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带有多晶硅片的节能型多晶硅还原炉的保温内胆及实施方法: 本发明公开了一种带有多晶硅片的节能型多晶硅还原炉的保温内胆及实施方法，在内胆内壁面上安装多晶硅插片或者多晶硅挂片。内胆由5~30mm的钢板制成，内胆的高度与还原炉钟罩的高度相匹配；内胆底边为正多边形，边长为100mm~1...; 刘春江周阳段连黄哲庆段长春袁希钢

一种42对棒的多晶硅还原炉及连接方式: 本发明公开了一种42对棒的新型多晶硅还原炉及连接方式。还原炉包括还原炉底盘、还原炉炉体、还原炉顶盘、42对电极、进气口、出气口，42对电极固定在底盘上且分五层排布，最外层有12对电极，最内层至第四层分别为3对、6对、9对...; 王晓静黄哲庆段连刘春江袁希钢; 文献传递

一种装有保温内桶的周期交替操作的多晶硅还原炉及操作方法: 本发明公开了一种装有保温内桶的周期交替操作的多晶硅还原炉，在还原炉内安装保温内桶，保温内桶为圆柱状，桶顶在与底盘通气口对应的位置开有小孔，保温内桶的材料为碳-碳复合材料，不锈钢或者石墨，保温内桶的外径较还原炉内壁直径小1...; 王晓静段连黄哲庆周阳刘春江; 文献传递

一种节能型多晶硅还原炉的内胆顶部结构及其实施方法: 本发明公开了一种节能型多晶硅还原炉的内桶顶部结构及其实施方法，内胆顶部为包括底板和顶板的双层结构，底板通过螺栓与内胆的内壁连接，顶板通过螺栓与内胆的外壁连接；内胆顶部均匀地布置出气管，出气管分布在顶板上，内胆顶部均匀地布...; 刘春江段连周阳黄哲庆段长春袁希钢; 文献传递

一种多晶硅还原炉尾气逐级降温冷却的吸收塔装置及方法: 本发明提供了一种多晶硅还原炉尾气逐级降温冷却的吸收塔装置及方法。吸收塔为多层填料塔，各填料间设置隔板，填料塔中部设置两个侧线采出冷凝器，填料塔下部设置塔底再沸器，填料塔上部设置塔顶冷凝器。气相在尾气吸收塔中在各级填料上通...; 刘春江周阳段连黄哲庆段长春袁希钢

带内胆的多晶硅还原炉的尾气回收液冷却装置及方法: 本发明公开了一种带内胆的多晶硅还原炉的尾气回收液冷却装置及方法。在带内胆的多晶硅还原炉下面连接有底盘排气总管，底盘排气总管连接冷凝器，冷凝器连接储罐，储罐上设置有储罐排气管；储罐经过泵连接至尾气回收液进口管线；在尾气回收...; 刘春江段长春黄哲庆周阳段连袁希钢; 文献传递

一种节能型多晶硅还原炉的底盘及其实施方法: 本发明公开了一种节能型多晶硅还原炉底盘及其实施方法；在多晶硅还原炉底盘上方固定一气盒，气盒的外形为圆桶，气盒的顶部开有均匀的孔，孔的形状为圆形或者矩形；气盒的材料为不锈钢，气盒的外径比多晶硅还原炉内胆直径小10-200m...; 王晓静段连周阳黄哲庆段长春刘春江; 文献传递

新型多晶硅还原炉底盘流动与传热的数值模拟被引量：2: 2015年; 多晶硅还原炉的底盘取热结构对降低能耗有很大影响,提出了一种新型的多晶硅还原炉底盘均匀取热结构,并就其温度均匀性、冷却效果与传统底盘结构进行比较。该新型底盘结构由中间隔板分为2层,并在隔板上安装电极位置的孔周围焊接竖直环隙。冷却水由隔板下层的冷却水进口进入底盘并流经各电极周围的环隙进入隔板上层的还原炉底盘上底板实现均匀取热。与传统多晶硅还原炉底盘结构相比,该结构克服了传统结构下底盘取热不均匀的问题。就新型底盘取热结构中的单棒环隙结构进行模拟优化。重点考察环隙上焊接挡板的厚度、宽度及数量对冷却效果的影响。300 K的冷却水做工作介质,底盘材料用不锈钢。模拟后得到的单棒环隙结构的最适宜结果为竖直环隙挡板厚度1 mm,挡板宽度1 mm,挡板间距10 mm;水平环面挡板厚度1 mm,挡板宽度1 mm,挡板间距10 mm;换热效果较传统底盘提高32%,温度均匀性提高54%。; 周阳段连黄哲庆刘春江; 关键词：多晶硅传热数值模拟还原炉

多晶硅还原炉内流场及温度场的研究被引量：10: 2014年; 多晶硅还原炉(CVD reactor)是西门子法生产多晶硅的主要设备。硅在多晶硅还原炉(CVD reactor)内的生长是一个复杂的过程,涉及动量、热量、质量传递以及化学反应,炉内流体流动分布是影响还原能耗的关键因素。在这项研究中主要考虑如何提高还原炉中流场和温度场的均匀性。提出了一种新的还原炉设计方案,与传统的多晶硅还原炉相比,在新的还原炉内加入了内罩,从而形成了一种不同的气体流动方式。在新的还原炉内,气体进口和气体出口被划分到不同的区域,气体从气体进口进入CVD reactor后向上流动同时参与气相沉积反应,反应后通过内罩的顶部,最后从气体出口流出。研究重点是内罩结构的设计,以期可以提高还原炉内部流场及温度的均匀性。通过计算流体力学研究,现在水平方向上温度梯度很小,同时有效地减小了回流区域面积。本研究提供了提高多晶硅还原炉内部流场及温度场均匀性的方法。; 段连周阳刘春江; 关键词：流场温度场计算流体力学

一种节能型多晶硅还原炉的内胆双层结构及其实施方法: 本发明公开一种节能型多晶硅还原炉的内胆双层结构及其实施方法，多晶硅还原炉内胆包括内壁和外壁两层结构，内壁和外壁之间的空隙与内胆顶部底板与顶板之间的区域相连通；内壁与外壁之间空隙的宽度为5mm-50mm。多晶硅还原炉内胆的...; 王晓静段连周阳黄哲庆段长春刘春江; 文献传递

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段连