛应用。随着硅基波导材料的应用与现代微机械加工工艺的的发展,光学生物传感器越来越向着微小型化、智能化与...
王景雪
关键词:表面修饰生化特性
文献传递
共1页<1>
聚类工具0