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王文娟
作品数:
14
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中国矿业大学
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相关领域:
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矿业工程
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合作作者
马洪宇
中国矿业大学
丁恩杰
中国矿业大学
程婷婷
中国矿业大学
赵小虎
中国矿业大学
黄丛亮
中国矿业大学
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王文娟
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马洪宇
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程婷婷
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赵小虎
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2015
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2014
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一种单片微瓦斯传感器
一种单片微瓦斯传感器,传感器的加热元件和测温元件通过固定端固定在硅框架支座上,在加热元件上设有催化剂载体,加热元件和测温元件是相互独立的,加热元件、测温元件不存在电气连接;采用加热元件单独加热催化剂载体,测温元件单独检测...
马洪宇
王文娟
丁恩杰
赵小虎
程婷婷
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悬臂梁式压电驱动及压电检测的瓦斯传感器
一种悬臂梁式压电驱动及压电检测的瓦斯传感器,硅衬底上设有以介质层作为结构层的悬臂梁,悬臂梁根部设有对称排列、结构相同的第一、第二压电单元,压电单元包括压电层、设在压电层上下的上电极和下电极,下电极设在介质层上,下电极是下...
马洪宇
丁恩杰
赵端
王文娟
程婷婷
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一种单片微瓦斯传感器及其制备方法
一种单片微瓦斯传感器及其制备方法,属于瓦斯传感器及其制备方法。该传感器的加热元件和测温元件通过固定端固定在硅框架支座上,在加热元件上设有催化剂载体,加热元件和测温元件是相互独立的,加热元件、测温元件不存在电气连接;采用加...
马洪宇
王文娟
丁恩杰
赵小虎
程婷婷
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一种叠层结构的微瓦斯传感器及其制备方法
一种叠层结构的微瓦斯传感器及其制备方法,属于瓦斯传感器及其制备方法。该传感器包括采用MEMS技术加工的单片瓦斯微反应器与单片温度检测器,二者通过键合形成整体的叠层结构的微瓦斯传感器。单片瓦斯微反应器独立加热催化剂载体,单...
马洪宇
王文娟
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一种叠层结构的微瓦斯传感器及其制备方法
一种叠层结构的微瓦斯传感器及其制备方法,属于瓦斯传感器及其制备方法。该传感器包括采用MEMS技术加工的单片瓦斯微反应器与单片温度检测器,二者通过键合形成整体的叠层结构的微瓦斯传感器。单片瓦斯微反应器独立加热催化剂载体,单...
马洪宇
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一种叠层结构的微瓦斯传感器
一种叠层结构的微瓦斯传感器,包括采用MEMS技术加工的单片瓦斯微反应器与单片温度检测器,二者通过键合形成整体的叠层结构的微瓦斯传感器。单片瓦斯微反应器独立加热催化剂载体,单片温度检测器独立检测单片瓦斯微反应器因瓦斯催化燃...
马洪宇
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一种可回收重复制备的微瓦斯传感器及其制备方法
一种可回收重复制备的微瓦斯传感器及其制备方法,属于微瓦斯传感器及其制备方法。该微瓦斯传感器的硅加热器中间有散热-支撑硅块;硅悬臂的一端与硅微加热器一侧相连,硅悬臂的另一端与硅支座上的固定端连接;固定端设在硅支座的埋层氧化...
马洪宇
丁恩杰
王文娟
赵小虎
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瓦斯传感器的封装改进与检测方法研究
瓦斯传感器是感知矿山物联网前端关键性的感知环节,是煤矿井下安全生产监控的一个重要保障。目前,催化燃烧式瓦斯传感器在煤矿井下瓦斯监测中占据主导地位。但是,现有的催化燃烧式瓦斯传感器无法满足感知矿山物联网对传感器低功耗的要求...
王文娟
关键词:
瓦斯传感器
催化燃烧
脉冲供电
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一种双端固支梁室温瓦斯传感器
一种双端固支梁室温瓦斯传感器,硅衬底上设有以介质层为结构层的双端固支梁,双端固支梁两侧根部的介质层上对称设有下电极,下电极上设有压电层,设有隔离介质层覆盖介质层、压电层和下电极,在位于压电层之上的隔离介质层上设有上电极;...
马洪宇
丁恩杰
王文娟
赵小虎
王刚
胡青松
程婷婷
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一种可回收重复制备的微瓦斯传感器及其制备方法
一种可回收重复制备的微瓦斯传感器及其制备方法,属于微瓦斯传感器及其制备方法。该微瓦斯传感器的硅加热器中间有散热-支撑硅块;硅悬臂的一端与硅微加热器一侧相连,硅悬臂的另一端与硅支座上的固定端连接;固定端设在硅支座的埋层氧化...
马洪宇
王文娟
丁恩杰
赵小虎
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