欧阳斯可
- 作品数：6 被引量：5H指数：1
- 供职机构：上海交通大学更多>>
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- 相关领域：电子电信一般工业技术理学金属学及工艺更多>>
- 微波等离子体退火方法制备金属硅化物薄膜
- 本文尝试采用微波等离子体对试样进行退火，使单晶硅衬底与溅射沉积的不同金属薄膜发生固相反应，最后得到各种硅化物，包括TiSi2，CoSi2和NiSi2，扩展了微波等离子体加热在硅化物制备上的应用。通过四探针法测量生成薄膜的...
- 欧阳斯可
- 关键词：金属硅化物固相反应微波等离子体
- 微波等离子加热实现金属薄膜固相反应被引量：1
- 2004年
- 采用微波等离子体加热方法对金属薄膜进行热处理 ,理论计算表明 ,微波可以透过纳米尺度的金属薄膜传播 ,从而可以使微波加热方式应用于金属薄膜的固相反应。
- 欧阳斯可汪涛戴永兵沈荷生吴建生何贤昶
- 关键词：微波加热微波等离子体金属薄膜固相反应RTP
- 微波氢等离子体制备金属硅化物薄膜的方法
- 一种微波氢等离子体制备金属硅化物薄膜的方法，用于薄膜制备领域。本发明用微波氢等离子体热处理使纳米级厚度的金属薄膜与硅衬底实现固相反应制备金属硅化物薄膜，首先将纳米级厚度的金属薄膜预沉积于硅衬底上，并置于微波加热装置中的反...
- 沈荷生欧阳斯可戴永兵汪涛何贤昶
- 文献传递
- 从头计算方法比较TiSi_2的C54相和C49相被引量：1
- 2004年
- 采用平面波超软赝势描述多电子体系,利用密度泛函理论和广义梯度近似,计算出C54相和C49相TiSi2的晶格常数、体弹性模量、形成能、电子态密度(DOS)和Mulliken电荷布居等性质.通过比较这两种物质的性质,发现尽管两者形成能很相近,但C49相结构对称性差、体弹性模量小、熔点低,Ti原子d轨道的反键强、离子性弱.这些性质上的差异和C49相TiSi2在固相反应中优先形成有关.
- 汪涛戴永兵欧阳斯可沈荷生王庆康吴建生
- 关键词：TISI2
- 微波等离子体退火制备CoSi_2薄膜
- 2004年
- 采用微波等离子体退火方法使溅射的金属钴薄膜与 (1 0 0 )硅衬底发生固相反应直接生成 Co Si2 ,证明了采用微波等离子体退火制备低阻硅化钴的可行性 .通过 X射线衍射图谱发现 ,当退火时间相同时 ,在 6 1 0℃时先形成Co Si2 (1 1 1 )织构 ,75 0℃时 (1 0 0 )取向的 Co Si2 生长显著 .此外 ,在微波作用下 ,无需先形成富 Co的 Co2 Si和 Co Si,就能直接得到稳态的 Co Si2 ,不同于常规的热处理 .分析认为这是因为微波可以促进固相反应中 Co原子的扩散 ,有利于 Co Si2
- 欧阳斯可汪涛戴永兵吴建生何贤昶沈荷生
- 关键词：金属硅化物钴固相反应微波等离子体
- 微波热处理在钛的硅化工艺中的应用被引量：3
- 2004年
- 采用微波等离子体退火方法使溅射的金属Ti膜与Si(111)衬底发生固相反应 ,直接生成低阻态的金属硅化物薄膜 ,XRD检测显示最终生成的C5 4相TiSi2 在Si(111)衬底上有明显的织构 ,证明了微波等离子体退火应用于钛的硅化工艺中的可行性。
- 欧阳斯可汪涛戴永兵吴建生何贤昶沈荷生
- 关键词：SI(111)金属硅化物微波等离子体溅射固相反应
