武志鹏
- 作品数：13 被引量：23H指数：4
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- 发文基金：国家科技重大专项黑龙江省科技攻关计划国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信航空宇航科学技术更多>>
- 6自由度微动台MIMO前馈控制器优化设计
- 针对工件台微动台的扫描区域在整个硅片曝光过程中不断变化的问题,提出一种MIMO前馈控制优化方法以提高跟踪精度。建立6自由度微动台的动力学模型,对模型中的扫描位置耦合进行解耦。根据牛顿法对MIMO前馈控制器参数进行优化,实...
- 陈兴林武志鹏王岩唐强谭立国
- 关键词：牛顿法非线性PID微动台
- 文献传递
- 光刻机主从滑模同步控制系统设计被引量：4
- 2011年
- 针对光刻机掩模台与工件台的运动同步性问题,采用主从控制结构,设计了滑模同步控制系统。直线电机和音圈电机构成粗动-精动双执行器结构以保证音圈电机不会达到位移饱和。在常规PID控制系统基础上增加了掩模台精动滑模同步控制器。根据扫描周期内掩模台和工件台的运动特点设计了时变滑模面,在同步性要求很高的曝光扫描时间段内逐渐增大时变滑模面中耦合项的系数,从而增强了同步控制的作用。滑模同步控制系统在保证原有系统跟踪精度和动态性能的前提下有效地减小了扫描时间段内的同步偏差。仿真结果表明,曝光扫描阶段内同步偏差明显减小。相对于传统PID主从同步控制方法,同步偏差的移动平均差减小18.2%,移动标准差减小61.5%,可以保证光刻机的曝光效果。
- 武志鹏陈兴林王英红
- 关键词：同步控制主从控制光刻机
- 步进扫描光刻机加速时间段的S曲线规化被引量：2
- 2012年
- 为提高步进扫描式光刻机的生产效率,提出了一种具有时间最优和冲击最小的5阶S曲线。在最大扫描速度恒定的前提下,以最小时间和冲击为优化指标,设计了加速时间段内的5阶S曲线。在优化指标冲击力项中引入了可变参数,可以根据加速时间和执行电机进行调整,在光刻机设备允许的范围内缩短加速时间。仿真结果表明,相对于数值方法设计的S曲线,优化S曲线加速时间明显缩短并且加速度曲线平滑。冲击力项系数对加速时间和S曲线的平滑性有很大影响。
- 武志鹏陈兴林郝中洋
- 关键词：S曲线
- 基于迭代学习的掩模台与工件台同步控制被引量：2
- 2013年
- 针对光刻机掩模台与工件台在曝光扫描过程中必须保持运动同步的问题,提出了一种迭代学习同步控制方法.为提高系统的动态跟踪精度和带宽,采用以直线电机和音圈电机为执行器的宏微控制结构,建立了掩模台的动力学模型.提出的主从同步控制结构以工件台为主动系统、掩模台为从动系统,在常规反馈控制的基础上加入了同步控制器.根据迭代学习控制方法设计了二阶同步学习律,并证明了该学习律的收敛性.仿真结果表明同步学习算法可以明显地减小同步偏差,同步偏差的峰值和移动标准差随迭代次数的增加而不断减小,在50次迭代后分别减小了45.12%和36.84%.
- 武志鹏陈兴林王岩
- 关键词：迭代学习控制主从控制工件台
- 普通发票网络开票系统客户端设计与实现
- 为响应国税总局提出的―建设以明晰征税纳税双方义务和权利为前提，以管控税务风险为向导，以现代化税收管理为基础，以管理重点税源为着力点，以税务信息化为支撑的现代化税收征管体系的税务改革要求，航天信息股份有限公司研发了普通发票...
- 武志鹏
- 关键词：企业管理普通发票客户端软件设计
- 基于PQ法的光刻机工件台粗精控制系统设计被引量：1
- 2010年
- 为提高步进扫描光刻机工件台控制系统的带宽,采用双输入单输出的粗精控制结构。精动机构实现高精度高响应速度的小行程运动,粗动机构实现低精度的慢速大行程运动。利用PQ法将双输入单输出系统分解为两个平行的单输入单输出系统,分别设计粗动控制器和精动控制器来调整粗动机构和精动机构对偏差信号不同频率分量的响应程度,最后设计一个闭环控制器以保证整个控制系统的稳定性和动态特性。S-曲线仿真说明在扫描过程中,系统可以保证扫描速度的平稳性并具有良好的动态特性;正弦信号仿真验证了粗动机构和精动机构对输入信号不同频率分量的响应效果。
- 陈兴林武志鹏张松波
- 关键词：工件台粗精控制光刻机
- 精密运动平台线性自抗扰控制被引量：4
- 2013年
- 基于高动态精密伺服运动平台系统模型提出一种线性自抗扰控制方法。该方法的控制器通过扩张状态观测器观测系统的动态变化,补偿系统中的未建模动态和各种扰动,为减小系统的动态跟踪误差,再运用前馈对系统的跟踪误差进行补偿。在此复合控制方式下,控制器实现自抗扰控制,前馈控制器很好地补偿误差,解决一般反馈控制系统在提高控制精度与确保系统稳定性之间存在的矛盾。实验结果表明:提出的线性自抗扰控制方法改善高动态精密伺服运动平台系统的动态性能和抗干扰能力,提高系统的定位精度。
- 陈兴林刘川武志鹏
- 关键词：自抗扰前馈补偿
- 光刻机工件台宏微系统的滑模变结构控制被引量：9
- 2011年
- 为提高光刻机工件台的跟踪精度和响应速度,采用了以直线电机和音圈电机为执行器的宏微控制结构。微动台完成高精度小行程运动,宏动台实现大行程运动同时保证音圈电机不出现位移饱和。通过滑模变结构方法设计控制器以提高控制系统的鲁棒性。根据频率整型法设计了时变滑模面,可以起到低通滤波的效果。变增益切换控制律可以有效地减小抖振现象。仿真结果表明,曝光扫描过程中的最大位置偏差为8.7nm,标准差为2.2nm。扫描速度保持平稳,同时位置偏差信号的高频分量被有效抑制。
- 武志鹏陈兴林刘川
- 关键词：滑模控制工件台
- 双工件台光刻机换台过程的轨迹规划及控制被引量：3
- 2013年
- 为减小双工件台光刻机的换台时间,提出了一种改进5阶S轨迹和时间-冲击最小控制算法.分析了双驱双桥换台策略,曝光位和预对准位的两个工件台依次执行5个点对点运动完成换台过程.在常规数值积分S轨迹设计方法中,增加了减小冲击的优化项,设计了改进5阶S轨迹使加速度曲线更加平滑.以换台过程的时间-冲击最小为优化指标,为工件台系统设计了最优控制算法从而大幅度减小换台时间,并且克服了单纯以时间最优Bang-Bang控制中加速度突变的缺点.仿真和实验结果表明,利用轨迹规划和最优控制方法可以实现快速换台运动,改进5阶S轨迹加速度曲线最平滑,时间-冲击最优控制比5阶S轨迹具有更短的换台时间.
- 武志鹏陈兴林李欣姜晓明刘川
- 工件台与掩模台控制系统若干问题研究
- 光刻机是一种半导体制造装备,是芯片生产流程中的关键设备。193nm步进扫描式光刻机是当今国际主流的光刻设备,同时伴随着双工件台和浸没式光刻等新型技术,使光刻机的分辨率、套刻精度和产率达到前所未有的程度。工件台掩模台分系统...
- 武志鹏
- 关键词：同步控制滑模变结构迭代学习控制
- 文献传递
